【課題】 互いに、減圧または加圧の気圧調節を必要とする複数の室内の気圧をバランスよく制御することを実現する。
【解決手段】 複数の室を気圧調節する際に各室内の圧力を均一に制御するための圧力制御システムであって、
各室は、室内の圧力を測定するための圧力センサと、気圧調節手段に連結するための気圧調節ラインとを具備し、
基準室以外の室の気圧調節ラインは、基準室以外の室内の圧力を基準室内の圧力と均一にするための調節用バルブを具備し、
当該調節用バルブは、基準室の圧力センサと基準室以外の室の圧力センサから得た圧力情報に基づいて制御されることを特徴とする圧力制御システム。 （もっと読む）

【課題】別途破砕装置を設けるような弊害がなく、しかも被乾燥物が白米等の澱粉系食品残渣でも乾燥処理することができる高効率の真空乾燥装置を提供する。
【解決手段】内部が真空状態で加熱される乾燥釜１と、被乾燥物３を攪拌するために乾燥釜１に設けられた攪拌機２とを具備し、真空状態で被乾燥物３を加熱すると共に攪拌して乾燥を行う真空乾燥装置である。攪拌機２で攪拌して乾燥する前に乾燥釜１に投入口４から投入された被乾燥物３を破砕する破砕機５を乾燥釜１内に設ける。この破砕機５にて被乾燥物３を破砕するとき破砕機５自体を加熱する破砕機加熱手段を設ける。そして被乾燥物３を破砕するとき加熱しながら破砕して一次乾燥をすると共に攪拌機２で攪拌しながら二次乾燥をする。 （もっと読む）

【課題】 突沸を生じることなく基板の主面に形成された薄膜を迅速に乾燥することが可能な減圧乾燥装置および減圧乾燥方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 支持ピン２１を支持板２２とともに上昇させて基板Ｗの主面とチャンバ１０の上面１４との距離を小さくした状態で少量の排気量で排気を行った後、支持ピン２１を支持板２２とともに下降させて基板Ｗの主面とチャンバ１０の上面１４との距離を大きくした状態で多量の排気量で排気を行う。 （もっと読む）

【課題】
リンス液を短時間で除去できることにより、表面に微細な構造を形成した大口径基板に対してパターン倒れや張り付きがなく、短時間で均一に乾燥させることができる微細構造乾燥処理方法とその装置及びそのサンプルホルダを提供することにある。
【解決手段】
基板を設置したサンプルホルダを高圧容器内に設置する工程、高圧容器内に常温及び常圧では気体で高圧下では液体となる流体を液体又は超臨界状態で設定圧力まで導入する工程、高圧容器を傾斜させると共に傾斜によって形成されるサンプルホルダの特定の通路を通してリンス液を高圧容器内の上側又は下側に集める工程と、集められたリンス液を傾斜した高圧容器内の上側又は下側に設けられた少なくとも一方の排出口より排出させる工程、流体の圧力を臨界圧力以上に保ったまま流体の温度を臨界温度以上に昇温させる工程、流体の温度を臨界温度以上に保ったまま前記流体を排出する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 原料液をノズルから真空凍結乾燥塔内へ噴出させて凍結乾燥する場合に、ノズル周りで微小原料液粒子が自己凍結しない凍結真空乾燥装置および凍結真空乾燥方法を提供すること。
【解決手段】 マンニトールの５％水溶液を原料液Ｌとして真空凍結乾燥塔１１内へ噴出させさるノズル１２を、平板１３に内径が例えば１５０μｍ の細孔１４を穿設したものとする。そして、真空凍結乾燥塔１１内の圧力を例えば５０Ｐａ、原料液Ｌにかける圧力を例えば０．３ＭＰａとして、細孔１４の下方に原料液Ｌの液柱Ｋを形成させ、噴出条件によって定まる一定長さの液柱Ｋの下端から液柱Ｋが発散して形成される微小原料液粒子Ｒを自己凍結させ微小凍結粒子Ｑとして収集し、低温度に加熱して微小凍結粒子Ｑに含まれる氷を昇華させて乾燥しマンニトールの微粉末Ｐとする。 （もっと読む）

【課題】 粉体を乾燥後、短時間で排出することができ、且つ多くの粉体を排出させることができる横型振動乾燥機及びそれを用いた粉体排出方法を提供する。
【解決手段】 本発明の横型振動乾燥機１０１は、横置きされた円筒部１１と、一端側端面部１２と、他端側端面部と、円筒部１１の内壁縁部と接するように一端側端面部１２に設けられた排出口と、を具備する乾燥容器１を備え、乾燥容器１内に粉砕媒体（鉄芯入りナイロン玉石等）が投入された状態で、振動させて（乾燥容器１の上下方向に振動させる。）被乾燥物（水とセラミック粉末とを含有するスラリー等）を乾燥させる横型振動乾燥機１０１であり、乾燥容器１の一端側端面部１２からみたときに、円筒部１１の中心軸線から下ろした垂線を基準とし、円筒部１１の中心軸線と排出口の中心とを結ぶ直線がなす角Ｒが１５≦Ｒ≦７５°（特に２０〜４０°）である。 （もっと読む）

天然状態の含水試料の色彩および／または芳香を保ったまま、含水試料を迅速、効率的かつ低コストで乾燥する方法の提供。 含水試料の外表面を透湿性かつ吸湿性を有する多孔性材料で囲み、マイクロ波を照射することを含む含水試料の迅速乾燥法。
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【課題】パターンの変形が抑制された状態で、液処理に引き続いて超臨界処理を行うことによる乾燥処理ができるようにする。
【解決手段】移送トレー１０３を副処理槽１０２より引き上げ、移送トレー１０３に洗浄水１０４が収容され、洗浄水１０４の中に基板１１１が浸漬された状態とする。次に、移送トレー１０３中に、イソプロピルアルコールを導入し、移送トレー１０３中に収容されていた洗浄水１０４をイソプロピルアルコールに置換し、移送トレー１０３にイソプロピルアルコール１０５が収容され、イソプロピルアルコール１０５の中に基板１１１が浸漬された状態とする。次に、超臨界処理装置１０６の反応室内部に、移送トレー１０３が収容された状態とする。 （もっと読む）

【課題】 移載保持部を乾燥させる機構を備えることにより、乾燥の短時間化を図ることができる基板乾燥装置を提供する。
【解決手段】 吸引通路３３を介して吸引すると、吸引穴４１から液滴を吸い出すことができるので、液滴で濡れている保持部材３５を短時間で乾燥させることができる。その結果、基板Ｗの乾燥処理に要する時間を短縮することができる。また、従来から設けてある支柱３１に吸引通路３３を形成し、保持部材３５に吸引穴４１等を形成するだけでよく、本機能を低コストで実現できる。 （もっと読む）

【課題】 例えば床暖房用フローリング材に代表されるような木材の乾燥に適用でき、高品質を達成しかつ安価なコストで済む木材の乾燥方法およびこの方法を効果的に実施し得る乾燥設備を提供すること。
【解決手段】 所要の寸法に加工され、表面に耐熱性の塗膜を形成した木材を乾燥工程にて乾燥温度以上に加熱し、木材中の水分を蒸発拡散させること。前記耐熱性の塗膜は、ポリウレタン樹脂製塗膜或いはセラミック製塗膜であることが好ましく、また、乾燥工程は、鉱物油、植物油、動物油もしくは使用済みの廃油の１種又は２種以上の油脂類で構成される熱媒体オイルを用いた乾燥手段を採用することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 良好かつ均一な水切り、乾燥効果を得ることができる水きり乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 アルコール類とハロゲン化炭化水素類とからなる第一の溶剤を貯留する水切り槽部４と、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部１０と、これら第一の溶剤および第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部１６，１７と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７とを連通させる連通部２０，２１と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７との連通を遮る方向に前記連通部２０，２１内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段１５，３２，３４，３５，３６と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法によってパターンを形成する際に用いる減圧乾燥において、残留溶剤に起因した膜厚の不均一性を解消し、塗膜の表面に微小欠陥を発生させない減圧乾燥装置、減圧乾燥方法を提供すること。
【解決手段】パターンを形成する際に用いる減圧乾燥装置において、減圧乾燥装置内部の基板１を載置する定盤３の上方に設けられた天板が、開口部を有する天板１４であること。天板が、開口部を有する天板１４と、その上方の開口部を有しない天板４４の２天板であり、排気系が、開口部を有する天板上方の第一排気系２０と、開口部を有しない天板上方の第二排気系３０の２排気系である。上記減圧乾燥装置を用いること。 （もっと読む）

本発明は、フルーツジュース、薬品、栄養補給食品、お茶及びコーヒーなどの液体物質の噴霧凍結乾燥に使用するための工程及び／又は方法及び関連装置に関するものである。液体物質は噴射（噴霧）され、その共融温度より低い温度に下げられ、それによって液体物資における液体の相変化を誘発する。噴霧された液体物質（ＡＬＳ）は、真空乾燥室に入れられ、そこで、乾燥室の中を通って運ばれるときＡＬＳの液体の昇華を助けるためにエネルギー源に曝される。エネルギー源はＡＬＳが通過して曝される温度勾配を与えることができ、これによって乾燥（含水量の減少）対象の物質の劣化の可能性を最小限に抑える又はこの可能性を減少する。
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凍結乾燥プロセスから廃液を再生するためのシステムは、凍結乾燥される材料から廃液を収集するために凍結乾燥サイクル中に使用される少なくとも１つの凝縮装置、および凝縮装置から材料を収集するために設置された１つの回収容器を有する。システムは、廃液から形成された氷晶が、凍結乾燥サイクル後に凝縮装置から除去され、再使用されるように回収容器へ入れられることを特徴とする。製品システムは、凍結乾燥された材料と凍結乾燥中に収集された廃液との両方を含む。
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流体を帯状に吐出可能なスリット部が形成されたエアーナイフユニットを用いて、基板の主面に付着した付着物を基板の主面から除去する方法で、基板に対して複数のエアーナイフユニットを相対移動させながら、エアーナイフユニットと基板の主面との間に、前記移動方向と直交する方向に略均一な形状を有する流体導入路を形成し、前記エアーナイフユニットの後部に形成されたスリット部から流体を流体導入路に向けて吐出し、次いで、流体導入路を通過させてエアーナイフユニットの前部に対向して形成される壁面あるいはみかけ上の壁面に導き、さらに、流体導入路より大きい流路断面積を有してエアーナイフユニットと壁面との間に形成された流体導出路を介して、基板に付着した基板付着物が前記流体とともに基板の主面から遠ざかるように導出する。 （もっと読む）

エキシマ放射器用、特にプリンタ内の乾燥機用作動装置が記載され、この乾燥機は、出力側でエキシマ放射器と接続される高周波発生器によって構成される。本発明の課題は、より高い紫外線照射強度が達成できるように、エキシマ放射器用作動装置を拡張することである。本発明によれば、これは、高周波発生器（１）がフィードバックを有する管発振器として形成され、高周波発生器（１）の出力が、キャパシタンス（Ｃ）およびインダクタンス（Ｌ）を有する負荷回路（３）の入力に接続され、エキシマ放射器（５）が負荷回路（３）の出力に接続されることによって達成される。
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