【課題】微細パターンが形成された半導体基板を、パターン倒壊を防止しつつ、低コストに乾燥させる基板乾燥方法を提供する。
【解決手段】表面が薬液たとえばイソプロピルアルコールで濡れ、アスペクト比１０以上のパターンが形成された半導体基板Ｗをチャンバ３１内に導入する。そして、前記薬液を前記半導体基板上に残留させつつ、１６０℃以上かつ前記薬液の臨界温度未満の所定温度まで昇温し、気化した前記薬液を前記チャンバから排出する。 （もっと読む）

【課題】木材の含水率を一定の範囲に調整したうえで、そのばらつきを抑制することが可能な、木材の調湿方法，単板の製造方法，及び単板を提供する。
【解決手段】本発明の木材の調湿方法は、木材６の収容された容器２内に高圧蒸気Ｊを供給することで、当該木材６を略均一な温度分布となるように加熱する加熱工程と、前記加熱工程により処理された木材６を、その表層部分１０の温度がその中央層部分１１の温度よりも低い温度分布となるように冷却する冷却工程と、前記冷却工程後、表層部分１０の温度がその中央層部分１１の温度よりも低い温度分布となった前記木材６が収容された容器２内を減圧することで、この木材６を乾燥させる減圧乾燥工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、煩雑な水切り溶剤の組成管理を必要とせず、かつ水切り性に優れた水切り乾燥方法、および水切り乾燥システムの提供を目的とする。
【解決手段】特定の条件を満たすハイドロフルオロカーボンおよびハイドロフルオロエーテルからなる群から選ばれる１種以上のフッ素系溶剤（Ａ）を含む沸騰状態の水切り溶剤に、水またはアルコール水が付着した物品を浸漬させて該物品に付着した水分を蒸発させ、該物品を乾燥させる水切り乾燥工程を有する水切り乾燥方法。また、該水切り乾燥方法に使用する水切り乾燥システム。 （もっと読む）

【課題】低固形分量で高粘度な塗布組成物を用いて塗工を行った基板であっても、乾燥時に塗膜の白化を起こしにくい乾燥方法を提供する。
【解決手段】乾燥速度と溶解度に差がある２種類以上の溶媒であって、粘度が低い良溶媒と粘度が高い貧溶媒との組み合わせからなる塗布液の乾燥を行う際に、塗布工程では塗布液の粘度を重視するために高粘度溶媒を凝集する直前の濃度まで添加しておき、乾燥工程において溶媒の溶解性を重視するために、良溶媒を塗膜に供給することにより、乾燥工程時に発生する塗膜の白化を抑制する。 （もっと読む）

【課題】解決しようとする課題は、凍結乾燥装置の乾燥庫内に、被乾燥材料を装入して凍結乾燥させるときに、一次乾燥期に個別容器の品温センサー挿入による被乾燥材料の品温を測定・監視を行わず、かつ、コラプス発生の原因となる、乾燥庫内の圧力上昇を生ぜしめずに、乾燥庫内の真空度変化を真空計で測定してデータを収集し、このデータにより被乾燥材料の全体の平均昇華面温度と既乾燥層水蒸気移動抵抗を計算により測定できる計算手段を得る点にある。
【解決手段】凍結乾燥機の主管ａに該主管ａの開度を調節し得る角度センサ付きの開度調節器Ｃを設け、事前に昇華負荷Ｑｍと開度調節器Ｃの開度角度θと主管抵抗Ｒ（θ）との関係式を求めておき、一次乾燥期に、開度調節器Ｃを一定時間間隔で、開度を開とする方向に回動させて、その回動の前後における開度調節器Ｃの開度角度θ、乾燥庫内の真空度ＰｄｃとコールドトラップＣＴ内の真空度Ｐｃｔの測定データと関係式とから、被乾燥材料の平均昇華面温度を計算により測定する。 （もっと読む）

【課題】複数の画面が面付けされて製造されるガラス基板上に塗布された塗布膜の溶媒を乾燥する減圧乾燥装置において、画面サイズ変更に伴う基板保持ピンの配置位置変更の作業負荷の低減と停止ロスを抑制できる省スペースな乾燥装置を提供する。
【解決手段】溶媒を含む塗布液が塗布されたガラス基板を乾燥する減圧乾燥装置であって、真空吸引可能なチャンバー内に前記ガラス基板を保持する複数の可動基板受けピンを有し、且つ、前記可動基板受けピンの各々のピン配置位置を所望する位置に自動で変更するピン位置自動変更機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】従来の女性の下着洗濯後の干し場所は特別の場合を除き、多くの人達が人目に付かない場所を選んで干している。洗濯物の型崩れ、色あせ、又、洗濯物をベランダ等に天日干しにする事で盗難の恐れもある。
本発明は以上の問題点を解決する為のものである。
【解決手段】乾燥容器内に熱湯を入れると、２〜３分位で気圧が上がり、温度も上昇状態の熱励起エネルギーが発生し、これを乾燥容器上部に取り付けてある電気掃除機対応吸引口より電気掃除機で吸引すると、気圧と沸騰点が下がり、熱放射が起こり、洗濯物が急速に乾燥する。 （もっと読む）

【課題】カチオン交換樹脂由来の溶出物を低減することができる乾燥カチオン交換樹脂の製造方法およびその製造方法で製造された乾燥カチオン交換樹脂を提供する。
【解決手段】本件発明の乾燥カチオン交換樹脂の製造方法は、湿潤状態のカチオン交換樹脂をマイナス１０℃以下で急速冷凍して凍結カチオン交換樹脂を得る予備凍結工程と、前記凍結カチオン交換樹脂を１００Ｐａ以下で真空乾燥して乾燥カチオン交換樹脂を得る真空乾燥工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 フィルタと吸引管とのシール性を向上して、吸引管側に被収容物が吸引されるのを確実に抑制し得る混合乾燥機の提供。
【解決手段】 容器内に吸引管の一端部が挿入され、吸引管の一端部に設けた吸引部から吸引して、容器内の粉粒体を乾燥処理する乾燥機であって、吸引部をその先端から長手方向にわたって覆うフィルタ部が吸引管に着脱自在に設けられ、フィルタ部の一端側は閉じられ他端側は開放されて開口が形成され、フィルタ部と吸引管との間をシールするためのシール構造が設けられ、シール構造は、吸引管側の長手方向途中に、吸引管の外方に膨出するよう設けた受部と、フィルタ部の開口部側を折曲した折曲部と、前記折曲部の折面と受部の受面とを長手方向で押圧する付勢手段とを有した構成。 （もっと読む）

【課題】汚染ハザードの防止及び無菌化を担保することができ、かつ汚染防止のための保守管理が容易な凍結乾燥機を提供する。
【解決手段】凍結乾燥機に、直立円筒状のチューブ１をもって形成される被乾燥材料の凍結乾燥庫と、該チューブ１の外周部に配置された熱媒体循環用のジャケット２と、チューブ１の内壁面に液状に調整された被乾燥材料を噴射する分注ノズル７０とを備える。分注ノズル７０は、一端が被乾燥材料供給配管５の先端部に固定される筒状部７１と、該筒状部７１の内部に配置された被乾燥材料分配板７２と、一端が該被乾燥材料分配板７２に連結され、被乾燥材料案内面７３ｃが筒状部７１の先端面との間に所要の間隙を隔てて対向に配置されたオリフィス部７３とを有する構成とし、これら筒状部、被乾燥材料分配板及びオリフィス部を一体不可分に形成する。 （もっと読む）

【課題】ＨＣＦＣの代替化合物を用いた処理液のアルコール濃度を一定に維持でき、水が付着した物品の水切り乾燥を安定して実施できる水切り乾燥方法、および水切り乾燥システムの提供を目的とする。
【解決手段】水が付着した物品と、特定の含フッ素エーテルを主成分とし、アルコール類を含む処理液４１とを接触させて物品から水を分離し、該物品を乾燥させる水切り乾燥工程と、処理液４１をエーテル層（ａ１）と水層（ｂ１）に二層分離する工程と、エーテル層（ａ１）に、前記アルコール類を含むアルコール濃度４０〜６０質量％のアルコール水溶液（ｃ）を接触させて、アルコール濃度を調整したエーテル層（ａ２）を得る工程と、前記エーテル層（ａ２）を処理液４１として供給する工程と、を有する水切り乾燥方法。また、該水切り乾燥方法を実施できる水切り乾燥システム。 （もっと読む）

【課題】不活性化を最小にし、より多くの活性部分を維持した基質を生成する。
【解決手段】凍結乾燥処理の間の脱水工程の制御装置であって、減圧ラインに接続される凍結乾燥筐体１と、筐体に含まれるガスを分析するガス分析装置とを備えている。ガス分析装置は、ガスからプラズマを発生させることができる発生器１５に結合され、ガスと接触するプラズマ源１３を有するガスイオン化システム８と、プラズマの発生領域に近接して配置され、プラズマから放出される放射スペクトルの変化を分析する機器１８に接続される放射センサ１７を有し、イオン化されたガスを分析するガス分析システムとを備えている。また、装置は、プラズマ源１３を繰り返し駆動および停止させる手段１６を備えている。この装置は、さらに、ガスイオン化システム８と凍結乾燥筐体１との間に配置された光学ポート２５を備えている。凍結乾燥処理の間の脱水工程の制御方法は、プラズマ源１３が駆動されている状態と、プラズマ源１３が停止されている状態とを選択するようになっている。 （もっと読む）

サンプル中の分析対象物の濃度を測定するためのバイオセンサシステムは、複数の試験センサを含み、乾燥剤を含む容器を含む。複数の試験センサが、容器中に５０℃の温度で二週間密封されたのち容器から取り出され、その後、各試験センサが、少なくとも二つの導体を介して計測装置に接続されたのち分析対象物を含む複数のサンプルの一つの接触し、複数のサンプルが、１０mg/dL〜６００mg/dLの範囲にわたる分析対象物濃度を有し、各サンプル中の分析対象物濃度が試験センサ及び計測装置によって計測される場合、各計測される分析対象物濃度のバイアスは±１０mg/dL又は±１０％の範囲内である。
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【課題】マランゴニ乾燥に比べて、基板に液滴が残留することをより効果的に防止し、ウォーターマークの発生を抑えることができる基板乾燥装置及び基板乾燥方法を提供する。
【解決手段】反磁性を有する液体で洗浄された基板を乾燥させる基板乾燥装置に、基板に付着した液体を磁力によって移動させるための磁石４と、磁石４を、基板に沿って該基板の縁側へ移動させる磁石搬送手段５とを備える。また、反磁性を有する液体で洗浄された基板を乾燥させる際、基板に付着した液体を磁力によって移動させるための磁石４を、基板に接近させ、磁石４を前記基板に沿って該基板の縁側へ移動させる。 （もっと読む）

凍結乾燥プロセスのパラメーターは、真空ポンプ排出物内の痕跡材料を測定することによって監視される。測定は、音響光学分光法、マルチパスキャビティエンハンスト吸収分光法（ＣＥＡＳ）、及びキャビティリングダウン分光法（ＣＲＤＳ）等の技法を使用して行われる。この技法は、凍結乾燥シェルフの漏れ、凝縮コイルの漏れ、室内の雰囲気からの漏れ、及び残留清浄材料の存在等の問題を診断するために使用することができる。この技法は、２次乾燥プロセスの排出物内の水蒸気の存在を監視するために使用することもできる。
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【課題】 フィルターで捕捉した粉塵が払い落とされても、他の部材や作業員の衣服等に付着したり、大気中に飛散したりすることがない集塵装置を提供する。
【解決手段】 混合乾燥機２は、減圧ポンプ１５に流れるガスに含まれる粉塵を捕捉する集塵装置１を備えている。集塵装置１は、減圧ポンプ１６と機内２ａとを繋ぐ管体２１を備え、この管体２１内は、仕切板３７により上流側と下流側とに仕切られている。仕切板３７には、フィルターユニット２６が着脱可能に設けられており、フィルターユニット２６は、上流側の前記ガスが前記フィルターユニット２６内を通り、前記フィルター３２を介して下流側へと流れるようになっている。 （もっと読む）

【課題】木杭として軟弱地盤土中で浮力のある軽量材料を作製することを課題とする。この軽量木材として、木材を乾燥させることで、水浸させても長期間浮力を維持する方法を提供する。
【解決手段】木材を乾燥させて、その木材の内部に気泡を持たせ続けて、小さい密度を維持する軽量木材とする作製方法とその軽量木材を用いた軟弱地盤改良方法である。 （もっと読む）

【課題】ウォータマークの発生およびパターンの倒壊を抑制することが可能な基板の乾燥方法を提供する。
【解決手段】基板をリンス液で処理した後に乾燥する方法であって、前記基板に親水基とフッ素原子を分子内に含む液状の有機溶媒に接触させ、前記基板表面において前記リンス液を前記有機溶媒に置換して乾燥することを特徴とする基板の乾燥方法。 （もっと読む）

本発明はバルク材料の真空乾燥に関する。方法は、材料を加熱すること、前記材料を乾燥チャンバの中に装填すること、加熱及び真空発生をサイクルで実施する、すなわち、材料を、流動層中、温度３００℃以下の熱担体を使用して、材料がその分解温度未満の温度に達するまで加熱し、０．１ＭＰａ〜０．０００１ＭＰａの範囲の一回又は繰り返しの漸増的減圧により、急速パルス化真空作用を有する真空を発生させること、及び材料の温度が安定化するまで真空を維持することを含む。この方法を実施するための装置は、真空チャンバ中に配置された加熱器を備えた二つの真空チャンバ、材料を装填し、取り出すためのシステム及び真空パイプのシステムを介して乾燥チャンバの入口に接続された、受け器に対して並列に接続されたポンプを備えた一つ又は複数の受け器を含む。真空乾燥チャンバは、流動層中の材料を加熱又は冷却するための熱担体循環システムに接続している底部において円錐形を有し、加熱ジャケットを備えている。真空ライン及び熱担体循環ラインは、加熱サイクロンフィルタ及び凝縮物捕集器を備えた熱交換・凝縮器を備えている。本発明は、乾燥時間を減らし、乾燥される産物の品質を高めることを可能にする。
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第１の位置に設置されたフリーズドライヤ（１）と、このフリーズドライヤに対して移動可能な独立した搬送車（３０）との間での容器、例えばバイアル（１０１）の移送のための方法である。フリーズドライヤ（１）は、フリーズドライヤ・ハウジング（２）と、複数の棚（２１−２４）とを備え、そのフリーズドライヤ・ハウジング（２）には、当該フリーズドライヤ・ハウジング（２）内側の内部フリーズドライ室（１０）に面した出入口（１１）が付いている。複数の棚（２１−２４）は、フリーズドライヤ室（１０）の内部で互いに上方へ間隔を置いて配置されると共に、容器を支持するための水平に延びる第１の平坦支持面（２５）がそれぞれ設けられている。移動可能な搬送車（３０）は、移動車台（３１）と、担持体（５７）と、容器移動装置（６０）とを備えている。その移動車台（３１）は、内部貯蔵室（３９）に面する出入口（４０）の付いた貯蔵ハウジング（３３）を支持している。担持体には、貯蔵ハウジング（３３）内部で容器を支持するための第２の平坦支持面（５８）が設けられている。容器移動装置（６０）は、第２の平坦支持面（５８）と平行な押出し方向へ第２の平坦支持面（５８）から遠ざかるように容器を押し出すためのものである。
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