Ｘ線管組立体（１０）用の冷却システム（１２）は、Ｘ線管組立体の筐体（４０）から冷却流体を受け取り、冷却流体と気流の間で熱を伝達する熱交換器（１４、１６）を有する。アキシャルファンといったファン（９０）は、熱交換器の中で気流を導く。ファンは、管（７８）内に位置付けられる。成形された気流束ダイレクタ（１１０）は、管からの気流を捕捉し、気流を、ファンの回転軸に対し略垂直な方向に方向転換させるよう位置付けられる。

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回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体は、２５℃における溶存酸素量が５ｍｇ／リットル以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体に接触する金属部品の少なくとも一部の表面は、被覆体によって被覆されたことを特徴とする。 （もっと読む）

この発明は、陽極（１１）に向けて電子を発生する電子放出源（１７）、陽極を回転可能に支持する軸（１３）、ロータ軸（１５）を回転させる力を発生するステータ（１９）、少なくとも陽極と電子放出源とロータ軸を真空に維持する外囲器（９）、外囲器の周囲に冷却媒体を介在させるハウジング（３）を含むＸ線装置（１）であり、電子放出源、ステータ等に電源を供給する電線材またはその電線材との接続に利用されるコネクタを、絶縁性を示す材料によりモールドしたことを特徴とする。 （もっと読む）

簡単な構造で、十分な強度のＥＵＶを安定して発生させることができ、レーザプラズマ光源の代替となるＥＵＶ光源を提供する。１次ターゲットを有するＸ線管１と、そのＸ線管１から発生したＸ線２が照射される２次ターゲット４とを備え、その２次ターゲット４から、Ｂｅ−Ｋα線、Ｓｉ−Ｌ線およびＡｌ−Ｌ線の一群から選ばれた１つの蛍光Ｘ線５を発生させる。 （もっと読む）

プラズマ放射線源は、デブリの影響によって制限される光学素子の寿命が著しく長くなるように改良される。ガスカーテンを通して、真空室（１）中の源領域から進む放射線（５）が放射線（５）の平均的な伝搬方向の軸（Ｘ−Ｘ）に沿ってデブリ抑制のために所定の立体角で放射され、ガスカーテンは軸（Ｘ−Ｘ）上に配置される気体ジェット真空ポンプ（３）の推進ノズル（２）から放射状に向けられた超音速気体ジェット（７）として出る。ガスカーテンは、軸（Ｘ−Ｘ）に同軸に配置される環状の混合ノズル（８）に向けられ、ディフューザ（１０）によって真空室（１）の中から外に誘導される。これにより、最適の変換効率を有し、広範囲のデブリを含む源の配置構成を用いることが可能である。
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