【課題】高純度の五フッ化リンを、単純でかつ経済的な手順で大規模な精製装置または高圧装置を必要とせずに提供することが可能であり、しかも、特別な排ガス処理を必要とする大量の副生ガスを発生させることなく製造可能な五フッ化リンの製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ化水素と六フッ化リン酸塩（ＭＰＦ_６）とを容器内に導入し、式１の反応に従って、五フッ化リンを生成させることを特徴とする五フッ化リンの製造方法。
ＭＰＦ_６＋ｕ ＨＦ→ＰＦ_５＋ＭＦ・ｒ（ＨＦ） （式１）
但し、ＭはＬｉ，Ｎａ，Ｋ，Ｒｂ，Ｃｓ，ＮＨ_４，Ａｇの何れか一種以上
０≦ｒ≦ｕ
式中ＨＦは化学量論以上使用 （もっと読む）

【課題】反応管の径を大きくすることにより、排ガスの処理量を増大させるとともに、水膜を必要とせずにプラズマの発生状態を安定化させ、プラズマ長を伸ばすことで除害性能を高めることができる排ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】排ガスＧを導入する反応管１と、反応管１の上部側で気中に配設された上部電極２と、反応管１の下部側に配設された下部電極３と、上部電極２と下部電極３の間に電解質溶液Ｄを噴霧する噴霧ノズル４とを備え、上部電極２と下部電極３の間に電解質溶液Ｄを噴霧することにより、電極２、３間に電流の経路を形成して、反応管１内にプラズマＰを発生させる。 （もっと読む）

燃焼性ガス、例えば水素又は炭化水素ガスを含有するガス流を処理するための装置が記載される。該ガス流を液体環状ポンプ18に運び、そこにガス状酸化剤及び水を供給する。該水及びガス流をポンプ18から排出し、排出したガス流を続いて該液体から分離し、燃焼性ガス及び酸化剤を熱分解するための熱分解装置42に運ぶ。該ガス流内の全ての全ての粒子及び酸性化学種が水によって液体環状ポンプ内に保持され、熱分解装置42の腐食又は閉塞を抑制する。フィルター又は他の装置40も提供され、熱分解装置42に入る前に水を該ガス流から除去する。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造において生成された有害ガスおよび微粒子を含む排ガスを軽減する排ガス軽減方法およびシステムを提供すること。
【解決手段】まず、複数の顆粒体を提供し、顆粒体を反応温度に加熱する。次いで、有害ガスが分解して熱分解ガスを形成し、微粒子が顆粒体によって停滞されてろ過されるように、排ガスを導入して顆粒体と接触させる。顆粒体および微粒子を除去し、次いで顆粒を微粒子から分離する。一方、微粒子から分離された顆粒体と接触するように熱分解ガスを導入し、それにより顆粒体をリサイクルおよび再使用し、顆粒は、反応温度に加熱され、再び排ガスと接触するように導入される。最後に、分解ガスを除去するために、分解ガスをウォータースクラバープロセスに導入する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン化合物からハロゲンを回収し、無害化処理するために高純度のハロゲン化合物を提供し、耐久性があり、効率良く処理する方法及び装置を提供する。
【解決手段】ハロゲン化合物を燃焼分解し、その燃焼ガスを溶解させた水溶液と塩化カルシウムを含む水溶液とを反応させ、難溶性カルシウム化合物として沈殿させるハロゲン化合物の処理方法である。難溶性カルシウム化合物の沈殿は、一方の反応槽にはハロゲン化合物が反応するに必要な化学当量よりも少ない量の塩化カルシウムの水溶液を導入して反応させ、他方の反応槽にはハロゲン化合物が反応するに必要な化学当量よりも多い量の塩化カルシウムの水溶液を導入して反応させ処理する、又はスタティックミキサーの内部で燃焼ガスを溶解させた水溶液と塩化カルシウムを含む水溶液とハロゲン化合物の処理方法及び装置である。 （もっと読む）

【課題】濾布における圧力損失の上昇を抑制するとともに濾布表面からの濾過層の脱落を防止し、かつサイロなどからの排出トラブルが発生しにくく、取扱い性に優れた酸性成分除去剤およびその製造方法を提供する。
【解決手段】炭酸水素ナトリウムと、珪藻土、シリカ、アパタイト、パーライト及びアルミナからなる群より選ばれる１種以上の多孔質粒子と、ヒュームドシリカとが含有され、多孔質粒子の含有率が１〜５質量％であり、ヒュームドシリカの含有率が０．５〜２．０質量％であり、かつ平均粒径が３〜２０μｍの範囲である酸性成分除去剤を採用する。 （もっと読む）

【課題】ダイオキシン類の生成を抑えつつ、廃棄物を熱分解処理できる、コスト性に優れた新規な構造の熱分解炉、および熱分解方法を提供する。
【解決手段】熱分解炉５０への熱分解用空気の流入量を制限し、排気ガスの排出量を少量化して限界酸素濃度を管理するとともに、熱分解炉５０内部にスノコ状の棚を設け、供給される空気との 熱が均一作用し熱分解効率を向上させることができ、上部空気供給管４および下部空気供給管５に対向配置された永久磁石１５によって磁界処理された熱分解用の空気を利用することによって、僅かな空気で、継続的かつ、効率的な熱分解を実現することができ、排気ガスに含まれるダイオキシン類や有害物質などの生成を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＰＦＣ含有ガス中に水及び又は他のガスと反応して固形物を生成する気体化合物が含まれても、触媒層の目詰まり、或いは湿式除去装置及び排水ラインの閉塞が起こらないようにする。
【解決手段】ＰＦＣ含有ガスに含まれる水及び／又は他のガスと反応し固形物を形成する気体化合物を湿式除去装置の下流側から供給し、湿式除去装置内で固形物を形成することを防ぐ。湿式除去装置内で固形物が生成することを防ぐことで、除去されなかった固形物による触媒層の目詰まり、或いは生成固形物による湿式除去装置内及び排水ラインの閉塞を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】多額の初期投資及び大規模な追加設備を必要とせずに有害微量元素の含有率が高い安価な石炭種を使用するために集塵装置の集塵効率を向上する方法を提供する。
【解決手段】排ガス中の有害微量元素を捕捉する方法は、石炭を燃焼させる微粉炭燃焼部１６と、微粉炭燃焼部１６の下流に設けられ石炭灰のうちフライアッシュを集塵する集塵装置１８２と、を備えた微粉炭燃焼施設１において、石炭灰を微粉炭燃焼部１６に供給する石炭供給工程Ｓ１０から集塵装置１８２によってフライアッシュが集塵される排水・排ガス処理工程までの間の系内に移送する。 （もっと読む）

【課題】多額の初期投資及び大規模な追加設備を必要とせずに有害微量元素の含有率が高い安価な石炭種を使用するために集塵装置の集塵効率を向上する方法を提供する。
【解決手段】集塵装置１８２の集塵効率を向上する方法は、石炭を燃焼させる微粉炭燃焼部１６と、微粉炭燃焼部１６の下流に設けられ石炭灰のうちフライアッシュを集塵する集塵装置１８２と、を備えた微粉炭燃焼施設１において、石炭に、微粉炭燃焼施設１とは異なる他の微粉炭燃焼施設１００において燃料である石炭を燃焼させたときに生じる石炭灰を添加する。 （もっと読む）

【課題】難分解性の有機フッ素化合物を効果的に微生物によって分解することができる排水処理装置を提供する。
【解決手段】有機フッ素化合物を含有する排水は、マイクロナノバブル発生槽１に導入されて、微生物タンク６１から微生物を添加され、助剤タンク５０からマイクロナノバブル発生助剤を添加され、栄養剤タンク５２から栄養剤を添加されると共にマイクロナノバブル発生機２３によってマイクロナノバブルを含有されて、被処理水が作成される。上記被処理水は、上記マイクロナノバブル発生槽１から活性炭塔４に供給されて、上記被処理水中の上記有機フッ素化合物が、上記微生物によって分解される。 （もっと読む）

少なくとも１個の焼却室（１、３）を備えた焼却プラント中で窒素酸化物およびハロゲン化有機化合物を同時に還元する方法を得るという課題を解決すべきである。この課題は、二酸化硫黄ＳＯ₂を煙道ガスから少なくとも１個の洗浄装置（９）中でアンモニアまたはアンモニウム化合物を用いて選択的に分離し、その際硫酸アンモニウム水溶液／亜硫酸アンモニウム水溶液が形成され、該水溶液を全体的または部分的に焼却室中に再循環させる方法により解決される。
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【課題】重金属含有灰からの重金属の溶出を少ない薬剤添加で確実に防止する。
【解決手段】重金属含有灰にマグネシウム系アルカリ剤および鉄系薬剤を添加して、重金属含有灰からの重金属の溶出を防止する。鉄系薬剤にマグネシウム系アルカリ剤を併用することにより、マグネシウム系アルカリ剤の酸性成分中和能力と、ｐＨ緩衝作用で重金属含有灰のｐＨを重金属の溶出防止に有効なｐＨに安定化させると共に、鉄系薬剤との併用による相乗効果で少ない薬剤添加量で重金属の溶出を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】除害塔に充填した除害剤を無駄なく使用することができ、除害剤の破過が迅速に検知可能であって、かつ除害処理の連続的な実施が可能であるとともに、安価で装置の小型化を図ることのできる有害ガスの除害方法およびこれを実現する除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が装填される検知剤容器２３と、検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２とを備える検知窓２０が設けられ、前記有害ガスを吸着して除害する除害剤４１が充填される少なくとも二式以上の除害塔４０ａ，４０ｂが直列配置され、導入された有害ガスを前記二式以上の除害塔を通過させて除害する除害装置１０であって、前記検知窓２０が、それぞれの除害塔に対し、前記通過する有害ガスの流れ方向の上流側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）

【課題】十分な量の除害剤が充填可能な除害塔を有するとともに、処理ガス中の有害ガス成分の到達を迅速に検知し、除害剤の破過のタイミングを的確に検知することのできる検知窓構造を備える除害装置を提供する。
【解決手段】有害ガスを除害する除害剤４１が充填される除害塔４０と、有害ガスとの接触によって変色する検知剤３０が充填される検知剤容器２３および検知剤３０の前記変色を観察するための覗窓２２を備え該除害塔４０に着脱可能に装着される検知窓構造２０と、を有する除害装置１０であって、
前記検知窓構造２０は、除害塔４０を流通する有害ガスを検知剤容器２３に導入するガス導入口２６が、前記覗窓２２の接ガス面２７に隣接して形成されるとともに、前記覗窓２２の接ガス面２７が除害塔４０の内壁面位置と一致するか、または除害塔４０の中心側に設けられていることを特徴とする除害装置１０。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程またはＬＣＤ製造工程などから発生する排ガスに含まれた難分解性過フッ化化合物などを８００℃の以下で除去することができるようにし、触媒の充填量に応じて大容量及び／または高濃度の過フッ化化合物を含有した排ガスを処理することができる、半導体製造工程から発生する排ガスの処理装置及び方法の提供。
【解決手段】本発明の排ガス処理装置は、排ガスが流入される排ガス流入口と、前記排ガス流入口に連設され、空気を供給する空気注入口と、前記排ガス流入口に連設され、排ガス流入口を介して流入された排ガスを吸着処理する吸着層が備えられた吸着反応部と、前記吸着反応部に連設され、前記吸着反応部から排出されて流入された排ガスを触媒処理する触媒層が備えられた触媒反応部と、前記触媒反応部に流入される排ガスの移動経路に連設され、水を供給する水注入口とを含む。 （もっと読む）

【課題】金属水銀を効率良く活性化して、蒸気圧の低い化合物にするか、または石炭燃焼灰などに付着し易い状態にして、高い水銀除去効率を得る排ガス中の水銀の除去方法を提供する。
【解決手段】金属水銀を含有する排ガスに波長が２５４nm以下の紫外光線を照射し、該排ガス中の金属水銀の濃度を低減する排ガス中の水銀除去方法。 （もっと読む）

【課題】焼結鉱を製造する際に発生する排ガス処理を、吸着材を循環利用して、吸着材で形成する充填層により行う際に、ホットスポットの発生を早期に検知可能とし、ホットスポットの発生の初期段階において対処可能な排ガス処理設備および排ガス処理方法を提供すること。
【解決手段】焼結鉱を製造する際に生成する排ガスの処理設備であって、前記排ガス中の有害物質除去用吸着材を充填した移動層式の吸着塔を有し、前記吸着塔の内部に複数の温度計を、少なくとも前記吸着塔下部において前記吸着材の移動方向での間隔を４ｍ以内として設置することを特徴とする排ガス処理設備を用いる。また、上記の排ガス処理設備を用いて、焼結鉱を製造する際に生成する排ガスを処理することを特徴とする排ガス処理方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 排出される親水性ガスの量を低減できると共に、排ガスと接触させる油が引火する虞の少ない汚染物の浄化処理方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、有機ハロゲン化合物に汚染された汚染物を還元加熱することにより、該汚染物を浄化する還元加熱工程と、該還元加熱工程により生成した排ガスと油とを接触させることにより、排ガス中に含まれる未分解の有機ハロゲン化合物を油に吸収させる排ガス処理工程とを備えた汚染物の浄化処理方法であって、
前記排ガス処理工程では、油と水とを同時に排ガスと接触させることにより、排ガス中に含まれる親水性ガスを水に吸収させることを特徴とする汚染物の浄化処理方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】フロンガスを無害化する分解方法及び分解装置の提供。
【解決手段】フロンガスが供給される反応容器と、前記反応容器内に配設された複数の炭素繊維片と、前記炭素繊維片間にマイクロ波放電を生じさせるようマイクロ波を照射するマイクロ波照射手段とを備え、マイクロ波の照射により前記炭素繊維片間に生ずるマイクロ波放電によって、フロンガスを分解させるたことを特徴とする。
更には、分解ガス無害化手段により、フロンガスの分解によって発生した分解ガスを無害化することを特徴とする。 （もっと読む）