【課題】消化ガス中の有機シリカ化合物の成分が多く含まれても、ほぼ１００％除去することができ、長期にわたって高い効率を保つことができる消化ガス精製装置を提供すること。
【解決手段】シロキサン類を含む消化ガスを導入する導入部４０と、該消化ガス中の前記シロキサン類を吸着除去処理する活性炭吸着剤を充填した充填層４１、４２と、処理後のガスを排出する排出部４３とを有する活性炭吸着塔４を少なくとも備えた消化ガス精製装置において、前記活性炭吸着剤が、比表面積が８００ｍ^２／ｇ以上を有し、細孔分布ピークが１５〜３０Åであり、そのピークにおける細孔容積が０．２５ｍｌ／ｍｌ以上で、且つ、ＰＨが９．０以上である活性炭吸着剤Iと、比表面積が８００ｍ^２／ｇ以上を有し、細孔分布ピークが５〜１５Åの範囲にあり、そのピークにおける細孔容積が０．２０ｍｌ／ｍｌ以上で、且つ、ＰＨが９．０以上である活性炭吸着剤IIを含む少なくとも２種の組み合わせからなることを特徴とする消化ガス精製装置。 （もっと読む）

一又は二以上の不純物を除去するための（例えばプロセスガスからの水分）母材流体をプロセス処理するためのシステム及び方法。浄化器は、母材流体を受容れそして母材流体を第二のより低い温度まで冷却する予冷却器を含む。高表面積材料でできた浄化エレメントを収容するための容器が備えられる。容器は予冷却器から母材流体を受容れるための注入口及び強制的に浄化エレメントを流通させられた後に母材流体を排出するための排出口を含む。浄化器は、浄化温度まで容器の外表面を冷却するために、容器の外表面と熱的に接触する冷却器を含み、この温度は環境温度より低くかつ母材流体の相変化点より高くかつ概して約０〜−２００℃の範囲にある。 （もっと読む）

【課題】半導体製造や液晶製造などの先端産業における原材料、半製品、製品の基材や基板表面の汚染を防止するための清浄気体の調製方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基材又は基板表面の汚染を防止するための方法であって、クリーンルーム内の気体を、吸着手段および／または吸収手段と、除塵手段とに通すことによって、非メタン炭化水素濃度が０．２ｐｐｍ以下且つ微粒子濃度クラスが１０以下の清浄気体を調整し、得られた清浄空気を基材又は基板の表面と接触させることを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】不純物含有アルゴンガスを精製する際、装置構成を簡略化でき、設備費用、運転費用を低減することができる精製方法および精製装置を得る。
【解決手段】一酸化炭素、水素、酸素、窒素を不純物として含む不純物含有アルゴンガス中の一酸化炭素および水素を酸素と反応させて二酸化炭素と水に変換する触媒筒７と、この触媒筒７で生成したガス中の水を除去する第１吸着層と、この第１吸着層からのガス中の二酸化炭素を除去する第２吸着層と、この第２吸着層からのガス中の一酸化炭素と窒素を除去する第３吸着層とが同一筒内に設けられた吸着筒９ａ、９ｂを用い、第１ないし第３吸着層での吸着温度、再生温度を同一として、不純物含有アルゴンガスを精製する。 （もっと読む）

【課題】 配電用キャビネット等には、内部の湿度を一体に保つために、水蒸気を吸収および排出可能な湿度調整部材が取付けてあるが、ケーブル貫通部や扉の隙間が存在し、また保守点検時に扉を開閉することにより空間内に外部から湿気が流入するため、水蒸気を吸収および排出可能な度調整部材が飽和状態に達してしまい、機能を停止してしまうという問題があった。
【解決手段】 水蒸気を吸収および排出可能な湿度調整部材と、該湿度調整部材に吸収された水蒸気を蒸発させる発熱部材とを備えており、発熱部材を発熱させることによって湿度調整部材に吸収された水蒸気を強制的に排出するものである。
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【課題】 気体除湿浄化装置による除湿処理と浄化処理との両方について高い処理性能を得る。
【解決手段】 吸着剤を担持させた吸着ロータ４の回転経路Ｋに、被処理気体ＭＡを吸着ロータ４に通風して被処理気体中の水分及びガス状有機物を吸着剤に吸着させる処理域５と、再生用気体ＨＡを吸着ロータ４に通風して先の処理域５での吸着水分及び吸着有機物を吸着剤から脱着させる再生域６とを、吸着ロータ４の回転方向に並べて区画形成してある気体除湿浄化装置において、処理域５を吸着ロータ４の回転方向に並ぶ複数の分割処理域５ａ〜５ｄに区画し、水分及びガス状有機物を含む被処理気体ＭＡを複数の分割処理域５ａ〜５ｄに対して直列に通過させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 高密度低圧損失の充填層型熱交換型吸着装置を用いて所定吸着質濃度のガスを得るようにすること。
【解決手段】 薄層状の吸着剤層２１を内蔵した吸着と脱着を交互に行う吸着器１１と、
前記吸着器１１の出口及び入口の間に接続された熱交換器１３と、
を備え、
前記吸着器１１の入口から導入される被処理ガス中の吸着質を前記吸着剤層２１により吸着させ、前記吸着器１１の出口より得られたガスを前記熱交換１３を通して冷却し、前記熱交換器１３より得られたガスの一部を前記吸着器１１の入口へ循環させると共に残部を所定吸着質濃度のガスとして得る。 （もっと読む）

【課題】低いランニングコストで確実に臭気成分や有害成分、水分等を吸脱着できる吸脱着装置を提供する。
【解決手段】回転ロータ(22)には、供給装置(31)から供給される芳香物質を取り込んで包接する錯体構造を有したホスト物質が担持されている。芳香物質を包接した回転ロータ(22)は、脱離区域においてグリッド電極(32,32)により生じた電場内で芳香物質を放出する。芳香物質は送りファン(27)により室内へと運ばれる。 （もっと読む）

三段変圧吸着装置による酸素の生産方法であって、当該方法は、空気から窒素と酸素を分離し、製品は、酸素であるし、また窒素であるし、更に同時に窒素と酸素であることが可能であり、当該方法は、三段変圧吸着装置の直列操作を採用し、一段目変圧吸着装置は、二酸化炭素、水及び一部窒素を取り抜け、窒素を濃縮し、二段目変圧吸着装置は、一段目変圧吸着装置の吸着タワーの吸着ステップから流出した中間ガス中の窒素を更に取り抜け、酸素を必要な濃度まで向上し、三段目変圧吸着装置は、二段目変圧吸着装置の吸着タワーの吸着ステップから流出した酸素富化混合ガスの窒素とアルゴンを更に取り抜け、酸素を95V%以上まで向上し、一段目変圧吸着装置の吸着タワーは、一つのサイクルに、順次に吸着A、置換P’、真空吸上げVC、二段ガス逆方向均圧昇圧2ER、置換ガス昇圧R’、最終昇圧FRの変圧吸着のプロセスステップを経過し、二段目変圧吸着装置の吸着タワーは、一つのサイクルに、順次に吸着A、逆方向均圧減圧BD’、最終昇圧FRの変圧吸着のプロセスステップを経過し、三段目変圧吸着装置の吸着タワーは、一つのサイクルに、順次に吸着A、製品酸素置換P’、製品酸素減圧D、置換ガス昇圧R’の変圧吸着のプロセスステップを経過することを特徴とする。 （もっと読む）

収着ベッドシステムを使用してプロセス流体の流れの収着物濃度を低下させる方法は、以下のステップを含む。所定の体積の収着剤塊が、動作サイクルで、第１の領域を通過し、第１の領域に戻る前に、第２の領域、第３の領域、第４の領域、第５の領域、および第６の領域を順次通過する収着剤材料の塊が回転されるステップ。プロセス流体の流れが第１の領域の収着剤塊を通過し、再生流体の流れが第４の領域の収着剤塊を通過するステップ。第１の分離流体の流れが、プロセス流体の流れおよび再生流体の流れに関係なく、収着剤塊の第２の領域と収着剤塊の第６の領域との間で閉ループで再循環されるステップ。一方、第２の分離流体の流れが、プロセス流体の流れ、再生流体の流れ、および第１の分離流体の流れに関係なく、収着剤塊の第３の領域と収着剤塊の第５の領域との間で閉ループで再循環されるステップ。
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【課題】ドライヤを通過するガス流から水と二酸化炭素を除去する合成吸着材を含むＰＳＡドライヤを提供する。
【解決手段】ガス流から水と二酸化炭素を分離するための圧力スイング吸着（ＰＳＡ）ドライヤであって、２本の合成吸着カラムを含む（３２，４２）。それぞれのカラムは、水を吸着する第１吸着材と二酸化炭素を吸着する第２吸着材とを含む。第２吸着剤は固体アミンを含む。例として、第２吸着材は多孔性樹脂の骨格に結合したアミノ基を有する高多孔性ポリスチレン基質である。それぞれのカラムで、第１及び第２吸着物質の混合物が水の吸着物質を含む上層（３４，４４）及び下層（３６，４６）に挟まれた中間層（３８，４８）を形成することが好ましい。 （もっと読む）

高圧回転式吸着剤ホイールを用い、最終的な精製の前に、水などの不純物を濃縮し、凝縮して排出して、高価な圧縮されたガス供給原料を精製することができる。システムからのガスを消費してしまうのではなく、高価ガス供給原料の凝縮の前の点で流出物を供給原料に戻し、それによって、高価なガス供給原料のいずれも排出流として流出することなしに全供給原料が精製される。この圧縮ガス供給原料は回転式吸着剤ホイール（２６）の再生セクターを通じ流され、凝縮装置（２８）内で冷却され、そこから（水などの）凝縮物が除去される。そして、そのガスは回転式吸着剤ホイール（２６）の吸着セクターを通される。吸着剤ホイールシステムは少なくとも１つの再生セクター、少なくとも１つの吸着セクター、そして少なくとも１つの冷却セクターを含む。 （もっと読む）

腐食性ガス、特にハロゲン含有ガスから不純物を約１００ｐｐｂの濃度に低下するまで除去するための方法、組成物、および装置が開示される。重要な構成要素はジルコニア（ＺｒＯ_２）であり、これは種々の物理形態で、このようなガスを脱水することができる。ジルコニアは、基体上のコーティングの形態であってもよいし、粒状バルク材料であってもよいし、多孔質体の細孔内部に堆積させることもできる。このジルコニアは簡単な容器中に維持され、気相堆積または蒸着製造ユニットなどへのガス供給ライン中に容易に取り付けられる。本発明の精製方法は、これらのガスの存在下で長期間実施することができる。本発明によって、高純度の電子製品、補綴製品、または類似の製品の気相堆積または蒸着の形成を意図したガス流への最終的な精製が行われ、上流の予備脱水プロセスまたは固体粒子除去ユニットと併用することができる。 （もっと読む）

【課題】空気吸入口の清掃や吸着剤の交換等のメンテナンスを容易に行うことができる簡易型空気清浄装置を提供すること。
【解決手段】ゼオライト粉末、セビオライト繊維、コロイダルシリカ等を含有するセラミック体からなる吸着剤を用い、ファンモータによって空気の流れを起こして脱臭、除塵、又は除湿を行う簡易型空気清浄装置であって、筒状体からなる装置本体の一端側に蓋体を、他端側に底板をそれぞれ着脱可能に設け、前記蓋体に空気吸入口を形成するとともに、前記底板に前記ファンモータを固定し、前記空気吸入口と前記ファンモータとの間の空間に、前記吸着剤を着脱可能に配設したことを特徴とする簡易型空気清浄装置。 （もっと読む）