【課題】接着剤層を介して石英基板を貼り合わせた分割対象基板に対して、気泡を発生さ
せることなく分割することが可能なレーザスクライブ方法を提供する。
【解決手段】接着剤層３を介して石英基板１，２を貼り合わせて分割対象基板４とし、主
として、その石英基板１，２の部分にレーザビーム照射装置１０からレーザビームを照射
して改質領域を生成し、その改質領域を所定の範囲に形成することで分割対象基板４を分
割可能とするレーザスクライブ方法にあって、レーザビーム照射装置１０からレーザビー
ムを照射する以前に石英基板１，２の厚さを非接触に検出し、検出された石英基板１，２
の厚さから接着剤層３の位置を検出し、検出された接着剤層３の位置に集光領域がかから
ないレーザビームの集光位置及び収差補正を設定し、その集光位置及び収差補正に基づい
てレーザビーム照射装置１０からレーザビームを照射する。 （もっと読む）

【課題】 平板ワークや厚物ワークの平面又は緩やかな三次元平面等のワーク表面に、各種模様パターンを自由自在に加工制御できるようにしたレーザ加工機の多機能加工制御方法とレーザ加工機の多機能加工制御装置を提供するものである。
【解決手段】 フェムト秒レーザ発振器１０から発射される直線偏光のフェムト秒レーザＬＯを、シャッタＳＴで開閉制御されて間欠照射可能なレーザ光とし、上記レーザ光を切換手段ＨＤで切り換え選択される周期性溝用ホモジナイザーＨ１又はディンプル加工用ホモジナイザーＨ２又は混合加工用ホモジナイザーＨ３の何れか一つを介して集光レンズＲ３で集光され、更に上記レーザ光は回転駆動と三次元移動が可能なワーク移動ユニット５０に搭載された平面ワークＷの表面Ｗ１に対して照射する。 （もっと読む）

【課題】加工速度を自動的に設定する機能を備えた高速レーザ加工において、加工品質が悪化し得る速度範囲での加工を自動的に回避することができる安価なレーザ加工装置及び加工方法を提供する。
【解決手段】レーザ切断速度が遷移速度範囲内にある場合は、切断速度は自動的に遷移速度範囲外又はその境界値に設定される。従って加速度の制限等から定められるレーザ切断速度が遷移速度範囲内にある場合であっても、実際に遷移速度範囲内の切断速度でレーザ加工が行われることはなく、常に切断面の品質が良好に安定した加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】丸穴、長穴、四角穴、コーナループ部分、ミクロジョイント部分及び輪郭形状等を切断するレーザ切断において、これらの形状又は組み合わせを、機械的なショックを回避しつつ高速かつ高精度でレーザ切断するための、軌跡経路の生成及び軌跡経路に従う移動の実行を可能にする。
【解決手段】レーザ加工をしない移動経路区間１０２と、レーザ加工を行う切断経路区間１０６との間に便宜上の加速区間１０４を設定する。加速区間１０４は、切断経路区間１０６に対して、加速度及び加々速度の各々について、経路の接線方向及び法線方向のいずれについても、それらの絶対値が許容値以内に制限されるように設定される。 （もっと読む）

【課題】旋回機構を有さない加工装置によって、所定の開先角度を有する円弧軌跡の切断加工を行なう場合に、トーチの座標位置に対応した開先角度を横行方向の回動及び走行方向の回動により効率的に得ることができるトーチの開先角度の制御方法及び制御装置を提供すること。
【解決手段】ＣＮＣ制御部２２は、ＮＣプログラムに記述された、円弧軌跡の中心ＸＹ座標位置と、終点座標位置と、トーチ軸線Ｏ１の開先角度と、トーチの移動速度Ｖとに基づいて、円弧軌跡を中心ＸＹ座標位置を原点とする極座標系に変換し、極座標系における加工点の偏角を算出して、前記開先角度と、前記偏角に基づいて、前記加工点に対応するＡ軸回動角度及びＢ軸回動角度を算出し、前記ＣＮＣ制御部２２は、前記算出された前記Ａ軸回動角度及び前記Ｂ軸回動角度に基づいて、前記Ａ軸駆動部１６Ａと、前記Ｂ軸駆動部１６Ｂとを駆動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置において、複数のレーザ光源を有することなく、また、製造コストや維持コストの上昇を抑制しつつ、高出力化を実現すること。
【解決手段】出力指令手段４１は出力指令を含む加工条件を出力する。レーザ発振器５６はレーザ光を出力し、電源装置５５はレーザ発振器５６に励起電力を供給する。パワーセンサ５８は、レーザ発振器５６から出力されるレーザ光の出力を検出する。演算部４２ａおよび演算部４２ｂのそれぞれは、加工条件に基づいて、電源装置５５からレーザ発振器５６に投入される投入電流を出力指令に基づいて決定するとともに、投入電流に基づく制御電圧を演算して電源装置５５に出力するが、演算部４２ｂは出力指令が所定値以下となる低出力の出力指令を処理し、演算部４２ａは出力指令が所定値を超える高出力の出力指令を処理する。 （もっと読む）

【課題】加工ヘッドとワークの衝突を回避してワークの安定したレーザ加工を行なうレーザ加工装置を得ること。
【解決手段】レーザ加工装置において、ワーク１０４と加工ヘッド３の相対位置を制御するＮＣ制御部７と、ＮＣ制御部７が加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへアプローチさせる際にワーク１０４の加工面と加工ヘッド３との間の最短距離を距離情報として検出する距離検出部と、を備え、ＮＣ制御部７は、加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへアプローチさせる際に距離検出部が検出した距離情報に基づいて加工ヘッド３の倣い制御を行なうとともに、アプローチの際には加工ヘッド３を退避位置から次の加工ポイントへ斜め下降させる斜め下降制御を用いてアプローチさせる。 （もっと読む）

【課題】ワークが伸縮しても作業を継続することができるシート状ワークの加工装置を提供すること。
【解決手段】カメラ６０により撮像された今回のアライメントマーク７０ｉ位置の設計上の前記アライメントマークの位置に対する搬送方向の誤差Δｘを積算する積算手段と、前記積算手段で積算された累積誤差Ｋと予め定める値±Ｊとを比較する比較手段と、を設け、累積誤差Ｋが−Ｊ≦Ｋ≦Ｊから外れた場合は、次回のワークｗの搬送方向の移動量を、移動量Ｌに代えて、移動量（Ｌ−Ｋ）にすると共に、累積誤差Ｋを０にする。 （もっと読む）

【課題】テーブルの表面に１０〜３０μｍ程度の凹凸が存在する場合であっても、ワーク表面の高さを測定する時間を短くでき、加工能率を向上させることができる穴明け加工方法およびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】ワーク２０を載置するＸ−Ｙテーブル６表面の高さを予め格子状に測定しておく。加工に先立ち、Ｘ−Ｙテーブル６上に載置されたワーク２０上面の任意の点Ｐｓｔ（ｘｓ、ｙｔ）の高さＨｓｔを測定し、点Ｐｓｔを囲む４点の高さを用いて演算により、点Ｐｓｔの表面高さｈｓｔを求め、測定された高さＨｓｔと演算により得られた高さｈｓｔとの差をワーク２０の板厚Ｔとする。そして、他の加工位置Ｐｅｆ（ｘｅ，ｙｆ）におけるワーク２０上面の高さＨｅｆを、マトリクス状に測定したテーブル表面の高さから演算される当該位置における高さｈｅｆと板厚Ｔとの和としてレーザの結像位置を定める。 （もっと読む）

【解決手段】テストワークの上方に架設されたフレーム４に沿って進退動する加工ヘッド６は、上記フレームの歪みによって加工位置がずれる場合がある。 そこで上記加工ヘッドと撮像手段７とを所定のオフセット量だけ離隔した位置に固定し、上記加工ヘッド６により上記テストワークにＹ方向に３ヶ所加工部を加工したら、上記移動手段５を上記加工部の座標値から上記オフセット量だけＹ方向に移動させて、上記撮像手段７により各加工部を撮影する。 撮影した加工部の中心位置の座標値を抽出し、該加工部の中心位置と撮像手段の撮影中心とからずれ量を測定して、各加工部でのずれ量から平均ずれ量を算出し、実加工の際には上記平均ずれ量だけ移動手段５および加工テーブル３の移動量を補正する。
【効果】フレームの歪みによる加工精度の低下を防止し、かつ歪みによる位置ずれの補正に必要な調整を迅速に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ光による加工線幅よりも広い幅を有する加工線又は加工面を形成するための加工パターンを容易に生成することができるレーザ加工データ設定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 焦点距離を調整可能なレーザ光を２次元走査させるレーザ加工装置１００のための加工データを生成するレーザ加工データ生成装置１３０であって、ＸＹ平面内の２次元パターンを指定するための形状種類指定部４００と、この２次元パターンをＺ方向に移動させるピッチを指定するためのピッチ指定部とを有する３Ｄ切削パターン入力手段７３、及び、上記ＸＹ走査に同期させて上記ピッチだけＺ方向に移動させていく加工パターンを生成する加工データ生成手段７７Ａで構成され、３次元パターンを容易に生成することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工において、素材に蓄積される熱密度をネスティングデータに基いて算出し、加工不良を防止するＮＣプログラムを作成する。
【解決手段】素材Ｂ_１からワークＷ_１〜Ｗ_９を切り出す際に、ネスティング領域Ｎ_１を線Ｓ_１〜Ｓ_４の長さ寸法の合計として定義し、ＮＧ_１とする。ワークＷ_１〜Ｗ_９のレーザ加工長さ寸法は、線長Ｌ_１〜Ｌ_４と丸穴の円周長Ｃ_１を合計し、９倍したものであり、ＬＧ_１と定義される。熱密度ＨＦ_１＝ＬＧ_１／ＮＧ_１として算出し、この熱密度を予め設定したパラメーターと比較し、熱による加工不良を防止する加工手順を設定し、プログラムを作成する。 （もっと読む）

【課題】加工パラメータの変更に追従させて加工条件を自動的に変更し、条件出しを容易に行えるようにする。
【解決手段】加工条件設定部で一の加工パラメータの値を変更しても、該加工パラメータに対応する設定項目のみが加工に際して反映され、他の設定項目については維持するように、該加工パラメータ値の変更に応じて他の加工パラメータの値を予め調整した値を保持すると共に、これら該加工パラメータ及びこれに対応する他の加工パラメータの値を関連付けて保持した参照テーブル５ａとを備え、加工条件設定部で一の加工パラメータを変更すると、加工データ生成部が、該加工パラメータの変更に応じて、対応する他の加工パラメータを参照テーブル５ａから呼び出して、該他の加工パラメータを新たな値に更新可能としている。 （もっと読む）

【課題】複数の加工ブロックを設定する際の設定作業を容易にする。
【解決手段】所望の加工パターンに加工する加工条件を入力するための加工条件設定部と、加工条件設定部で設定された加工条件に従って、加工対象面のレーザ加工データを生成する加工データ生成部と、加工データ生成部で生成されたレーザ加工データのイメージを表示可能な表示部とを備え、加工条件設定部が、異なる加工条件に設定可能な複数の加工ブロックを設定するための加工ブロック設定手段と、加工ブロック設定手段で設定された複数の加工ブロックを表示部に表示させた状態で、任意の複数の加工ブロックを纏めた加工グループを設定するためのグループ設定手段３Ｊとを備えており、グループ設定手段３Ｊでグループ化された加工グループ単位で、加工ブロック設定手段から一以上の加工条件を設定可能に構成している。 （もっと読む）

【課題】マーキングヘッドとワークとの位置関係を容易に把握して設定作業を容易としつつ設定ミスを防止する。
【解決手段】レーザ光を発生させるためのレーザ発振部と、レーザ発振部より出射されるレーザ光を作業領域内において走査させるためのレーザ光走査系とを少なくとも備えるヘッド部と、レーザ発振部およびレーザ光走査系を制御するためのレーザ制御部と、所望の加工パターンに加工する加工条件として複数の加工パラメータを入力するための加工条件設定部と、加工条件設定部で設定された加工条件に従って、加工対象面のイメージを３次元的に表示可能な加工イメージ表示部８３と、加工イメージ表示部８３において、加工対象面のイメージを３次元的に表示させる際に、レーザ加工装置のヘッド部のイメージを表示可能なヘッドイメージ表示手段８４とを備える。 （もっと読む）

【課題】加工面の立体形状の指定を容易に行えるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】加工条件設定部３Ｃで設定された加工条件に従って、加工対象面のレーザ加工データを生成する加工データ生成部と、加工データ生成部で生成されたレーザ加工データのイメージを２次元的及び／又は３次元的に表示可能な加工イメージ表示部とを備え、加工条件設定部３Ｃがさらに、加工パターンを２次元情報として入力する加工パターン入力手段と、加工対象面の３次元形状を示すプロファイル情報を入力するための加工面プロファイル入力手段とを備え、加工面プロファイル入力手段が、加工パターン入力手段から入力された加工パターンの２次元情報を３次元的な加工対象面に従った３次元レーザ加工データに変換するための基準となる、３次元的な加工対象面を表す基本図形を指定可能に構成している。 （もっと読む）

【課題】エアバック装置を覆う自動車用内装部品カバー層の内側を予め脆弱化する方法に関する。
【解決手段】レーザビーム１４の使用により、エアバッグ展開と同時に内装部品のエアバッグ展開用開口部を極めて正確な溝の刻みにより形成することが可能となる。レーザビームはカバー１６の内側表面に衝突し、溝の刻み２０或いは離間された孔を形成して、予脆弱化するパターンを形成する。ロボットアームが、予脆弱化するパターンを形成するようレーザ発生器１２を移動すべく用いられてもよい。レーザビームは、測定された状態に従って制御されて正確な予脆弱化を達成すると共に、基盤パネルをトリムし他の切断制御を実行するためにも用いられる。 （もっと読む）

【課題】移動するワークの立体面に高品質な加工を可能とする。
【解決手段】所望の加工パターンに基づいて加工データを設定するためのレーザ加工データ設定装置であって、所望の加工パターンで加工するために加工条件を設定するための加工条件設定部３Ｃと、加工条件設定部３Ｃで設定された加工条件に基づいて、実際の加工を行うための加工データを生成するための加工データ生成部８０Ｋとを備え、加工条件設定部３Ｃはさらに、加工パターン情報を入力するための加工パターン入力手段と、加工対象面の３次元形状に関するプロファイル情報を入力するための加工面プロファイル入力手段３Ａと、加工対象面の移動条件を入力するための移動速度入力手段３Ｄとを備え、加工データ生成部８０Ｋが、加工条件設定部３Ｃで設定された加工条件と、３次元状の加工対象面とに基づいた加工データを生成する。 （もっと読む）

【課題】機械装置の原点復帰において、センサやスイッチを使用せずに簡単に原点復帰が出来るようにするとともに、機械装置の安全性が高い原点復帰が出来る機械装置のコントローラを提供する。
【解決手段】可動体を移動させるモータ１２と、経路上の所定位置で原点パルスを発生する位置検出器１３と、モータ１２を駆動するドライバ１４と、ドライバ１４に駆動指令を送るコントローラ１５からなる機械装置のコントローラ１５において、予め設定された移動量パラメータ値に基づいて、移動開始位置から、正負両方向に交互に可動幅を広げるように移動しながら原点位置をサーチし、原点位置を検出すると検出した原点位置に位置決めする原点復帰処理部２５を備える。 （もっと読む）

【課題】部品を巧みに取り扱えるようにすると同時に、使用者が負傷する危険性を低減することもできるレーザ溶接方法を提供する。
【解決手段】レーザビーム１８を発生させるレーザ１６を用いて金属部品を溶接する方法であって、その方法は、金属部品５０に隣接しかつレーザビーム１８の通路にあるフィラ材料５２の連続する部分を手動で送ることと、レーザビーム１８を発生させてフィラ材料５２を溶融させることと、溶融したフィラ材料５２を冷却してフィラ材料５２を金属部品５０に結合することと、を含む。この方法はさらに、レーザビーム１８に対する使用者の手２６の検出位置に基づいてレーザビームの強度を制御することを含む。 （もっと読む）