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Fターム[4F041BA32]の内容

Fターム[4F041BA32]に分類される特許

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【課題】汚染及び/又はパターンの欠陥を軽減できる少量液体ディスペンサシステムを提供する。
【解決手段】少量レジストディスペンサは、スピンコータのノズルに、及びスピンコータへの液体供給を制御するために弁を開閉する制御装置出力部に接続可能な逆吸引可能圧力作動弁を含む。ディスペンサは、ガス圧を与えることによって瓶内の流体を加圧する瓶用のホルダを備える。ディスペンサは、例えば、100mlから300mlのレジストのレジストサンプルを含んだレジストサンプル事前充填瓶で使用するのに適切である。 (もっと読む)


【課題】インクジェットヘッドのインク室にインクを供給してから全てのノズルがインクを吐出可能となるまでに要する準備時間を短縮する。
【解決手段】本発明の膜形成装置は、インクジェットヘッドIJHと、第1インクを収容する第1容器CN1と、前記第1インクと比較して粘性率がより大きい第2インクを収容する第2容器CN2と、前記インクジェットヘッドIJHのインク室に供給するインクを前記第1インクと前記第2インクとの間で切り替える切替装置VL1,VL2とを具備したことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】樹脂組成物の連続した安定塗布を実現することができるとともに、樹脂組成物を最後まで無駄なく使い切って効率的に使用することができる樹脂組成物塗布装置および樹脂組成物塗布方法を提供する。
【解決手段】シリンジ1は、吐出部5の内面とネジ部7のネジ山の頂との距離が0.1〜0.2mmに設計され、ノズル3と接続部4を介して連結され、加圧によりシリンジ1内を下方向に移動できる蓋部2の中心部に、シャフト部8との距離が0.01〜0.1mmの穴部2aが設けられ、これらが塗布機本体12内に予め固定された設置部位6に固定され、シリンジ1が持ち上げられて、空隙を作らないように、シャフト部8が20〜50rpmで回転されながらシリンジ1内に挿入される。 (もっと読む)


基礎をなす基材との関係における実質的に複数の異なる場所において、例えば、複数の異なるタイプのパターン、複数の異なるタイプの塗布技術又はプロセス、又は複数の異なるタイプの周期的動作を有する複数の異なるホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料の堆積物を実質的に同時に実現可能である、新しく、且つ、改善されたハイブリッドホットメルト接着剤その他の熱可塑性材料供給システムである。本ハイブリッドシステムは、複数の計量ヘッド供給モジュールを有する計量ヘッドがその上部に取付けられた計量ステーションと、一対のアプリケータヘッド供給モジュールを有する一対のリモートアプリケータヘッドとを有する。 (もっと読む)


【課題】液体吐出方法および装置において、被吐出液体の粘度が変化しても一定量を安定して吐出させることができるようにする。
【解決手段】予備吐出工程と、本吐出工程とを順次行う液体吐出方法であって、予備吐出工程では、押し出し速度uによって、第1の押し出し体積だけ押し出しを行って、ノズル先端1aに引き戻り空間14が形成されるように接着剤2の一部を吐出し、本吐出工程では、押し出し速度uによって、第2の押し出し体積だけ押し出しを行って、引き戻り空間14の空気と接着剤2の残存分の一部とを吐出するようにし、押し出し速度、押し出し体積は、接着剤2一定の粘度範囲内において、引き戻り空間14の容積が、第2の押し出し体積による吐出体積の吐出体積目標値に対する誤差量を、略相殺できるように設定する。 (もっと読む)


【課題】溝付板材の溝内面を、溝のエッジまできれいに塗装することができる簡単な構造の溝塗装装置を提供する。
【解決手段】塗布液を連続的に吐出するディスペンサノズル8を溝付板材1の溝4に対して相対的に移動させながら該溝内に塗布液13を供給し、次いで、溝4の両側のエッジ4a、4aに押し当てられる一対の傾斜面17a、17aを備えたスキージ本体17を塗布液供給後の溝4に押し当てた状態で溝4に対して相対的に移動させ、塗布液13を溝内面に拡げると共に溝の外側への漏れ出しを一対の傾斜面で防止し、溝内面全域をきれいに塗装できる構成とする。 (もっと読む)


【課題】エア等の異物を簡単に除去できる異物除去装置を提供すること。
【解決手段】エネルギUVを加えられて硬化する液状のガスケット材料2を収容する収容容器3と、前記ガスケット材料2をワーク4に塗布する塗布装置5との間に配置される異物除去装置10において、前記収容容器3と前記塗布装置5とを接続するものであって、窓18が形成された接続管11と、前記窓18を介して前記ガスケット材料2を監視し、前記ガスケット材料2に含まれる異物8を検出する異物検出装置19と、前記異物検出装置19が前記ガスケット材料2に含まれる異物8を検出した場合に、前記異物8を含む前記ガスケット材料2に対して前記エネルギUVを加えるエネルギ付加装置20と、前記エネルギ付加装置20が前記エネルギUVを加えて硬化させたガスケット材料2aを除去する除去装置16と、を有する。 (もっと読む)


【課題】液体吐出装置が液体の種類を判別する必要なく所定量の液体を吐出することが可能であり、吐出させる液体を簡単に交換することができる液体吐出装置用詰替容器を提供する。
【解決手段】カートリッジ100は、液体102を収容するためのタンク部100aと、外部から与えられる駆動信号によって駆動されて、タンク部100a内の液体を外部に吐出するためのポンプ部100bとを備え、ポンプ部100bは、外部から与えられる一定の駆動信号に応じて外部に吐出する液体の量を決定する振動板210と圧電素子211と電気抵抗710と電気抵抗720を有する。 (もっと読む)


【課題】 部品点数を削減し、または液体検出時の振幅を大きくできる構造を備えた液体検出装置及びそれを用いた液体収容容器並びに液体検出装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体検出装置200は、開口部130を介して流路134が露出形成された本体ケース102と、本体ケースの流路に臨んで配置されるセンサベース210と、センサベースに搭載されたセンサチップ220と、センサベースが保持される開口部を封止するフィルム202と、流路を上流側134aと下流側134bとに仕切る隔壁136とを備える。センサチップはセンサキャビティ222を有し、センサベースは、上流側134aよりセンサキャビティに液体を導く第1の孔212と、センサキャビティより下流側134bに液体を導く第2の孔214とを含む。センサベースは、開口部の奥行き方向では、隔壁のみを介して本体ケースと接触可能である。 (もっと読む)


【課題】ストライプ塗工を行うことができる塗工装置を提供する。
【解決手段】サクションテーブル12の上面にある基材Wの上面に塗工液をストライプ塗工するものであり、塗工ノズル14の複数の毛管状隙間から塗工液を吐出して基材Wの上面に接液し、基材Wを移動させながら毛細管現象とサイフォン現象により塗工液を塗工厚さdでストライプ塗工し、塗工終了後に塗工ノズル14を上昇させると共にサイフォン現象により離液を行い塗工を終了する。 (もっと読む)


【課題】噴射不良の発生を抑止することができる液滴噴射塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射塗布装置1において、液体収容部21から供給される液体を噴射する液滴噴射ヘッドHと、液体収容部21から液滴噴射ヘッドHに液体供給流路31を介して供給する液体供給部P1と、液体供給流路31中に液体供給部P1より液滴噴射ヘッドH側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第1緩衝液体貯留部19と、液滴噴射ヘッドHから液体収容部21又は第1緩衝液体貯留部19に液体戻し流路32を介して戻す液体戻し部P3、P4と、液体戻し流路32、33中に液体戻し部P3より液滴噴射ヘッドH側に位置付けて設けられ流入する液体が滴下するように形成された第2緩衝液体貯留部20とを備える。 (もっと読む)


【課題】サブタンクへの機能液の初期充填動作時において、気泡除去手段により適切に機能液の気泡を除去することができる機能液供給装置における機能液の初期充填方法等を提供することを課題とする。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド17に連なるサブタンク121に、メインタンク181から機能液を通液して充填する初期充填方法であって、メインタンクとサブタンクとを接続する機能液流路に、機能液内のマイクロバブルを除去すると共に、その除去率が通液流量に依存する気泡除去手段135を介設したものにおいて、メインタンクからの機能液の通液を開始した後、機能液が気泡除去手段に充填されたところで通液を停止し、気泡除去手段内の機能液が所定の除去率になるまで時間をおき、その後、通液を再開し、気泡除去手段内の機能液をほぼ通液したところで通液を停止する個別充填工程を、全てのサブタンクに機能液を充填されるまで、繰り返す。 (もっと読む)


【課題】サブタンク内の機能液を適切に回収することができる機能液回収方法等を提供することを課題とする。
【解決手段】メインタンク181、機能液流路137、サブタンク121、ヘッド側流路146および機能液滴吐出ヘッド17の順で機能液が供給される機能液供給系に機能液を充填した状態から、サブタンク121に対し機能液の抜取り動作および再補充動作を行なう機能液回収方法であって、サブタンクから抜き取った機能液を貯留する回収タンク215と、機能液流路に介設した分岐部216と、これらを接続した回収流路240と、を用い、機能液流路を回収流路に流路切替えし、サブタンクの機能液を回収タンクに送液して抜取り動作を行う抜取り工程と、抜取り工程の後、分岐部から上流側の機能液流路を回収流路に流路切替えた状態で、回収タンクの機能液をサブタンクに送液して再補充動作を行う再補充工程と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】サブタンク内の上部空間を機能液の飽和気体の雰囲気に保つことができるサブタンクユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】サブタンクユニット121は、メインタンクからの機能液補給を受けると共に、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドとの間の水頭値を所定の許容範囲に維持しつつ、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給するサブタンクユニット121において、機能液を貯留するタンク本体171と、一端をタンク本体171の上部空間に連通すると共に他端を大気開放した通気用チューブ166と、を備え、通気用チューブ166は、上部空間の容積と同等以上の容積を有している。 (もっと読む)


【課題】機能液の残量がゼロになったことを正確に検出することができる機能液タンクの残量管理方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに供給される機能液を貯留する機能液タンクの残量管理方法であって、機能液タンクの重量を計測し、空の機能液タンクとの重量差から機能液タンク内の機能液の残量を求める残量測定工程と、機能液タンクから供給される機能液に乗って流れる気泡の有無を検出する気泡検出工程と、残量測定工程により、機能液タンク内の機能液の残量が所定値以下となった後、気泡検出工程により気泡の「有」を検出した場合に、機能液タンク内の機能液を使い切ったものと判別する判別工程と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】最大適正送液流量を超えることなく、複数のサブタンクへ機能液を供給することができる機能液補給方法等を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の複数の機能液滴吐出ヘッドに連なる複数のサブタンク121に対し、各サブタンクからの要補給信号に基づいて、メインタンク181から機能液をそれぞれ補給する機能液供給装置における機能液補給方法であって、要補給信号と所定の補給条件とに基づいて、補給対象となる1以上のサブタンクに対する補給順位を決定する補給順位決定工程と、決定した補給順位に基づいて、メインタンクからの適正送液可能な最大適正送液流量を限度として、補給対象となる1以上のサブタンクを選定するタンク選定工程と、選定された1以上のサブタンクに同時に機能液の補給を行う補給工程と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】機能液滴吐出ヘッドの移動の際に、サブタンク内の機能液の液面揺れを抑制すること。
【解決手段】液滴吐出装置1は、ワークに対し、機能液滴を吐出させて描画を行なうインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド17と、機能液流路を介してメインタンクから補給された機能液を機能液滴吐出ヘッド17に供給すると共に、上部に気体空間を有するサブタンク121と、サブタンク121および機能液滴吐出ヘッド17を搭載すると共に、描画時にサブタンク121および機能液滴吐出ヘッド17を一方向に移動させる移動手段12と、を備え、サブタンク121は、薄型直方体形状に形成され、薄型となる厚み方向を移動方向に略一致させた姿勢で移動手段12に搭載されている。 (もっと読む)


【課題】タンク本体内の機能液が凝集することを抑えることができるサブタンクユニットを提供することを課題としている。
【解決手段】上流側機能液流路126を介してメインタンク181からの機能液補給を受けると共に、下流側機能液流路127を介してインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド17に機能液を供給するサブタンク121において、平面視長方形に形成されたサブタンク本体171と、サブタンク本体171の下端部に配設され、上流側機能液流路126に接続される流入流路151と、サブタンク本体171の下端部に配設され、下流側機能液流路127に接続される流出流路152と、を備え、流入流路151および流出流路152は、サブタンク本体171の長辺方向に離間して配設されている。 (もっと読む)


【課題】気体透過膜が変形した場合にも気体透過膜が剥がれたり破損したりするのを抑制する。
【解決手段】メインタンクからのインクが供給されるサブタンク31内のインク貯留室42の上方に、気体透過膜53を介してインク貯留室42と連通した空気室51が形成されている。空気室51を負圧にすることにより、気体透過膜53を介してインク貯留室42内の気液分離を実施でき、インク流路42bを介して液滴噴射ヘッドへと空気が流入することが抑制される。一方、空気室51内には、気体透過膜53に向かって突出する補強リブ62が形成されている。気体透過膜53が上方へ突出変形した場合に、補強リブ62が気体透過膜53に当接することで、気体透過膜53が変形しすぎるのが抑制されている。 (もっと読む)


【課題】キャリッジ上にインクカートリッジなどの流体貯留部を配置した、いわゆるオンキャリッジタイプの流体噴射装置において、流体貯留部から流体噴射ヘッドに流体を良好に供給する。
【解決手段】インクカートリッジ7が気密状態の収容空間73を有するように構成するとともに、インクを貯留したインクパック71が収容空間73に収容されている。そして、キャリッジ6の移動に応じてポンプ8を作動させ、収容空間73に対して空気を送り込んで収容空間73内の圧力を高める。したがって、インクパック71内のインクを確実に記録ヘッド5側に送り出すことができ、インクパック71内へのインクの残留を効果的に防止することができ、インクを無駄なく消費することができる。 (もっと読む)


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