【課題】メンテナンスが容易で、生産効率が良い溶融金属吐出装置を提供する。
【解決手段】溶融金属１４を対象物４０に吐出する溶融金属吐出装置１０であって、溶融金属１４を保持するシリンダ２３ａと、シリンダ２３ａの一端に設けられ、対象物４０に溶融金属１４を吐出するノズル２５ａと、シリンダ２３ａの中を摺動し、保持される溶融金属１４をノズル２４ａから吐出させるピストン２１ａと、シリンダ２３ａとピストン２１ａとの間に設けられる環状シール２２ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でしかも、気泡の停留を視認し易く該気泡を容易に除去することので
きるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】インクタンクと液滴吐出ヘッド３０のポートＰＯに、透明の逆Ｕ字状管路３
１を連結し、その逆Ｕ字状管路３１上の頂上部３１ｃに気泡捕集管路３２設ける。逆Ｕ字
状管路の頂上部３１ｃを通る金属インクＦ中に含まれた気泡Ｂは、気泡捕集管路３２に案
内され集められ、液滴吐出ヘッド３０には送り込まれない。 （もっと読む）

【課題】作業負担増や人為的ミスを誘発させることなくシリンジ内のペースト残量を検知することができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】一方の上部開口１ａから加圧されることで内部に貯留したペースト４を他方の吐出口１ｂから吐出するシリンジ１を備えたペースト塗布装置において、吐出によって移動する液面の変位を検知対象域におけるペーストの有無に応じて変化する静電容量によって検知する静電容量センサ３を備えた。静電容量センサ３はその側方を検知対象域とし、検知対象域がペースト充填空間５である場合とペースト非充填空間６である場合とで静電容量が変化し、ケーブル７から異なる電気信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、減圧下でインクジェットヘッドから基板上に材料溶液を吐出塗布して薄膜を形成する際に、膜厚の均一性を実現すると共に、吐出塗布の機能を損なうことなく各構成を簡潔に実装した薄膜形成装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、一定間隔で形成された複数のノズルから材料溶液を吐出して基板に塗布する複数のインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドにノズル面と液面との水頭差を利用して材料溶液を供給する塗布溶液収納容器と、前記基板を載置し水平に移動させる基板搬送テーブルと、前記インクジェットヘッド及び塗布溶液収納容器及び基板搬送テーブルを収容する減圧手段を備えた減圧室とからなり、前記インクジェットヘッドに直接接続された前記塗布溶液収納容器を同じ減圧環境下に置くことを特徴とする薄膜形成装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】例えば、気泡を巻き込むことなくシリンジからノズルにシール剤を充填する。
【解決手段】ポンプ（２２０）は、シール剤（３５２）をノズル（３２０）に充填する際に、穴部（２１１）を介してチャンバ（２１０）内のガスをチャンバ（２１０）の外部に排気する。したがって、チャンバ（２１０）内の圧力Ｐ２は、相対的に開口部（３１１）側の空間における圧力Ｐ１より低くなる。このようにして開口部（３１１）の側の圧力Ｐ１とノズル（２１０）内の圧力Ｐ２との間に相対的に圧力差ΔＰが生じ、気泡を巻き込むことなくシリンジ（３１０）からノズル（３２０）にシール剤（３５２）が引き込まれ、ノズル（３２０）にシール剤（３５２）が充填される。 （もっと読む）

【課題】待機中における高粘度流体の液だれを防止する。
【解決手段】所要の内容積を有する吐出口１１の手前に吐出口１１から拡がる拡大部を備えたノズル１０と、先端部がノズル１０の拡大部に接離して吐出口１１を開閉可能なプランジャ３０と、プランジャ３０を吐出口１１の開放方向に付勢する付勢力に抗して閉鎖方向に作動させる駆動部材５０と、を備える。待機中は駆動部材５０がプランジャ３０を作動させ先端部を拡大部に圧接させて吐出口１１を閉鎖状態に維持する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成においてインクを供給可能なピットイン方式を採用しつつも、生産ラインにおいても高い信頼性を保ち、インクを供給する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出装置は、インクタンクと、インクタンクと流路によって接続され、インクを吐出するインクジェットヘッド１８と、インクタンクと流路によって接続され、インクジェットヘッドのノズル面と同一平面に開口面を備えたインク供給口２３と、インク供給口２３の開口面を密閉する密閉部材と、インクジェットヘッド１８とインク供給口２３をメンテナンスする共通のメンテナンス機構とを備えている。メンテナンス機構はワイピングユニット６０およびワイピングブレード６１からなる。インク供給後、ワイピングユニット６０が矢印方向に移動することによって、ワイピングブレード６１がインクジェットヘッド１８のノズル面と、インク供給口２３の開口面とを続けて清掃する。 （もっと読む）

【課題】メニスカスの過度な変形を抑制する。
【解決手段】ノズルは、圧力室に近い側が開放され、遠い側に底部を有する第１ノズル部と、底部の内縁と外部とを連通する第２ノズル部とを有する。吐出パルスＰＳ１は、第１減圧部分Ｐ１と第２減圧部分Ｐ３とを有する。第１減圧部分Ｐ１は、第２ノズル部で露出しているメニスカスを第１ノズル部側に引き込むようにピエゾ素子を動作させる部分であって、単位時間あたりの電位変化量が一定の部分である。第２引き込み部分は、第１減圧部分Ｐ１よりも後に生成され、メニスカスを第１ノズル部内で拡大させるようにピエゾ素子を動作させる部分であって、単位時間あたりの電位変化量が第１減圧部分Ｐ１における電位変化量よりも大きい部分である。 （もっと読む）

【課題】初期投入量が少量で済む液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】圧縮空気供給装置５１からの圧縮空気を、レギュレータ５３に供給し、レギュレータ５３で一定の圧力に調整して、スピードコントローラ５４に供給する。そして、スピードコントローラ５４からエジェクタ５５に圧縮空気を供給し、エジェクタ５５内の圧縮空気の流れによって、配管５７に負圧を発生させる。配管５７に負圧が発生するとエアオペレートバルブ５８が開放されて、インクタンク４５とエジェクタ５５とが連通し、インクタンク４５に負圧を発生させる。制御装置は、圧力センサ５９ａが検出した配管５７（インクタンク４５）の圧力の検出信号に基づいて、配管５７（インクタンク４５）が設定圧力（負圧）になるように、スピードコントローラ５４を駆動制御して、圧縮空気の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体についても液滴のサイズを制御することが可能な高粘度液体用液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
高粘度液体用液滴吐出装置は、高粘度の液体が充填され、入口と出口流路とを備えるマイクロ流路と、前記出口流路に連通する少なくとも一つの分岐流路と、前記入口に接続され、前記マイクロ流路に前記高粘度液体を供給する高粘度液体供給装置と、前記分岐流路に接続され、前記分岐流路を通じて前記出口流路にガスを供給するガス供給装置と、前記分岐流路と前記ガス供給装置との間に設けられ、前記マイクロ流路から前記高粘度液体を液滴化して吐出させるために前記分岐流路から前記出口流路へ前記ガスを間欠的に供給するように制御する少なくとも一つの制御弁とを備える。 （もっと読む）

【課題】エッジデフィニションを向上させた状態で基板の広い表面領域に粘性流体を塗布することができる流体ディスペンサ及び方法を提供する。
【解決手段】小出しヘッド１６を多軸ステージ１１４，１１６によって静止状態の基板２２に対して動かしながら、加圧流体を小出しヘッドノズルプレート１８内に設けられたノズル８０にパルスの状態で定期的に供給する。小滴をノズルから放出し、すると小滴は基板に当たる。小滴は、互いに合体して被膜を形成する。１つ又は２つ以上のノズル群からの放出を一時的に中断させて基板上の部品又は所与の領域の被覆を回避する一方で、これに隣接した領域が引き続き流体の小滴を受け入れることができるようにするのが良い。 （もっと読む）

【課題】圧縮気体供給源から供給される気体の気圧に関わらず、基板上に適切な量のペーストを迅速に塗布することが可能なペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト吐出機構１５０において、増圧部１５２は、圧縮気体供給源から供給される圧縮気体を増圧し、電空レギュレータ１５８は、増圧後の圧縮気体を必要に応じて減圧して塗布ノズル部１１２−１におけるシリンジ１４０に送り込む。これにより、シリンジ１４０内の気圧が増加し、当該シリンジ１４０内のペーストがノズル１４２へ押し出され、ガラス基板に向けて吐出される。 （もっと読む）

【課題】 空気だまりと塗布液の滞留部分を生じることなく塗布液に混じっている空気を排除するとともに、塗布液を複数のインクジェットヘッドに均等に分配可能な分配器を備えたインクジェットヘッドの塗布液供給装置及び塗布液供給方法を提供する。
【解決手段】 塗布液を吐出する複数のインクジェットヘッドと、塗布液が充填された塗布液タンクと、塗布液タンクの塗布液を一時的に定容量保存可能なサブタンクと、サブタンクから塗布液を複数のインクジェットヘッドに分配する分配器を備えたインクジェットの塗布液供給装置であって、前記分配器は、一つの入口とインクジェットヘッドと同数の出口のみを備え、かつ出口は重力方向の上向きに配されるとともに、入口と各出口を接続する流路は略同一断面形状を有するものであるインクジェットヘッドの塗布液供給装置。 （もっと読む）

【課題】ダンパー性能を効果的に向上させる。
【解決手段】本発明のインクジェットプリンタ１は、キャリッジ３２上に設けられ、冷却液流入口２２ｂ及び冷却液流出口２２ｃを有する冷却液流路４３と、冷却液流入口２２ｂに接続された冷却液往路５５と、冷却液流出口２２ｃに接続された冷却液復路５６とを備え、キャリッジ側インク流路４２がキャリッジ３２から走査方向の一方側に導出され、冷却液往路５５及び冷却液復路５６がキャリッジ３２から走査方向の他方側に導出され、キャリッジ側インク流路４２と冷却液流路４３とが相互に圧力伝達可能となるように、キャリッジ側インク流路４２と冷却液流路４３とが部分的に圧力伝達手段５０を介して仕切られている。 （もっと読む）

【課題】液滴の乾燥効率を向上させたインク組成物、該インク組成物を用いるパターン形
成方法、及び液滴吐出装置を提供することであ。
【解決手段】導電性微粒子１５Ａと、分散媒１５Ｂと、光を受けることにより燃焼反応を
開始する燃焼物１５Ｃとを含むインク組成物を液滴Ｄにして基板Ｓに吐出し、吐出面Ｓａ
に液状パターン１５Ｐを形成する。そして、液状パターン１５Ｐに向けて赤外レーザＢを
照射し、燃焼物１５Ｃに含まれる赤外線吸収色素ＣＭと酸素ガスＣＧとの燃焼反応を開始
させることにより液状パターン１５Ｐを乾燥して導電性のパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】空調要素を接着剤供給装置に一体的に取り付ける。
【解決手段】材料を収容する内部空間を有するホッパと、材料を融解するように機能的に接続された少なくとも１つの加熱要素とを有する融解炉本体と、ホッパを気密閉鎖するように機能的に接続された蓋体と、第１弁機構を介して内部空間と連通し、かつ内部空間から排気するための真空ポンプ及び真空発生器の少なくとも１つを有する第１ループと、第２弁機構を介して内部空間と連通し、かつ空気供給源から水分を除去するための少なくとも１つのドライヤフィルタを有し、かつ乾燥空気を内部空間内へ放出する出口を有する第２ループとを有する空調システムと、第１及び第２弁機構を交互に作動させることにより、内部空間から水分を含んだ空気を排除し、代わりに乾燥空気を送入するように第１及び第２ループを作用させる、空調システムと連動する制御システムとを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、シリンジ内部に送り込まれた圧縮空気による熱を効果的に放出し、接着剤硬化を解消する。
【解決手段】シリンジ１１３の内部に貯溜された粘性流体（接着剤１０２）に圧縮空気を加えてシリンジ先端のニードル１１３ａから粘性流体を吐出し、塗布する粘性流体塗布装置（接着剤塗布装置５０）において、前記シリンジのホルダ１３０に、シリンジ内に対流する圧縮空気を外部に放出するための空気放出手段（２重内部管１５０、排出口１５２、放出孔１６０、流量調整装置１７０、つまみ部１７２、エジェクタ１８０）を設ける。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドノズルに薬液を精度良く供給する。また、簡便な構成で、
低消費電力の薬液供給装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドノズルに薬液を供給する薬液供給装置を、端部に開口
（１０１ａ）を有し、薬液が充填されるパック（１０１）と、パックに貼り付けられた可
撓性弾性体（１０１ｂ）と、金属板をパックの他端側から巻き取る軸（１０３）と、を有
するよう構成する。かかる構成によれば、パックを上記他端側から巻き取りつつ所定の位
置で固定でき、巻き取り期間は、パック内を加圧状態とし、巻き取り期間終了後は、パッ
ク内を可撓性弾性体のバックテンションにより負圧状態とできる。 （もっと読む）

【課題】描画速度の加速領域における描画速度とスクリューの回転速度との関係変化に起因したパターン切れやペースト断面積ばらつきの発生を防止することができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、塗布対象物Ｋに向けてスクリューの回転によりノズル５ａからスクリューの回転速度に応じた量のペーストを吐出する塗布ヘッド５と、直線部分及び屈曲部分を有する塗布パターンに基づいて塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させる移動機構３、４と、スクリューの回転開始タイミングから塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動開始タイミングまでの時間、直線部分の塗布を行う場合のスクリューの回転速度より小さくスクリューの回転速度を制御し、その時間が経過した場合、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動速度に応じてスクリューの回転速度を制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大気圧より低い圧力雰囲気において基板上に薄膜を塗布する際に、インクジェットヘッドの不具合の原因となるインク充填不良を解消することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、マニホールドに充填したインクをノズルから吐出するインクジェットヘッドと、ノズルから滴り落ちたインクを受ける材料吸引ブロックと、インクジェットヘッドにインクを供給する材料タンクと、マニホールドから溢れたインクを再利用のために材料タンクに送り返す戻りタンクと、吸引ポンプで負圧状態にし材料吸引ブロック又は戻りタンクの廃インクを吸引するドレンタンクと、インクジェットヘッド、材料吸引ブロック、材料タンク、戻りタンク及びドレンタンクを内部に収容し、真空排気ポンプにより内部を減圧できる真空容器と、大気圧力中に設置され材料タンクにインクを補充する外部タンクとからなるインク充填装置の構成とした。 （もっと読む）