【課題】一枚の被塗布部材上での有効製品領域を最大とすることが、容易にしかもタクトタイムを長くすることなく実現できて、生産性や歩留まりの向上に大きく寄与する塗布装置及び方法ならびにこの方法を使用したディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】被塗布部材上に塗布膜を形成する塗布方法であって、プリディスペンス終了後、一旦塗布器への塗布液の供給を停止し、次いで定容量ポンプによる塗布液の供給と被塗布部材の塗布器に対する相対移動を同時に開始するとともに、相対移動の開始からｔ秒後であって定常供給速度Ｑｓに達するまでの供給速度Ｑ（ｔ）と定常供給速度Ｑｓの比Ｑ（ｔ）／Ｑｓと、相対移動の開始からｔ秒後であって定常相対移動速度Ｖｓに達するまでの相対移動速度Ｖ（ｔ）と定常相対移動速度Ｖｓの比Ｖ（ｔ）／Ｖｓと、を略同一にして塗布する。 （もっと読む）

【課題】乾燥後の液滴の薄膜形状及び膜厚のばらつきを抑えることができる液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１において、塗布対象物２に対して液滴を噴射する液滴噴射ヘッド７と、液滴噴射ヘッド７により液滴が噴射された塗布対象物２に対して気体をそれぞれ噴出する複数の噴出ノズル及び液滴噴射ヘッド７により液滴が噴射された塗布対象物２の周囲の気体をそれぞれ吸引する複数の吸引ノズルを有し、塗布対象物２上の液滴を乾燥させる乾燥部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 均一で平坦な乾燥塗布膜を実現することができる乾燥方法、予備乾燥方法および乾燥装置を提供する。
【解決手段】 液体状の塗布膜を塗布した基板１２を水平方向に動作させ、液体状の塗布膜の表面近傍に存在する、前記液体状の塗布膜に由来する蒸気を、前記蒸気の分圧が前記表面近傍よりも低い周囲の気体と入れ替える。 （もっと読む）

【課題】塗布液の液物性や塗布速度等の塗布条件に制約を受けることなく、塗布液の裏回りの防止と、塗布膜端部の厚塗り減少の両方を、簡単な構成で実現することができると共に、ウエブ全幅への塗布液の全幅塗布が可能なロッド塗布方法及び装置を提供する。
【解決手段】走行する長尺状のウエブ１６に接触しつつ回転するロッド１２とウエブ１６との接触部において液溜り３４が形成されるように塗布液を供給し、ロッド１２により液溜り３４の塗布液をウエブ１６に転移するロッド塗布方法において、液溜りにおけるウエブ幅方向の液溜まり幅を可変することで、ロッドによりウエブに転移塗布された塗布液がウエブ幅方向端部側へ濡れ拡がる先端位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】水性塗料の塗膜形成方法において、エネルギー消費量及び使用スペースを最小限にしながら塗膜中の固形分を制御して高品質の塗膜を得ること。
【解決手段】水性塗料の塗膜形成方法においては、水性塗料であるベース塗料をベース塗装台上で塗装ロボットを用いてワークに塗布した後、回転台に移動させてベース塗料を塗装したワークを回転させながら、湿度温度調節されたエアーをワークに吹き付ける。ワークを回転させることで風量を付加できるため、エアーを加熱する熱源は小さい熱源で良く、消費エネルギーを最小限にでき、得られた塗膜は固形分率が極めて高く、クリヤー塗料を上塗りして焼付けしても揮発する水分量は極めて微量であるため、上塗り塗膜にワキ等の不良を発生させない。また、従来のプレヒートゾーンが不要となり、スペースを大幅に節約することができる。 （もっと読む）

【課題】液滴供給手段を用いて液状材料を対象物に被着させて成膜する方法において、液状材料の供給量の均一化では解決できない成膜ムラをも低減する。
【解決手段】対象物１に液状材料を被着させることにより、所定の周期性を備えた平面周期構造を形成する成膜方法であって、駆動周期Ｔｄで液滴４ａを供給して対象物１に液状材料を被着可能に構成された液滴供給手段２を用い、対象物に形成すべき平面周期構造の周期性に応じて駆動周期の各周期毎に液滴供給手段による液滴の供給の有無を制御し、液滴供給手段を対象物に対して走査方向Ｘに走査速度Ｖｘで走査しつつ液滴供給手段により液滴を供給する。このとき、駆動周期Ｔｄと走査速度Ｖｘとの積の自然数倍が、平面周期構造の走査方向Ｘの構造周期となるように設定して行う。 （もっと読む）

【課題】欠陥を効率よく修復することができる欠陥修復装置を提供する。
【解決手段】欠陥修復装置１は、搬送された基板を固定する基板載置台３と、基板載置台３によって固定された基板に垂直な方向から見て、基板の搬送方向と異なる方向に沿って配置されて、基板上に点在する欠陥に液滴を吐出する複数個の液滴吐出ユニット１１と、複数個の液滴吐出ユニット１１を搭載したヘッドガントリーユニット７と、ヘッドガントリーユニット７を基板の搬送方向に沿って相対的に等速移動させるガントリースライド機構４とを備え、各液滴吐出ユニット１１は、基板上に点在する複数個の欠陥の位置を表すデータに応じて、ヘッドガントリーユニット７が基板の搬送方向に沿って移動している間、搬送方向と異なる方向に沿って互いに独立して移動する。 （もっと読む）

【課題】基板の（着色不良部分等の）所定部分に効率よく液滴を塗布できると共に、基板に対する液滴の着弾位置の精度を向上できる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１０が載置される載置面１１ａを有する基台１１と、上記基台１１に対して矢印Ａ方向に移動可能に上記基台１１に取り付けられたビーム部４１，４２と、上記ビーム部４１，４２に矢印Ｂ方向に移動可能に取り付けられると共に上記載置面１１ａに載置された上記基板１０に液滴を吐出する複数の液滴吐出部６と、この複数の液滴吐出部６の移動または停止を制御する制御部１３とを有する。上記制御部１３は、一の上記液滴吐出部６が吐出している間に、上記一の液滴吐出部６の少なくとも近傍にある他の上記液滴吐出部６が移動しているときの、この他の液滴吐出部６の速度変動時の加速度変化がなだらかとなるように制御する。 （もっと読む）

【課題】ワークの塗布領域に接着材を塗布する場合に、単位面積当たりの接着材の塗布量に過不足が生じないようにして、この塗布された接着材により、より均質な接着状態が得られるようにする。
【解決手段】接着材塗布装置１は、水平な一方向Ａで互いに並設される複数のノズル１２と、ポンプ７，８から供給された接着材２を、各ノズル１２に分配してこれら各ノズル１２を通し吐出させる分配器１３と、各ノズル１２をそれぞれ開閉可能とする弁１４とを備える。水平方向に延びるワーク３５を、一方向Ａに対する水平な直交方向Ｂでノズル１２に対し相対移動可能とし、このワーク３５の上面における接着材２の塗布領域３９と非塗布領域４０とのデータに基づき、直交方向Ｂでの相対移動時に、各弁１４を開、閉動作させるようにする。ポンプ７，８の下流側の接着材２の圧力がほぼ一定値を維持するよう、ポンプ７，８の作動速度が調整されるようにする。 （もっと読む）

【課題】着弾精度を向上させつつ、構成を簡略化して安価に制作できる上、液滴吐出を効率的に行う。
【解決手段】被吐出体１０を支持する被吐出体支持手段２と、被吐出体１０の被吐出平面に液滴を吐出する複数の液滴吐出手段４と、各液滴吐出手段４を、個別に被吐出体１０の被吐出平面の第１の方向に向かって往復移動可能に支持する第１支持手段５と、第１支持手段５を、第１の方向とは直交する第２の方向に向かって往復移動可能に支持する第２支持手段３と、被吐出体支持手段２に対して液滴吐出手段４を相対的に移動させ、被吐出体１０に対して所定位置に位置決めし、液滴を吐出させる駆動制御手段６とを備えた構成とする。駆動制御手段６は、液滴吐出手段４の動作状態を、加速移動、等速移動、減速移動、又は停止のいずれかとし、いずれかの液滴吐出手段４による液滴吐出中、残る他の液滴吐出手段４の動作状態を等速移動又は停止とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、材料粘度が変化しても、高精度な定量塗布が続けられる高粘度材の定量塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明は、定量塗布時、検出される供給ポンプ４の駆動モータトルクが、設定されている正常な定量塗布に費やす設定トルク域αから外れたかを監視し、該トルクが設定トルク値域αを外れると、ワークＰあるいは高粘度材が吐出されるノズル部５を移動させる作業機２の移動速度ＶＲを低下（変更）させるようにした。これにより、気温などにより、供給ポンプ４の高粘度材の材料粘度が増したとしても、被塗布場所Ｐ１には一定量、高粘度材が塗布され続け、定量塗布不良の発生が抑えられる。 （もっと読む）

【課題】スピンレス塗布法におけるノズル吐出圧力および走査速度について塗布膜の膜厚均一性を向上させる制御波形およびタイミングの最適条件を簡便に求める。
【解決手段】模擬塗布走査においては、仮の吐出圧力制御波形および仮の走査速度制御波形を用いて、レジストノズル７８にレジスト液を吐出させると同時に基板搬送部８４に走査運動を行わせ、同一の時間上で吐出圧力計測波形および走査速度計測波形を取得する。その際、レジストノズル７８より吐出されたレジスト液はドレイン部２２４に回収され、ステージ７６に落ちるようなことはない。一方、基板搬送部８４における走査運動は、ステージ７６上で基板Ｇを浮上搬送してもよいが、ステージ７６上に基板Ｇを搬入せずにスライダ９８のみを運動させてもよい。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に塗布するダイコータに対して、装置の挙動データをサンプリングし、基板毎に関連付けて管理することを可能とする。
【解決手段】基板の表面に塗布するダイコータのステージの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの振動を計測する加速度検出器と、前記ダイコータのダイヘッドの速度を計測するドライバと、前記各検出器と前記ドライバとからの信号をサンプリングし、基板通過時に前記ダイコータが動作する間だけサンプリングデータを記憶して保存するデータ保存手段とを有することを特徴とするダイコータのデータ収集システム。 （もっと読む）

【課題】基板の搬入時間に遅れが生じても、全体としてのエッチング時間を一定にし、基板間で均一なエッチングを行うこと可能とした基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｋが処理領域２０内に進入したことが第１の検出手段２９ａによって検出されると、基板Ｋ上に処理液を供給して一次処理を行うとともに、基板Ｋが進入してから搬入を完了するまでの経過時間を基板搬入時間として計測する。そして、基板Ｋが完全に搬入されてから二次処理を開始し、計測した基板搬入時間が基準搬入時間内であった場合には、標準の搬送速度で基板Ｋを搬送して二次処理を行い、基板搬入時間が基準搬入時間よりも長かった場合には、超過した遅延時間を解消するような搬送速度を算出し、算出された搬送速度で基板Ｋを搬送して二次処理を行う。 （もっと読む）

【課題】連続走行する帯状可撓性支持体に各種液状組成物を塗布して形成した塗布膜面の乾燥において、乾燥ムラを抑制し、且つ効率良く乾燥する。
【解決手段】
連続走行する帯状可撓性支持体１２に塗布手段１６で各種液状組成物を塗布した塗布直後に、塗布液中の溶媒を凝縮、回収させるドライヤ１８を配設すると供に、ドライヤ１８には帯状可撓性支持体１２の上方に、帯状可撓性支持体１２と所定距離を置いて略平行に板状部材である凝縮板２０を配設するとともに、凝縮板を帯状可撓性支持体の走行方向に向って、上方に５度以上傾斜させた。さらに、帯状可撓性支持体の走行速度を、帯状可撓性支持体が塗布手段により塗布後３０秒以内にドライヤに到達する速度とした。 （もっと読む）

【課題】液滴射出手段を使用して、連続して搬送される少なくとも１箇所のつなぎ箇所を有する帯状支持体に、生産効率を下げることなく、連続して安定した薄膜な塗布膜を形成する塗布装置及び塗布方法の提供。
【解決手段】支持手段により支持され連続的に搬送される帯状支持体の上に、固形分を溶解又は分散した塗布液をノズル吐出口から液滴として射出する液滴射出手段により前記塗布液を塗布し塗膜を形成する塗膜形成装置において、前記帯状支持体は少なくとも１箇所のつなぎ箇所を有し、前記つなぎ箇所を検出するつなぎ検出手段と、前記帯状支持体の搬送速度を測定する速度測定手段とを有し、前記つなぎ検出手段の情報と、前記速度測定手段との情報に従って、前記液滴射出手段を移動手段により移動させる制御手段とを有することを特徴とする塗膜形成装置。 （もっと読む）

【課題】基板上に、機能性素子を形成するための噴射ヘッドを有する新規な製造装置及び方法を提供するとともに、製造装置の機能性素子基板製造機能を損ねたり、製造効率を低下させることなく、噴射ヘッドの目詰まりを防止し、安定した稼動ができるようにする。
【解決手段】噴射ヘッド１１より、基板１４上に機能性材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を基板１４上に残留させることによって機能性素子基板を製造する。前記噴射ヘッド１１の液滴噴射領域は、機能性素子が形成される領域よりも広い領域であり、該広い領域に前記噴射ヘッドの溶液噴射口面を覆うとともに圧接してなるキャップと該キャップに連通する吸引ポンプとを有し、前記キャップを前記機能性素子基板群が形成される領域以外に設けた。 （もっと読む）

【課題】印刷処理時間を増大させることなく、フラッシング量の増大に良好に対応することができる液体噴射装置及び液体噴射装置におけるフラッシング方法を提供する。
【解決手段】往復移動するキャリッジと、キャリッジに搭載され、ノズルからインクを噴射する記録ヘッドと、記録ヘッドがターゲットに対してインクを噴射する際のキャリッジの往復移動領域内であって、ターゲットの縁からはみ出した位置に設定される加速領域に設けられ、フラッシング時に記録ヘッドのノズルから吐出されるインクを受容するフラッシング受容部と、フラッシング時に、インク噴射状態が通常印刷状態よりもフラッシング量を多く必要とする高画質印刷状態であるか否かを判断する判断手段（ＣＰＵ）と、判断手段の判断結果に基づいてキャリッジの加速領域における速度を制御する制御手段（ＣＰＵ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴にレーザ光を照射して形成するパターンの形状制御性を向上させたパターン形成方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３２を搭載したヘッドユニット３０に、液滴Ｆｂからの「蒸発成分Ｅｖ」を吸引する吸引ポート３３と、着弾した液滴Ｆｂからのレーザ光Ｂ（反射散乱光Ｂｒ）の光学特性（光量）を検出するフォトセンサ３５と、を設けた。そして、フォトセンサ３５の検出する光量検出信号が乾燥終了電位になるまで、液滴Ｆｂの雰囲気に、気体の流動を抑制した低い吸引速度の吸引を施すようにした。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷装置のためのセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置は、１） 基板の上表面にインクを堆積するために用いられる少なくとも１つの印刷ヘッドを備え、基板は印刷ヘッドに対し移動しており、２）基板の上表面からの距離を検出するために用いられる少なくとも１つのセンサと、３）センサから基板の上表面までの距離に基づいて基板からノズルまでの距離を決定し、基板からノズルまでの距離に基づいて基板に堆積されるインクの軌跡を調節するコントローラを備えている。他の多くの形態が提供される。 （もっと読む）