【課題】高粘度の成形材料の高速塗布及び高精度塗布を可能にするとともに、塗布速度の変化に応じて塗布ガンからの溶融成形材料の吐出量を制御できるようにした複層ガラスパネルのグレージングガスケット成形方法及び装置を提供する。
【解決手段】押出機３３からの成形材料を成形材料送給用ポンプ３４で成形材料吐出用ポンプ３２へ定量送給し、成形材料吐出用ポンプ３２により成形材料を塗布ガン３１から一定の圧力で吐出させて複層ガラスパネル２１の周縁部２１ａに塗布するとともに成形材料吐出用ポンプ３２の回転数を複層ガラスパネル２１と塗布ガン３１との間の相対移動による移動速度に応じ制御して該塗布ガン３１からの成形材料の吐出量を調節する。また、成形材料吐出用ポンプ３２への成形材料の送給量と成形材料吐出用ポンプ３２の吸入量との差分に相当する成形材料を循環用可撓性ホース３９により押出機３３へ還流する。 （もっと読む）

【課題】塗膜を適切に乾燥可能な熱処理装置を提供すること。
【解決手段】熱処理装置２００は、塗膜が形成された背面基板１０３を熱処理炉２２０内で搬送しつつ、背面基板１０３上の９箇所に対応する位置の風速を炉設置風速センサ２３０で検出する。この検出した風速に応じて給気装置２４１および排気装置２４２を制御することで、熱処理炉２２０内の風速分布を略均一にするような空気流Ｘを形成する。このため、空気流Ｘの形成で熱処理炉２２０内の風速分布を略均一にすることにより、背面基板１０３面内での基板温度分布を略均一にすることができる。そして、加熱分布を略均一にすることにより、塗膜の乾燥むらを無くすことができる。 （もっと読む）

【課題】作業者の操作ミスを防止し、容易に初期状態に戻ことが可能な自動壁紙糊付機を提供する。
【解決手段】設定された長さの壁紙に糊付け動作を実行する処理と、補助機能を実行する処理とに予め分離した処理の実行順序を定め持ち、補助機能を実行する処理は、実行中の処理から選択実行可能な処理の名称を示した選択項目を選択するための選択入力手段と、選択された処理に進むことを指示する実行指示入力手段と、処理の実行を１つ前の処理に戻すことを指示する後退指示入力手段を設け、実行指示入力手段から信号が入力された時に選択入力手段が選択する選択項目の処理を実行し、後退指示信号手段から信号が入力された時に、実行中の処理を停止して、１つ前に実行していた処理に後退させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体材料の応答時間の遅れや経時的な粘度の変化などの問題を予め多数の制御データを準備しなくとも解消することができる液体材料の塗布装置、塗布方法およびプログラムの提供。
【解決手段】ワークと、ワークと対向するスクリュー式ディスペンサを一定速度で相対移動させ、液体材料の吐出量を非一定で連続塗布するにあたり、塗布開始前に吐出量を変化させる際の応答遅れ時間を算出する応答時間算出工程を有する塗布方法であって、応答時間算出工程は、移動速度を一定とした塗布の途中でディスペンサに吐出量を変化させる信号を送信し、その時間を記憶する第１工程と、塗布された液体材料を計測することで吐出量の変化開始時間を算出し、その時間を記憶する第２工程と、第１工程で記憶した時間と第２工程で記憶した時間との差分値を吐出量を変化させる際の応答遅れ時間として記憶する第３工程と、を有する液体材料の塗布方法、塗布装置およびプログラム。 （もっと読む）

【課題】複雑な機構を要することなくノズルの吐出状態を正確に検査し、ノズルが不良になる前に検出して処理効率の向上を図る。
【解決手段】間欠的にインクを吐出する複数の微小ノズルが下方に向けられた状態で設けられたインクジェットヘッド２６と、各微小ノズルから吐出されて滴下しているときのインク液滴の画像であり、画像領域中に各ノズルから吐出されたインク液滴が少なくとも１個は含まれるような画像を撮影するカメラ６６と、カメラ６６が撮影した画像の中に含まれるインク液滴の個数が所定個数あるか否かに基づいて、または各インク液滴が所定範囲にあるか否かに基づいて、微小ノズルのインク吐出状態の良否を判定する画像処理装置４５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】装置の簡略化及び塗布異常検査時間の短縮化を実現することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１において、塗布対象物Ｋが載置されるステージ２と、ステージ２上の塗布対象物Ｋに対してシール材を吐出する吐出ヘッド４と、シール材の塗布パターンの目標塗布軌跡に基づいてステージ２を移動させるステージ移動機構３と、ステージ２の位置を検出する位置検出部と、検出したステージ２の位置と目標塗布軌跡に基づく位置とを比較し、塗布対象物Ｋに塗布されたシール材の塗布パターン形状の良否を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの上面に粉粒体で描かれたラインの単位長さ当たりにおける粉粒体の堆積量を、予め設定した堆積量にすることが可能な粉粒体供給システムの提供を目的とする。
【解決手段】本発明の粉粒体供給システム１００は、粉粒体供給装置９０から粉粒体を排出させつつ、その粉粒体供給装置９０を搬送ロボット１１０で移動させることで、ワークＷ上に粉粒体でラインＬＮを描く。このとき、データテーブルＤＴ１に基づき、予め設定されたラインＬＮの単位長さ当たりの堆積量（単位長粉粒体量Ａ）と粉粒体供給装置９０の水平移動速度Ｄとの積として求められる粉粒体の目標排出量から、目標回転速度を求め、その目標回転速度と一致するように容器内回転盤４０（供給モータ１４）の回転速度を制御する。これにより、ワークＷの上面に粉粒体で描かれたラインＬＮの単位長さ当たりの粉粒体の堆積量を、予め設定した単位長粉粒体量Ａにすることができる。 （もっと読む）

【課題】ペースト塗布量のばらつきの発生を抑え、ペーストの塗布精度を向上させることができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、塗布対象物Ｋに向けてスクリューの回転によりノズル５ａからスクリューの回転速度に応じた量のペーストを吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させる移動機構３、４と、塗布対象物Ｋ上に塗布したペーストの塗布量を検出する検出部６と、検出した塗布量に基づいて目標の塗布量が得られるように塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動速度又はスクリューの回転速度を調整し、調整した相対移動速度又は調整した回転速度に基づいて塗布ヘッド５及び移動機構３、４を制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板に与える熱量を一定にすることが可能な基板製造装置を提供すること。
【解決手段】基板製造装置１００の熱処理炉１２０内に、基板Ｋｘの搬送に伴い生じる温度変化を測定する搬送制御用熱電対１５０を設けている。基板製造装置１００の搬送制御手段１６０は、この搬送制御用熱電対１５０で測定した温度変化に応じて搬送間隔Ｑｙを認識し、調整搬送ローラ１１１Ｂの回転速度を制御することにより、基板Ｋｘの搬送速度を個別に制御する。このため、例えば基板Ｋｘなどにより、この基板Ｋｘの搬送速度が他の基板Ｋｘと異なってしまったとしても、温度変化により基板Ｋｘの搬送間隔Ｑｙを認識し、この搬送間隔Ｑｙに基づき基板Ｋｘの搬送速度を個別に制御することにより、搬送間隔Ｑｙを一定にすることができる。したがって、基板Ｋｘに与える熱量を一定にできる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルフィルムを連続的に搬送しながら行う複数の処理を短いＴＡＴをもって行うことが可能な処理装置を提供すること。
【解決手段】連続的に搬送されるフレキシブルフィルム１に複数の処理を順次行う処理装置であって、フレキシブルフィルム１を連続的に搬送する搬送機構１３と、フレキシブルフィルム１に第１の処理を施す第１の処理ユニット１１と、フレキシブルフィルム１に第２の処理を施す第２の処理ユニット１２と、第１の処理ユニット１１と第２の処理ユニット１２の間に生ずるフレキシブルフィルム１の搬送速度差に応じてフレキシブルフィルム１のバッファリングを行うバッファ機構１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液滴の塗布量のバラツキに起因する塗布不良を防止することができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置１において、相対移動する塗布対象物Ｋ上の塗布領域に向けて、直線状に並ぶ複数の吐出孔からそれぞれ液滴を吐出するヘッドであって、塗布対象物Ｋとの相対移動に応じて塗布領域に対向する吐出孔の数が徐々に変化するように設けられた塗布ヘッド６と、相対移動する塗布対象物Ｋ上の塗布領域に対向し同時に液滴を吐出する吐出孔の数に応じて液滴の吐出タイミング間隔を変更し、吐出タイミング間隔の変更に応じて塗布対象物Ｋと塗布ヘッド６との相対移動速度を変更する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 工程時間を短縮することができる塗布装置及びコーティング液の塗布方法が開示される。
【解決手段】 第１洗浄部で塗布工程を準備して固定ユニットの上部に第１被処理基板を導入する。第１洗浄部から固定ユニットの第１方向に沿って塗布ユニットを移送しながら前記第１被処理基板の表面を塗布する。第２洗浄部で塗布工程を準備する間、第１被処理基板を除去して第２被処理基板を導入する。第２洗浄部から第１方向と反対方向である第２方向に沿って第２被処理基板の表面を塗布する。塗布工程時間を短縮することにより、費用を節減することができる。 （もっと読む）

【課題】ガントリの走行をガイドするレールが分割されている場合であっても、不良基板が大量に生産されるのを抑制し、塗布基板の歩留まりを向上させることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージが配設された基台と、前記基台に特定方向に延びた状態で設けられ、複数に分割されたレールと、前記レールに沿って前記基板に対して相対的に走行し、前記基板に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、前記塗布ユニットの動作の変動を検出する変動検出手段が設けられ、この変動検出手段の検出結果により基板上における塗布状態の良否を判断し、塗布状態が不適であると判断した場合には、前記塗布ユニットを停止させるように構成する。 （もっと読む）

本発明は、圧力容器及び遠心ポンプとを兼ね備え、液体ディスペンスシステムにおいて、液体の圧力及び流量を正確且つ効率的に制御する方法及び装置を提供する。本発明は、特には、半導体製造プロセスにおいて使用される高純度の薬品又はスラリーなどの液体の圧力及び流量の正確且つ効率的な制御に関する。 （もっと読む）

【課題】回転する板体に流体を供給して処理を行なおうとした場合、処理ムラが起き難いものとする技術を提供することである。
【解決手段】回転する板体にノズルから流体を供給して処理する処理方法において、
前記板体の回転中心から半径方向に距離ｒの位置に在る前記ノズルからの流体供給量Ｑと、該位置に在るノズルの半径方向における移動速度Ｖと、前記板体の角速度Ｎとで定義される物理量｛Ｑ／（ｒ・Ｖ・Ｎ）｝が一定であるよう、流体供給量Ｑの変動量を検出し、該変動量を考慮してノズルの半径方向における移動速度Ｖを制御することを特徴とする処理方法。 （もっと読む）

【課題】空気圧回路のみの回路構成によって粘性剤の塗布時間を適切に制御できるようにした粘性剤塗布装置を提供する。
【解決手段】手動操作によって切替えられる手動切替えバルブ１１と、エア吐出通路１９中に配設された第１パイロット切替えバルブ１３および第２パイロット切替えバルブと、シリンダにエア圧制御通路より加圧エアが供給された際には第１パイロット切替えバルブを開位置に切替え、シリンダよりエア圧制御通路に加圧エアが排出される際には第１パイロット切替えバルブを閉位置に切替えるエアタイマ部１４と、エアタイマ部とエア圧制御通路との間に配設されエア圧制御通路への加圧エアの排出量を制限する吐出時間調整部１８とによって構成した。 （もっと読む）

【課題】回転するワイヤバーによって製造される塗布フィルムにおいて、長手方向の塗布筋の発生を抑制した塗布フィルム、塗布装置及び塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】１００ｍ／分以上の速度で連続して走行するフィルム１６の表面に、過剰に塗布液１７が塗布された後、円柱状をなすバー本体２２ａの外周面に直径２０〜２００μｍのワイヤ２２ｂが巻回されることにより形成されるワイヤバー２２が、前記フィルム１６の表面に押し付けられることにより塗布厚が調整された塗布フィルム１６ａにおいて、ワイヤバー２２は、ワイヤ２２ｂの直径（μｍ）／巻回されたワイヤ２２ｂ間の隙間（μｍ）の値が０．０９×塗布速度（ｍ／分）−６の値より大きくなるような関係で構成されることにより、目視により確認できる長手方向に延びる塗布筋を無くしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テーブル移動タイプあるいはガントリータイプの移動装置において、テーブルあるいはガントリーの移動制御をおこない精度を高める制御方法およびそれを用いた塗布装置を提供する。
【解決手段】近年製品として、代表となる液晶パネルのサイズが逐次大型化し且つコストの低減化要求も強くなり、材料のガラス板そのもののサイズが逐次大型化して来た。その大型化したガラス板への塗布工程において、テーブル移動タイプだけでなくガントリータイプの塗布装置が発展して来た。テーブル移動装置あるいはガントリー移動装置に関する塗布ムラを回避する方法として、該テーブルあるいはガントリーの移動に際し加速度フィードバック制御方式を用いテーブルあるいはガントリーの速度、偏差ムラを最小化する。 （もっと読む）

【課題】複数の吐出口からパターン形成材料を吐出して線状の複数のパターン要素により構成されるパターンを形成する際に、パターンに生じるムラを抑制する。
【解決手段】パターン形成装置１は、複数の吐出口を有する得るノズル部５、および、基板９をノズル部５に対して移動するステージ移動機構２を備え、ノズル部５の複数の吐出口からパターン形成材料が連続的に吐出される間に基板９が移動することにより、基板９上に等ピッチにて配列された線状かつリブ状の複数のパターン要素により構成されるパターンが形成される。パターン形成装置１では、パターン形成材料の吐出速度などを変動させることにより、ノズル部５から基板９に付与されるパターン形成材料の量のノズル部５の相対移動距離に対する割合が不規則に変更される。これにより、各パターン要素の幅や高さが不規則に変更され、ストライプ状のパターンに生じるムラが抑制される。 （もっと読む）

【課題】均一な現像処理を行なうことができる現像装置を提供する。
【解決手段】現像液吐出ノズル１１のノズル本体１６には、鉛直下向きに延びかつ底面１７で開口するスリット状吐出口１５が設けられる。スリット状吐出口１５の内壁面２１およびノズル本体部１５の底面１７は親水性材料により形成される。現像処理時に基板を基板保持部により静止状態で保持する。基板保持部により保持された基板外の一方側の移動開始位置から現像液吐出ノズル１１の移動を開始させた後、現像液吐出ノズル１１が基板保持部に保持された基板の一方側の端縁に到達するまでに現像液がスリット状吐出口１５に沿って連続的に帯状に垂下するように現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を開始させる。 （もっと読む）