【課題】安価な製造設備でありながら大型基板に対して高精度に塗布することを可能にする。
【解決手段】ノズルヘッド１０に対して進行方向上流側に配置された第１の距離測定器５１によって該第１の距離測定器５１と基板１との距離６１を測定する。この測定された距離６１に基づいて、ノズルヘッド１０に対して進行方向下流側に配置された第２の距離測定器５２と基板１との距離６２を一定値に保ちながら、第２の距離測定器５２により基板表面までの距離および基板１上の塗布液面までの距離を測定する。そして基板表面までの距離と塗布液面までの距離との差から塗布膜厚を算出し、塗布膜厚を一定とするように塗布条件を制御して、基板１上に液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】印刷物の大型化に伴い、複数のインクジェットヘッドを用いて印刷物を製造する場合、インクジェットヘッドのノズルからインクを吐出する際のインクの吐出量を一定にするためのインクジェットヘッドの洗浄方法とその方法を用いる洗浄手段を有するインクジェット印刷装置とを提供すること。
【解決手段】インク供給タンクと、前記インク供給タンクに接続されたマニホールド部より複数のインクジェットヘッドにインクを供給し、インクジェット印刷法にて記録画像を形成するインクジェット印刷装置において、ノズル洗浄でインクをインクジェットヘッドから押し出す際に、上記マニホールド部と各インクジェットヘッドとの間に開閉制御可能な弁を使用し、弁開閉のタイミングとスピードを制御する。 （もっと読む）

【課題】基材に塗布された塗布液の塗布厚不足領域の発生を再現性よく抑制し、材料および工程の無駄を減少させることが可能な塗工装置および塗工装置の制御方法を提供する。
【解決手段】塗布液７を吐出口１０から連続的に吐出して前記基材の表面に塗布するダイヘッド４と、ダイヘッドへ塗布液を供給するポンプ５と、吐出口１０と基材２表面の間の隙間への塗布液の吐出完了を検出する溜まり検出部１７，１８と、ダイヘッド４へ供給される塗布液７の性状を検出する性状検出部１３，１４と、制御部６と、を有する塗工装置１である。制御部６は、溜まり検出部からの検出信号を予め設定された閾値と比較することで、ダイヘッドの移動を開始させ、性状検出部から入力される検出信号に基づいて、基材に塗布される塗布液の厚さを一定に保つようにポンプからの塗布液の送液速度およびダイヘッドの移動速度の少なくとも一方を制御する。 （もっと読む）

【課題】基板上に薄膜を形成する場合に、薄膜形成領域の全域で薄膜の形状を均一化可能
な成膜装置を提供する。
【解決手段】基板９を収容するチャンバー２１０と、チャンバー２１０の上壁面に設けら
れた第１排気口２１１と、チャンバー２１０の下壁面の第１排気口２１１と対向する位置
に設けられた第２排気口２１２と、第１排気口２１１に接続されてチャンバー２１０内を
減圧排気する第１減圧手段と、第１排気口２１１と第１減圧手段との間に設けられて、第
１排気口２１１からの排気速度を調整する第１調整弁と、第２排気口２１２に接続されて
チャンバー２１０内を減圧排気する第２減圧手段と、第２排気口２１２と第２減圧手段と
の間に設けられて、第２排気口２１２からの排気速度を調整する第２調整弁と、第１調整
弁と第２調整弁とをそれぞれ独立して制御して、第１排気口２１１からの排気速度と第２
排気口２１２からの排気速度とを調整する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板とノズルが同時に、互いに逆方向に移動しながら、基板上にペーストが塗布され、ペーストの塗布速度及び振動低減性能を向上させるペーストディスペンサーを提供する。
【解決手段】基板を移動させる基板移動部と、ノズルを移動させるノズル移動部と、ノズルと基板が同時に、互いに逆方向に移動しながら、基板上にペーストパターンが形成されるように、基板移動部及びノズル移動部を制御する制御部を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】ワークの移動に対し、精度良く描画処理を行うことができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに対しワークＷを移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出してワークＷに描画を行う液滴吐出装置１であって、ワークＷを任意のＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル２と、Ｘ軸テーブル２によるワークＷの移動時間を計時する計時手段１０８、１１７と、移動時間に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出タイミングを制御する吐出制御手段１０８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】セットテーブルの側端部に移動制御用の移動量検出手段を有する液滴吐出装置において、セットテーブルがヨーイングした場合にも、セットテーブルの移動量を精度良く検出することができる。
【解決手段】セットテーブル６１と、セットテーブル６１をＸ軸方向に移動するＸ軸テーブル２と、セットテーブル６１端部で、セットテーブル６１の移動量を検出する移動制御用リニアエンコーダ７６と、セットテーブル６１中心線上で、セットテーブル６１の移動量を検出する吐出制御用リニアエンコーダ６６と、移動制御用リニアエンコーダ７６の検出結果により、Ｘ軸テーブル２の移動を制御する移動制御手段と、吐出制御用リニアエンコーダ６６の検出結果により、機能液滴吐出ヘッドの吐出を制御する吐出制御手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ワークが大きいときにも位置精度良く液滴を吐出できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル２３から液滴２８を基板７に吐出する液滴吐出装置１にかかわる。基板７をＹ方向に移動する第１ステージ５と、ノズル２３をＹ方向に移動する第２ステージ１０と、を有し、第１ステージ５と第２ステージ１０とを移動して液滴２８を吐出する。そして、Ｙ方向において第１ステージ５と第２ステージ１０との相対位置を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性が圧電素子によってばらついているような場合であっても、インクの着弾位置のばらつきをなくし、歩留まりの向上を図ることを目的とする。
【解決手段】インクジェットヘッド３０に配列した設けたノズル４０は、先端に液体のノズル孔４５を設けたインクを充填するためのチャンバ４１と、このチャンバ４１に設けられる圧電素子４２とを有しており、この圧電素子４２に電圧を印加することによりチャンバ４１の容積を変化させて、インクをノズル孔４５から噴射させるようにしたものであり、各ノズル４５から噴射したインク液滴の飛翔速度を、インク液滴ごとに個別的に測定する速度測定部６２と、測定されたインク液滴ごとの飛翔速度に基づいて、ノズル４０ごとに圧電素子４２への印加電圧を個別的に変化させる制御を行う電圧設定部６４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の垂れ落ち等の問題を生じることがなく、塗布液の無駄をなくし、しかも塗布処理に要する時間を短くすることができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 塗布ヘッド３６の本体３８の下部には、保持板３１より保持された基板Ｇの表面に向けて塗布液としてのレジスト液を吐出する複数の吐出孔３９が列設されたノズル４０が設けられている。そして、ノズル４０を吐出孔３９の列設方向５０と直交する方向に走査しつつこれら複数の吐出孔３９から同時にレジスト液を吐出している。また、回動機構を設けることでノズル４０を回動し、列設方向５０と走査方向５１との間に一定の角度を持たせることで隣接する吐出孔３９間のピッチＰを調節できるようにしている。 （もっと読む）

【課題】ノズル回復工程において、短時間でかつ確実に粘度の高いインクを排出し、生産性の向上及び塗布工程での安定吐出を実現すること。
【解決手段】ノズル１１ｄから吐出されるインク液滴１１ｅの吐出速度を検出し、吐出速度が大きくなるに従ってノズル１１ｄからのインク液滴の吐出周波数を上昇させたことにより、インク粘度に応じた吐出周波数を選択できるようになり（つまりインク粘度に追従した、インクを吐出可能な最も高い吐出周波数を選択できるようになり）、短時間でかつ確実に粘度の高いインクを排出することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物質を正確に感知することによって、均一なＰＲ膜を形成する。また、異物質感知センサの誤作動を防止する。
【解決手段】異物質感知領域と異物質感知無効領域が定義された基板と；前記基板上にフォトレジストを吐出して一方向に移動するノズルと；前記異物質感知領域内における異物質の存在可否によって前記ノズルのオン／オフを制御する異物質感知センサとを含み、前記ノズルは、前記異物質感知無効領域内における前記異物質感知センサの感知と独立的に動作する。 （もっと読む）

【課題】塗布ムラを最小限に抑えながら塗布時間を短縮する塗布膜形成装置を提供する。
【課題を解決するための手段】基板Ｓを載置して回転する円盤状のステージ１０の上部に塗布液を吐出するための供給ノズル１２と、供給ノズルを移動させるためのアーム（第１のアーム１３及び第２のアーム１４）を有している。供給ノズル１２は複数でかつ所定の間隔で一列に配置され、固定部材２０に固定されているとともに、加圧気体の圧力によって塗布液を前記基板上に吐出する。第１及び第２のアーム１３，１４は、ステージ１０上に直角をなすように配置されたレール状の摺動部材であり、１本の第２のアーム１４が２本の第１のアーム１３上を平行に摺動可能であるとともに、固定部材２０が第２のアーム１４上を摺動可能であるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に液体を塗布するときの所要時間を短縮することが可能な液体塗布方法、液体塗布装置及び放射線検出器製造方法を提供する。
【解決手段】 図５（ａ）に示すように、ノズル２２から吐出された液滴Ｌは、吐出方向の長さ（以下、液柱長という。）Ｌ１０が液滴の断面の寸法と比較して長い柱形状の状態で吐出され、基板１６に球形状に凝集する前に、柱形状のままで着弾する。液滴Ｌの下端部は、基板１６に着弾すると、基板１６の走査方向に引っ張られる。これにより、液滴Ｌの長手方向と基板１６とがなす角θは９０°未満となり、図５（ｂ）に示すように、液滴Ｌは、基板１６上に長手方向に伸びるように塗布される。そして、液滴Ｌは、図５（ｂ）の符号Ｌ′に示すようにぬれ広がる。即ち、液滴Ｌは、球形状に収縮した後で着弾した場合と比較して、短時間で広範囲にぬれ広がる。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出されるインクの量と吐出速度を制御可能なインクの吐出方法およびインクジェット塗布装置を提供する。
【解決手段】ヘッド１内には、インクが充填される液室内の圧力を変化させる圧力発生素子があり、液室には、インクを吐出するノズルが設けられている。ノズルから吐出されたインク滴は、吐出状態観測装置２において、異なるタイミングで２回撮像され、得られた画像からインクの吐出速度が取得される。制御装置６では、ノズルから吐出されるインクの吐出量と吐出速度がそれぞれ独立に制御される。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの塗布液の加圧パージ及び吸引パージ後にノズル孔出口面に残留する塗布液を、ノズル孔出口面上の撥液層を損傷することなく全て短時間で除去する残留塗布液除去手段を具現化して、残留塗布液除去性能に優れるインクジェットヘッドの塗布液除去装置ならびに塗布液除去方法を提供する。さらには低コストで塗布欠点の全くない高品質のカラーフィルターを製造できるカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのノズル孔出口面に残留する塗布液の除去装置であって、塗布液を吸収して除去する布材をノズル孔出口面に当接／当接解除する押し当て手段と、布材のノズル孔出口面への当接速度と当接時間と当接／当接解除回数とを調整する制御装置とを備え、さらに布材は目付が２００ｇ／ｍ^２未満の編物であることを特徴とするインクジェットヘッドの塗布液除去装置 （もっと読む）

【課題】塗工精度の向上と、厚塗、薄塗を可能とし、コンパクト設計で、吐出圧力や位置についてフレキシブルな制御方式で、広範囲な速度設定ができる塗工機を提供する。
【解決手段】塗布対象の基材２１をほぼ鉛直に保持する保持部１２と、塗布材料を塗布口から導出し、基材２１の一方の面に塗布材料を塗布する第一の塗布実行部１１と、塗布材料を塗布口から導出し、基材２１の他方の面に塗布材料を塗布する第二の塗布実行部１１と、第一の塗布実行部１１及び第二の塗布実行部１１を、それぞれ所定の速度で基材２１に沿ってほぼ鉛直方向の移動するよう制御する制御部１３とを備える。第一の塗布実行部１１と第二の塗布実行部１１は、基材２１の両面の対向するようほぼ同じ位置に配置され、かつ、ほぼ同じ速度で下降するよう制御される。 （もっと読む）

【課題】ガントリータイプのテーブルにおいて、塗布速度への立ち上げが指令速度に対して遅れるために有効な塗布面を得るには塗布速度の高速化や除外距離（塗布を始めてから塗布膜厚の変動率が要求仕様に収まるまでの走行距離）の短縮も望まれており、速度制御への要求内容は厳しいものとなっているため、これに対応する。
【解決手段】クロスカップリング制御とゲイン切替制御の方式において、塗布速度到達時のオーバーシュートをおさえ、それ以降は速度ムラをおさえるために、中心速度コントローラのゲイン切替のみを行っていたが、左右偏差コントロールのゲインを加速時に大きくして加速終了後に小さくした。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成面と記録用紙とが接触してもノズル形成面やノズルが損傷を受けにくくする。
【解決手段】吐出ヘッド３におけるノズル形成面５０と記録用紙Ｐとの間の間隙Ｇが所定値よりも小さいかどうかを検出する検出手段３３１と、吐出ヘッド４の記録用紙Ｐに対する移動速度を少なくとも高速と低速の２段に制御する制御部３００とが備えられ、制御部３００は、検出手段３３１で検出した間隙Ｇが所定値より小さいとき、吐出ヘッド３を低速で吐出対象物Ｐに沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】塗布断面積は線状パターンのどの位置においても均一でないと、液晶を封止するための２枚のガラス基板を貼り合わせた際、内側の液晶側や外側のガラス基板外部にはみ出してしまったり、シール性能の劣る箇所からの漏れが発生したりする恐れがある。
【解決手段】圧力応答曲線と速度変化曲線を重ね合わせるように調整することで、塗布断面積を一定にすることができる。さらに、圧力を変化させる際に多段階あるいは連続的に設定値を変更し、圧力変化時間を単段で切替えた場合の圧力応答時間より充分長くすることによって、速度変化の立ち上り立ち下りに関わらず変化し始めと変化し終わりの曲率をほぼ同等にすると共に、シリンジ内の塗布するペースト残量の変化による圧力応答性の変化を小さくすることができる。 （もっと読む）