【課題】マルチドロップ方式でインクジェットヘッドの駆動を行う場合の記録品質を向上する。
【解決手段】制御部２２は、インクジェットヘッド１において、１画素に対して１ドロップだけ吐出する場合は、そのインクドロップの吐出速度が、１画素に対して複数のインクドロップを吐出する場合の１ドロップ目の吐出速度よりも速くなるように、１画素に対して複数のインクドロップを吐出する場合の各インクドロップを吐出するための通常波形とは異なる駆動波形を用いて吐出駆動を行うようにヘッド駆動部２１を制御する。 （もっと読む）

【課題】流体を受容する吸収部材として線状のものを用い、これを移動させる場合において、その走行速度（移動速度）の安定化を図ることでヘッドや記録媒体（記録紙）の汚れを防止し、さらには吸収部材の使用効率の低下も防止した、流体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズルからなるノズル列を有し、ノズル列から流体を噴射する流体噴射ヘッド２１を備えた流体噴射装置である。ノズル列に沿って延在するとともに、ノズル列の一方側から他方側に向かって移動可能に設けられ、ノズルから噴射された流体を吸収する線状の吸収部材１２と、吸収部材１２をノズル列の一方側から他方側に向かって走行させる走行機構１３と、走行機構１３によって走行する吸収部材１２の走行速度を検出する検出機構と、検出機構で検出された吸収部材１２の走行速度に基づき、走行機構による吸収部材１２の走行速度を調整する調整部１２と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】排気路の排気流量を安定して測定することができる流量測定装置及び流量測定方法を提供する。
【解決手段】
排気路の排気流量を測定する流量測定装置８において、ミスト供給部８１は排気路７中にミストを供給し、撮像部８２はこのミスト供給部８１よりも下流側の排気路７を撮像する一方、推定部２００はミスト供給部８１から供給されたミストを前記撮像部８２により撮像した撮像結果に基づいて排気流量を推定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は塗布装置及び塗布方法に関し、ペーストパターン形成時に安定したペーストパターンを形成する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の実施形態は、基板を準備するステップと、前記基板にペーストを塗布するステップと、を含み、ペースト塗布速度が加速又は減速される区間を持ち、前記加速又は減速される区間での塗布圧力変化がＮ個の段階で段階毎に行われる。前記ペーストを塗布するステップは、ペースト塗布の加速又は減速される区間での塗布圧力変化を段階化する段階化個数Ｎを算出するステップと、前記加速又は減速される区間でのペースト塗布加速度を算出するステップと、前記加速又は減速される区間での塗布圧力を前記Ｎ個の段階毎に変化させながら、前記算出された塗布加速度でペーストを塗布するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】自動車ボディ塗装システムの運転管理を容易にする。
【解決手段】搬送機移動手段２９，３０，３１を搬送機２２の移動速度の個別調整が可能な構成にし、自動車ボディＷを搬送機２２に対して移動動作させるボディ動作手段３２，６１を搬送機２２に装備し、複数の処理部１〜１８にわたらせて順次に移動させる搬送機２２の移動位置情報ｉとボディ種情報ｂとに基づき搬送機移動手段２９，３０，３１とボディ動作手段３２，６２とを制御することで、搬送自動車ボディＷを処理部ごと及びボディ種ごとに設定されている合成移動パターンＰ（ｒ，ｖ，θ）で移動動作させる統括制御手段ＣＣを設ける。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の終端部分における膜厚の落ち込みを防止することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、前記塗布ユニットに塗布液を供給し、塗布ユニットから塗布液を吐出させる塗布液ポンプと、前記塗布液ポンプを駆動制御することにより前記塗布ユニットから吐出される塗布液の吐出量を制御する制御装置とを有しており、前記制御装置は、前記塗布ユニットから、塗布膜を一定厚さに形成する一定膜厚形成吐出量の塗布液を吐出させるとともに、塗布液ポンプを停止させる前に一定膜厚形成吐出量よりも多量の膜厚補正吐出量の塗布液を吐出させるように前記塗布液ポンプを駆動制御する。 （もっと読む）

【課題】基板における塗布液の膜厚が略均一であるような有効塗布領域を比較的大きくすることができる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板Ｓに塗布液を塗布する塗布装置１０において、塗布部支持機構２０に対して塗布部３０を塗布部支持機構２０の移動方向に摺動させるための摺動機構３２、３４が設けられている。制御部５０は、塗布部支持機構２０を移動させ始める際に、載置台１２に対する塗布部３０の相対速度が所定の大きさに達するまで、塗布部支持機構２０を移動させるとともに摺動機構３２、３４により塗布部支持機構２０に対して塗布部３０を塗布部支持機構２０の移動方向に摺動させるよう制御を行う。 （もっと読む）

【課題】インクカートリッジ内の機能液を攪拌する機能を有し、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の体積が変動し難い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルから基板に機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッドと、磁性体を含有し移動する転子３１と液滴吐出ヘッドに供給する機能液とを収容する収容タンク１５と、基板に対して液滴吐出ヘッドと収容タンク１５とを移動させるキャリッジ１１と、収容タンク１５の重力方向から転子３１に引力を及ぼす磁気ユニット１４と、を有し、キャリッジ１１は、液滴吐出ヘッドが液滴を吐出するときに収容タンク１５に対して転子３１が移動しない加速度で収容タンク１５を移動させ、液滴を吐出しないときには収容タンク１５に対して転子３１が移動する加速度にて収容タンク１５を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】吐出される液体材料の液滴形状、吐出状態を安定させ、吐出精度の向上を図ることが可能な液体材料吐出方法、装置およびプログラムの提供。
【解決手段】液体材料を計量する計量部と、計量部の一端に連通する吐出口と、計量部の内壁と摺動して移動するプランジャと、を設け、プランジャを吐出口と反対方向に移動させて計量部に液体材料を充填する充填工程、および、プランジャを吐出口の方向へ移動させ、次いで停止させて吐出口より液体材料を飛翔吐出する吐出工程を行う液体材料の吐出方法において、液体材料の吐出を行わずにプランジャを移動する予備動作の工程を設けることにより、吐出工程におけるプランジャの速度を一定に制御することを特徴とする液体材料の吐出方法、装置およびプログラム。 （もっと読む）

【課題】本塗布前の予備試験で消費する塗布液の消費量を軽減し、予備試験にかかる時間を短縮することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】ステージに対して塗布ユニットを相対的に移動させて、走行速度計測部により計測された走行速度から実走行速度波形を形成し、塗布液ポンプに予め設定されたポンプ駆動指令を与えて塗布ユニットから塗布液を吐出させることにより、圧力計測部により計測された吐出圧力から実吐出圧力波形を形成し、前記実吐出圧力波形からポンプ駆動指令と実吐出圧力との対応関係を示す応答特性を取得し、前記応答特性を用いて、前記実吐出圧力波形が前記実走行速度波形の形状に近似するようにポンプ駆動指令を調節し、近似後の実吐出圧力波形が所定の許容範囲内である場合には、その近似後の実吐出圧力波形に基づくポンプ駆動指令を本ポンプ駆動指令に設定する。 （もっと読む）

【課題】ペースト塗布量のばらつきの発生を抑え、ペーストの塗布精度を向上させる。
【解決手段】ペースト塗布装置１は、塗布対象物Ｋが載置されるステージ２と、ペーストを吐出するノズルを備えた塗布ヘッド４と、ステージ２と塗布ヘッド４とをステージ２の面方向に相対移動させる移動機構と、ステージ２と塗布ヘッド４とを相対移動させつつ、ステージ２上の塗布対象物Ｋにペーストを閉ループ状のパターンに塗布するように、塗布ヘッド４及び移動機構３を制御する制御部８とを備え、制御部８は、ノズルを、パターンの描画中におけるステージ２と塗布ヘッド４との相対速度以上の速度で、パターンの始点と終点を通過させるように移動機構３を制御する。 （もっと読む）

【課題】モータによってノズルの吐出口のスリット幅を制御可能なノズルユニットであって、ワークと干渉し難い配置でモータがノズルに取り付けられているノズルユニットを提供する。
【解決手段】ワーク９０上に制振材を塗布するノズルユニット１０であって、スリット状の吐出口１２ｅを有し、吐出口１２ｅから制振材を吐出するノズル１２と、ノズル１２に固定されているケース部１４ａと、ケース部１４ａから制振材の吐出方向に伸びる回転軸１４ｂを有するモータ１４と、モータ１４の回転軸１４ｂの回転を、ノズル１２に向かって伸びる第２回転軸１８に伝達する回転伝達手段１６と、第２回転軸１８の回転に応じて吐出口１２ｅのスリット幅を変更するスリット幅変更手段１２ｆを備えている。 （もっと読む）

【課題】エクストルージョン型ノズルを用いて枚葉状の基板の表面に塗布液を塗布する方法において、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく高精度な塗布範囲を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液３に圧力をかけてスリット６から吐出し基板２上に塗膜を形成する方法であって、塗布始端部においてスリット６先端と基板２の間に充填する塗布液３をスリット幅６ａと実塗布幅の間の２点間で濡れ広がり度合を検知し、濡れ広がり速度から実塗布幅到達時間を算出し、塗布開始のタイミングとノズル１移動速度を制御することで、塗布始端部で塗布液をはみ出すことなく、且つ欠けることなく高精度な塗布範囲を実現する。 （もっと読む）

【課題】基板の成膜面に着弾する機能液の液滴の位置を制御して、機能液を均一に配置することができる液滴吐出方法、液滴吐出装置及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド５を基板（Ｐ）と相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッド５が備える複数のノズルＮから機能液（Ｌ）の液滴Ｌｄを吐出させ、基板（Ｐ）の成膜面Ｐａに機能液（Ｌ）を配置する液滴吐出工程を有し、液滴吐出工程において、液滴Ｌｄの吐出毎に液滴Ｌｄの吐出速度Ｖｍを調整して液滴Ｌｄが成膜面Ｐａに着弾する着弾位置Ｉｐを制御する着弾位置制御工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドからの距離が一様でない媒体に対する液滴の着弾精度を向上させた液体吐出方法、及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出方法は、液滴Ｌを吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッド５から液滴Ｌを吐出する方法であって、ノズルと、液滴Ｌを吐出される媒体Ｐの表面との距離に応じて、液滴Ｌの吐出速度Ｑ１，Ｑ２を異ならせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルから塗布液が液柱状に吐出されている状態と、ノズルの吐出孔に液溜まりが形成されている状態とを区別して認識し、不正常な状態での塗布処理を防止することができる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】基板塗布装置１は、レーザセンサ７１の受光器７１ｂから出力される受光信号を監視する。そして、受光信号が低下した時間に基づいて、ノズルから有機ＥＬ液が液柱状に吐出されている「第１の状態」と、ノズルの下端部に液溜まりが形成されている「第２の状態」とを判別する。このため、正常な状態である「第１の状態」と不正常な状態である「第２の状態」とを区別して認識することができ、不正常な状態での塗布処理を適切に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の回転数を高くしかつ処理カップ内の排気を低排気量で行っても排気流の逆流を抑え、基板へのミストの再付着を低減できる液処理装置及び液処理方法を提供する。
【解決手段】下降気流が形成されている処理カップ３３にて回転しているウエハＷに対してレジスト液を塗布するレジスト塗布装置において、処理カップ３３のスピンチャック３１に保持されたウエハＷの外周近傍に隙間を介して当該ウエハＷを取り囲むように環状に設けられ、その内周面の縦断面形状が外側に膨らむように湾曲して下方に伸びる上側ガイド部７０と、前記ウエハＷの周縁部下方より外側下方へ傾斜した傾斜壁４１及びこの傾斜壁４１に連続し、下方へ垂直に伸びる垂直壁４２から構成された下側ガイド部４５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】角度が異なる被吐出面に良好に液滴を吐出できるようにする。
【解決手段】第１液滴Ａを吐出する第１ノズル３６Ａと、第１液滴Ａと空中で接触する方向に第２液滴Ｂを吐出して第１液滴Ａに第２液滴Ｂを混合させる第２ノズル３６Ｂと、混合液滴が着弾する被吐出面の角度に応じて第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴の飛翔方向を変更する変更手段と、を備える第１制御部及び第２制御部が、印加する駆動波形を制御することにより、その混合された混合液滴Ｃが着弾する被吐出面の角度に応じて、第１液滴Ａと第２液滴Ｂとの混合比率及び混合液滴Ｃの飛翔方向を変更するようになっている。 （もっと読む）

【課題】被塗布基材の一定長さ（例えば製品１枚分の長さ）あたりの液体の間欠塗布回数を増加させた場合に発生し易い液体塗布不良を確実に検知することができる液体塗布装置を提供すること。
【解決手段】搬送中の被塗布基材２の一定の送り長さ間隔で周期信号を発生する信号発生手段３と、圧縮流体の流路を開閉する電磁弁４と、電磁弁４からの圧縮流体により弁体を移動させて被塗布基材２に塗布される液体を放出又は不放出状態に切り換える液体塗布部５と、圧縮流体が電磁弁４から液体塗布部５へ向かう途中の流路の内圧を測定し、予め定めた閾値以上の圧力が検知された場合にオン信号を出力する圧力センサ６と、該信号を受信し分析するシーケンサ７とを備える液体間欠塗布装置１であり、周期信号間の圧力センサからのオン信号の送信時間の和に基づいて電磁弁４の動作チェックが行われる。 （もっと読む）

【課題】同一ガラス基板内に複数の狙い膜厚がある品種に対して、それぞれの狙い値に膜厚を制御できるスピンレスコート装置を提供することと、その装置を用いた複数品種の面付けを持つカラーフィルタ基板を提供する。
【解決手段】ステージ上に載置されたガラス基板の表面に、該ガラス基板表面と所定間隔離して該ガラス基板に対して移動する少なくとも1台以上のスリットノズルに塗布液をポンプで送液しながら、該塗布液を一定幅及び一定長塗布するスピンレスコート装置において、前記ガラス基板面内の膜厚を変更したい位置で、複数の狙い（仕上がり）膜厚に対応する塗布膜厚への膜厚変更制御機構を具備している。 （もっと読む）