【課題】基板を加熱させるための消費電力を低減できることができ、液滴吐出ヘッドへの放熱の影響を低減させることができる液滴吐出装置の液滴乾燥方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】配置位置ＰＦがノズルＮの直下の目標吐出位置Ｐに位置した時、半導体レーザと圧電素子ＰＺを駆動して、ノズルＮからの液滴Ｄが配置位置ＰＦ（目標吐出位置Ｐ）に着弾する直前に、その目標吐出位置Ｐにレーザ光Ｂを照射した。従って、基板Ｓ１は液滴Ｄが配置される配置位置ＰＦのみが加熱されるため、基板Ｓ１を加熱する際の消費電力の低減を図ることができる。しかも、基板Ｓ１全体の温度は抑えられるため、隣接する吐出ヘッド２０は基板Ｓ１から熱の影響が抑えられる。また、液滴Ｄが配置される前に、配置位置ＰＦがレーザ光Ｂにて加熱されるため、液滴Ｄはすみやかに乾燥する。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の塗布領域境界部で生じる輝度ムラを良好に抑制する記録装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】記録装置１０は、基板１１を配置する処理ステーション１６と、インクジェット方式で記録媒体を塗布する複数の記録素子１８を備えた記録媒体塗布部１３と、記録媒体の塗布雰囲気を制御する雰囲気制御ユニット１４と、を備える。雰囲気制御ユニット１４は、処理ステーション１６を囲むように設けられた処理室２０と、供給された主溶媒３０を気化させる主溶媒気化部２１と、処理室２０と主溶媒気化部２１との間で気化された主溶媒３０を循環させる循環経路部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚制御性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】膜厚計測部は、液膜Ｆ０における反射光の分布を計測して反射光データを生成する。制御部は、反射光データを用いることにより各座標の膜厚差分値を演算し、膜厚温度変換を用いることにより各座標の膜厚差分値を液膜Ｆ０の温度に変換する。そして、制御部は、膜厚差分値の分布に応じた温度分布を液膜Ｆ０に形成して液膜Ｆ０の乾燥処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置とすることなく、エネルギーの有効利用を図りつつ、塗膜の乾燥ムラを防止することができる被塗装物乾燥装置を得る。
【解決手段】被塗装物を乾燥させるヒータ２と、ヒータ２を覆うカバー３と、カバー３の内部にエアーを供給する供給部５と、カバー３の内部に供給されたエアーを被塗装物に向けて噴射する噴射部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】同時に吸引処理を行うヘッドキャップの数が変わっても、各ヘッドキャップにおいて同一の吸引圧力で吸引を行うことができる吸引装置を提供する。
【解決手段】複数のヘッドキャップ２０１と、複数のヘッドキャップ２０１に接続された複数の個別流路２２５ａ、および複数の個別流路２２５ａに接続された合流流路２２５ｃを有する吸引流路２２５と、各個別流路２２５ａに介設した複数の流路開閉手段３３３と、合流流路２２５ｃに接続された廃液タンク２８１と、二次側を廃液タンク２８１に接続したエジェクタ３３１と、エジェクタ３３１の一次側圧力を調整する圧力調整手段３３４と、圧力調整手段３３４を制御する制御手段９と、を備え、制御手段９は、複数の流路開閉手段３３３のうちの開放している流路開閉手段３３３の開放数に応じて、圧力調整手段３３４を制御する。 （もっと読む）

【課題】空調要素を接着剤供給装置に一体的に取り付ける。
【解決手段】材料を収容する内部空間を有するホッパと、材料を融解するように機能的に接続された少なくとも１つの加熱要素とを有する融解炉本体と、ホッパを気密閉鎖するように機能的に接続された蓋体と、第１弁機構を介して内部空間と連通し、かつ内部空間から排気するための真空ポンプ及び真空発生器の少なくとも１つを有する第１ループと、第２弁機構を介して内部空間と連通し、かつ空気供給源から水分を除去するための少なくとも１つのドライヤフィルタを有し、かつ乾燥空気を内部空間内へ放出する出口を有する第２ループとを有する空調システムと、第１及び第２弁機構を交互に作動させることにより、内部空間から水分を含んだ空気を排除し、代わりに乾燥空気を送入するように第１及び第２ループを作用させる、空調システムと連動する制御システムとを備えている。 （もっと読む）

【課題】キャップユニット単位で、異なる吸引圧力による吸引処理を同時に行うと共に、スペース効率の向上および構造の単純化を図る。
【解決手段】１以上のヘッドキャップ３０１を搭載した複数のキャップユニット３０３と、各ヘッドキャップ３０１を離接動作させる昇降機構と、複数のキャップユニット３０３に接続され、各ヘッドキャップ３０１から機能液を吸引すると共に相互に吸引圧力が異なる複数の吸引手段と、上流側を各キャップユニット３０３に接続したキャップ側流路１１１、キャップ側流路１１１から分岐して各吸引手段に接続した個別流路１３１から成る複数組の吸引流路と、各吸引流路を選択的に流路切換えする複数の流路切換え手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板に与える熱量を一定にすることが可能な基板製造装置を提供すること。
【解決手段】基板製造装置１００の熱処理炉１２０内に、基板Ｋｘの搬送に伴い生じる温度変化を測定する搬送制御用熱電対１５０を設けている。基板製造装置１００の搬送制御手段１６０は、この搬送制御用熱電対１５０で測定した温度変化に応じて搬送間隔Ｑｙを認識し、調整搬送ローラ１１１Ｂの回転速度を制御することにより、基板Ｋｘの搬送速度を個別に制御する。このため、例えば基板Ｋｘなどにより、この基板Ｋｘの搬送速度が他の基板Ｋｘと異なってしまったとしても、温度変化により基板Ｋｘの搬送間隔Ｑｙを認識し、この搬送間隔Ｑｙに基づき基板Ｋｘの搬送速度を個別に制御することにより、搬送間隔Ｑｙを一定にすることができる。したがって、基板Ｋｘに与える熱量を一定にできる。 （もっと読む）

【課題】 連続気孔を備えた円筒状の多孔質樹脂体を使用したワックス供給塗布装置を有する走行式ワックス塗布乾燥装置を提供する。
【解決手段】 車の前方には、該台車の進行方向の床面にワックス液を供給塗布するワックス供給塗布装置が、台車の後半部には、塗布されたワックス液を乾燥する塗布ワックス加熱乾燥装置が設けられてなる走行式ワックス塗布乾燥装置において、被塗布床面にワックス液を供給塗布する前記ワックス供給塗布装置が、連続気孔を備えた多孔質樹脂体のロールでなる塗布具を有してなり、かつ前記塗布具の回転周速度を走行式ワックス塗布乾燥装置の走行速度より速くなるよう構成して乾燥速度を速めるように構成した走行式ワックス塗布乾燥装置による。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面に水分が付着した未塗装のホイールを短時間で均一に乾燥可能なホイール乾燥装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ホイール乾燥装置１は、略円環状のリム部１０２と、略円環状のリム部１０２における一方の端面である第１端面１２０側に偏って配置されるハブ取付部１０１と、ハブ取付部１０１の外周から放射状に延びるように形成されると共に端部が前記リム部の第１端面１２０における第１円周部１０２ａ近傍に接続されるスポーク部１０３と、を有するホイールであって表面に水分が付着した未塗装のホイール１００を乾燥するホイール乾燥装置１であって、ホイール１００における第１端面１２０に対向するように近接配置される第１誘導加熱部２と、第１誘導加熱部に対する第１端面の相対位置を変更可能な相対位置変更手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液膜を乾燥させて形成する膜の膜厚均一性を向上させる成膜方法及び成膜装置を提供する。
【解決手段】＋Ｘ方向に配列する複数のノズルの各々から対向する複数の目標点Ｔの各々に実質的に同じタイミングで液滴を着弾させることによって＋Ｘに連続する液膜Ｆを形成する。各熱伝導部材２６が、高伝導領域Ｒｃと対向する加熱面１２ａ上の位置に配設されて、加熱面１２ａからの熱量を、当接する基板Ｓの裏面に供給する。そして、＋Ｘ方向における所定幅の両端部分と、＋Ｙ方向に沿う液膜Ｆの両端部分とがそれぞれ中間部分よりも低温になる温度分布を液膜Ｆに形成して液膜Ｆを乾燥する。 （もっと読む）

【課題】塗料温度の調整を低エネルギーに実施し得る塗料温度の調整方法および塗料温度調整装置を提供する。
【解決手段】チラー１０にて冷却された水７を、塗料タンク１内に配設した熱交換器１１へと送る。そして熱交換器１１を通過する水７で塗料２との熱交換を行う。熱交換器１１での熱交換を終えた水７を保水タンク６へと送り、保水タンク６の内壁面と塗料タンク１の外壁面との間を通過させる際、塗料タンク１内の塗料２との間で、塗料タンク１の側壁もしくは底壁を介して熱交換を連続的に行う。 （もっと読む）

【課題】発泡性溶融体がスロットノズル組立体の内部で発泡することを防止する。
【解決手段】幅広の帯状に発泡性溶融体を押し出すスロットノズル組立体（２）において、複数の発泡性溶融体通路（２０）と、複数の発泡性溶融体通路と連通する横分配流路（２１、２２）と、横分配流路内に配置された絞り部材（８）と、発泡性溶融体を吐出するためのスロット（２３）と、横分配流路とスロットとを連通し、スロットへ向けて断面積が徐々に小さくなる収束部分（２２ａ）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】液滴の濡れ広がりを抑えることによって液滴からなるパターンの加工精度を向上させた液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】液滴吐出ヘッド２０は、＋Ｙ方向から見てノズルＮを挟んで両側に、それぞれ＋Ｙ方向に沿って配列されるガイド群を有する。吐出位置Ｐを通り＋Ｙ方向に延びる経路として吐出経路Ｒが規定されるとき、各ガイド群ＲＬ１，…，ＲＬｉは、それぞれ対応する吐出経路Ｒを挟んで両側に、該吐出経路Ｒに沿ってガイド光を照射する。 （もっと読む）

【課題】オゾンの発生による誘電率の上昇を防ぎながら、常圧下でシリカ系被膜を形成することができる被膜形成方法及び被膜形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被膜形成方法及び被膜形成装置は、シリカ系被膜形成用組成物に対し、加熱しながら、２００ｎｍ以下の波長の光の少なくとも一部を遮断する遮断部材を通して紫外光を照射する手段を有することを特徴とする。この手段を有することで、オゾンの発生による誘電率の上昇を防ぎながら、常圧下でシリカ系被膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】スループットの向上及び塗布膜厚の均一性の向上を図れるようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板であるウエハＷを回転可能に保持するスピンチャック５０と、スピンチャックによって保持されたウエハの表面にレジスト液を供給する塗布液供給ノズル５２と、スピンチャックと塗布液供給ノズルを収容する処理室４０と、ウエハに塗布液を供給する前のウエハを所定の温度に冷却する冷却プレート５６と、塗布液が塗布されたウエハを所定温度に加熱する加熱プレート５８と、処理室、冷却プレート及び加熱プレートとの間でウエハを搬送する搬送手段と、を具備する基板処理装置において、処理室、冷却プレート及び加熱プレートを外気と区画し、少なくとも処理室に、空気より動粘性係数の高いガス（Ｈｅガス）の供給源６８ｂを有するガス供給機構６０を接続して、処理室内をＨｅガスの所定濃度に維持する。 （もっと読む）

ポリマー基材の上に電子デバイスを製作するための装置及び方法は、ポリマー基材をプラテンの上に位置的に拘束すること、及び拘束されたポリマー基材を、ポリマー基材の少なくともガラス転移温度まで加熱することを提供する。拘束されたポリマー基材に熱加工可能なインクを塗布して、そのポリマー基材の上に電子デバイスの層の少なくとも一部を形成する。
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【課題】自動車ボデー等の塗装補修する際にその補修箇所に塗料、特に水性塗料を塗布し、この塗装面を乾燥処理するのに好適な乾燥装置を提供すること。
【解決手段】送風機と、駆動手段ＧＭを有するリンク機構１０と、流入口及び流出口を有する容器に、加熱ヒータ及び該加熱ヒータからの熱を蓄熱する蓄熱部材を収容し、前記送風機から該流入口を通して送風された気体を熱風に変換して該流出口から噴出する熱風発生器２と、この熱風発生器に接続されて該熱風発生器からの熱風を噴射する吹付け手段２０と、前記送風機及び前記加熱ヒータを制御し、吹付け手段２０から噴射する熱風の温度及び風量を所定範囲内に調整する制御手段と、を備え、前記熱風発生器が前記リンク機構又は該リンク機構の近傍に配置され、前記吹付け手段が前記リンク機構に装着されている。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜中の有機溶剤の蒸発速度を安定化し、わずかな乾燥ムラの発生を抑制することができる塗布膜の乾燥装置および乾燥方法、これらを用いた塗布物の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】 溶剤除去部内に発生させる空気の流れを、塗布膜の搬送方向と平行とする。分離用整風部材と塗布膜との間の整風部材側間隙の高さＬ１と、底板と基材との間の底板側間隙の高さＬ２と、がＬ１≦Ｌ２の関係を満たす。給気手段を用いて溶剤除去部内へ空気を給気する給気風量Ｄ１と、排気手段を用いて溶剤除去部内から空気を排気する排気風量Ｄ２との関係を、給気風量Ｄ１＜排気風量Ｄ２とする。 （もっと読む）

【課題】 精密な膜厚制御を必要とする成膜工程において、乾燥ムラの発生しない乾燥装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 塗布膜面から蒸発した溶剤ガスを排気ボックスにて吸引すると同時に、隣接する給気ボックスから、溶剤ガスを含まない空気を塗布膜面に対し緩やかに均一に供給でき、塗布膜面に乱れを生じさせずに素早く空気の置換が可能なため、精密な膜厚制御を必要とする成膜工程において、乾燥ムラの発生しない乾燥装置を提供することができる。 （もっと読む）