【課題】ジェットエンジンシャフト等のように径に対して長い長さを有する筒体の特に内表面に一定膜厚の塗装膜を安定して形成できるようにする。
【解決手段】防爆ブース５内の支持台２上に水平に支持した筒体１を内面塗装機３及び外面塗装機４により塗装する筒体の塗装設備であって、筒体１の一端延長上における防爆ブース５の天井部に外部の空気を供給する給気口２８を設け、防爆ブース５における筒体１の他端延長上に吸引口２９を備えた隔壁３０を介して吸引室３１を形成すると共に、吸引室３１に吸引ファン３２を設け、吸引ファン３２の駆動により防爆ブース５内に吸引口２９に向かうガス流れを形成する。 （もっと読む）

【課題】基板に発生する温度ムラを軽減することができ、液状体の膜厚ムラの発生を防ぐことができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】基板へ気体を噴出する気体噴出部が基板搬送部に設けられており、この気体の温度を調節する温度調節部を備えるので、当該温度調節部によって基板へ噴出される気体の温度を調節することができる。これにより、基板に発生する温度ムラを軽減することができ、液状体の膜厚ムラの発生を防ぐことができる。 （もっと読む）

余剰のノズル（２２１、２２２、２２３）を有する第１印刷ユニット（２２０）を用いて印刷を行う印刷方法を提供する。この方法は、第２印刷ユニット（２１０，２３０）の作動ノズルにより印刷を継続しつつ第１印刷ユニットによる印刷を停止することを含み得る。この方法は、第１印刷ユニットを検査し、欠陥ノズルを識別し、その後欠陥ノズル（２２５）を非作動ノズルとして設定し、第１印刷ユニットの非作動ノズル（２２１、２２２、２２３）を新たな作動ノズルとして設定することを含み得る。いくつかの実施形態に係りこの方法は、検査の前に第１印刷ユニットを検査ゾーンに移動し、その際第２印刷ユニットの作動ノズルで印刷を継続し、検査後に第１印刷ユニットを印刷ゾーンに移動させて第１印刷ユニットで印刷を継続させることを含み得る。
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【課題】ヘッドの駆動状態が異なる場合があっても、所望の液滴量を吐出することができること。
【解決手段】ヘッドを駆動させるための駆動電圧を生成する駆動電圧生成手段と、ヘッド待機状態における機能液の第１温度を取得する第１温度取得手段と、ヘッドの駆動状態における機能液の第２温度を取得する第２温度取得手段と、第１温度と第２温度との温度差を演算する温度差演算手段と、温度差に基づいて、駆動電圧を補正する駆動電圧補正手段と、を備え、駆動電圧生成手段は、補正された駆動電圧をヘッドの駆動状態におけるヘッドに対して生成する液滴吐出装置。 （もっと読む）

【課題】 塗装室に供給する空気の加熱及び乾燥炉に供給する乾燥用空気の加熱に対する熱源供給方式を改良することで省エネルギーを図った塗装装置を提供する。
【解決手段】 塗装室３と、乾燥炉５と、塗装室３に温度と湿度を調整した空気を供給する給気装置８と、乾燥炉５に高温の乾燥用空気を供給する乾燥用空気循環供給装置１０とを備え、乾燥用空気循環供給装置１０は、乾燥炉５から吸引した乾燥用空気をバーナーユニット１３の燃焼ガスにて加熱し、加熱された乾燥用空気を熱交換器１５に通して温度調整した後乾燥炉５内に供給し、給気装置８は、外気を冷水と熱交換する冷却用熱交換器２０に通して冷却した後、乾燥用空気循環供給装置１０の熱交換器１５に通して加熱し、その後蒸気源３１から水蒸気が供給される加湿器２９にて加湿して塗装室３内に供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】
エッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置。
【解決手段】
本発明はエッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置に関するものである。本発明は第2層エッチング液におけるエッチング液の揮発速度を加速させるもので、過熱することで第２層エッチング液の溶剤が落下し、本来の有機分子膜を溶解するのを防ぐものである。この装置には、すき間を有する有機容器、加熱器、吸気弁が含まれる。有機容器は有機分子のエッチング液を入れるのに用いる。この有機容器は機械を使って基板と基板の間隔を調節することができ、この間隔によりウエット薄膜にできる厚みを制御することができる。吸気弁は有機容器の上に設置し、すき間を流れる有機溶液の量を調整するのに使用する。加熱器は有機容器の一方に置き、容器の揮発及び薄膜形成の速度を速めるのに用いる。 （もっと読む）

【課題】各噴射ノズルから吐出され飛翔中のインク滴をカメラで監視し、それら各インク滴の飛翔状態を噴射ノズルの駆動系にフィードバックして最適制御を行う。
【解決手段】オンデマンド方式によるインクジェットヘッドの制御方法において、少なくとも２以上の噴射ノズルよりインク滴１５を滴下させ、それら飛翔中のインク滴１５をカメラで撮像し、その撮像画面内で特定された複数の噴射ノズルから滴下されるインク滴１５ａ〜１５ｃを標本として、その平均高さｈｏを求めるとともに、平均高さｈｏと各標本インク滴１５ａ〜１５ｃとの差分Δｈを算出し、その差分Δｈの絶対値の和が所定値以下となるように所定のパラメータ（例えば、駆動電圧）を制御する。 （もっと読む）

【課題】所定のパターン形成時と吐出量測定時とで、吐出量が変動することを抑制することで、所定のパターン形成時の吐出量を正確に測定できる液状体吐出装置、及び液状体吐出方法を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、吐出手段から吐出される液状体の吐出量を測定する吐出量測定手段と、吐出手段の所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、吐出手段の吐出量を調整する吐出量調整手段と、を備え、温度調整手段は、吐出量測定手段により吐出量を測定する際の吐出手段の温度を所定のパターン形成時の温度に調整する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出された液滴によるドット群を、吐出直後に均一に乾燥させる。
【解決手段】基板３に対して、液滴を吐出するノズル列を有するインクジェットヘッド１を走査することにより、ドット群によるパターンを描画する。各ドットＤを吐出直後に気流によって乾燥させる乾燥手段２は、ドット群に対応するスリット列を有し、ドット群の着弾位置に応じて、各スリットからの吸引流速を変えることで、ドット群の中央部分と端部での乾燥速度のばらつきを抑制する。 （もっと読む）

【課題】金属部品の表面に厚さ１〜２０μｍの薄塗膜を効率良く且つ省スペースの設備で形成することができる塗装方法及び塗装システムを提供する。
【解決手段】金属部品（ディスクロータ）２の表面を研磨する研磨部３と、研磨部３を経た金属部品２を研磨液と共通化された洗浄液を用いて洗浄する洗浄部４と、洗浄部４を経た金属部品２の表面に塗料を塗布する塗装部５と、塗装部５を経た金属部品２を高周波誘導加熱により３００〜５００℃の温度で焼付ける焼付部６と、焼付部６を経た金属部品２を水冷により急冷却する冷却部７とを備えて、金属部品２の表面に厚さ１〜２０μｍの塗膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】周囲の環境を損なうことなく、レジスト膜の膜厚のばらつきが発生することを抑制するレジスト膜乾燥装置を提供する。
【解決手段】レジスト膜乾燥装置は、基板９に塗布された溶媒成分を含むレジスト膜１０を加熱する加熱プレート２を有している。また、レジスト膜乾燥装置は、レジスト膜１０の表面に近接するように、下面がレジスト膜１０の表面に対向する位置に配置された対流抑制板３と、対流抑制板３の下面の外周の外側上方に排気口５ａが形成された外装排気カバー５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】廃液回収機構を設けることなく、吐出ヘッドのフラッシング動作を適切に行うことができ、装置全体の小型化も可能なフラッシングユニット及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面を有し、ノズル面の各ノズルから機能液の液滴Ｄを吐出する吐出ヘッド３を備えた液滴吐出装置において、ノズルから吐出された液滴Ｄを吐出対象物に着弾させる前に、予めノズル面に設けられた各ノズルから液滴を吐出させるフラッシング動作を行うためのフラッシングユニットＦＬであって、液滴Ｄを吸収可能な材料からなるシート部材９０を供給する供給リール９１と、供給リール９１から供給されたシート部材９０を巻き取る巻取リール９２とを有し、供給リール９１と巻取リール９２との間のシート部材９０に対して、吐出ヘッド３の各ノズルから液滴Ｄを吐出させることによって、フラッシング動作が行われる。 （もっと読む）

【課題】射出量を一定に保つ。
【解決手段】搬送される被塗布物Ｈに対して塗布液を液滴として射出することにより、当該被塗布物Ｈに塗布液膜Ｈ１を形成する塗布装置１は、被塗布物Ｈに対して塗布液を射出するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４に対して塗布液を供給する塗布液タンク５０と、インクジェットヘッド４内部の塗布液温度を一定に保持する熱交換器７とを備える。塗布液タンク５０は、当該塗布液タンク５０の液面位置を一定に保持するようになっている。 （もっと読む）

【課題】走行するポリマーフィルムに有機溶剤を含む塗布液を塗布して形成した塗布膜を乾燥する乾燥ボックスを備えた乾燥装置及び乾燥方法において、乾燥ボックス内の気流を乱すことのなく、乾燥ムラのない塗布膜を提供する。
【解決手段】
乾燥ボックス６０ａのポリマーフィルム入口６２のポリマーフィルム塗布膜面側に、ポリマーフィルム２４ｃと平行に板状部材９０ａを設け、板状部材９０ａとポリマーフィルム２４ｃとのクリアランスｄを０．５ｍｍ以上１５ｍｍ以下の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】吐出ノズルごとに駆動パルスの電圧を変更するように、制御装置にかかる負荷が大きく処理に要する時間が長くなることを抑制しながら、吐出ノズルごとの吐出量を調整できるヘッドユニット、吐出装置、及び吐出方法を提供する。
【解決手段】ヘッドユニットは、液状体を吐出する複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレートと、ノズルプレートを支持すると共に、内部に吐出ノズルに連通する液状体の流路が形成されているプレート保持部とを有する吐出ヘッドと、熱源又は冷却源と、少なくとも大気より熱伝導率が高い材料で形成されており、一端が吐出ノズルに連通する流路に臨むプレート保持部の外壁に接触しており、他端が熱源又は冷却源に接触している温度調整端子と、を備える。吐出装置は、当該ヘッドユニットを備える。 （もっと読む）

【課題】塗工対象の特定部分を選択的に塗工する方法において、塗工対象の熱歪みを発生させることなく工程時間を短縮することが可能な塗工ヘッドおよび塗工装置を提供することである。
【解決手段】塗工ヘッド１２は、塗布用開口３０と、加熱用開口３２と、冷却用開口３４と、を有し、冷却用開口は、加熱用開口と隣接して配置される。塗工ヘッド１２を適用した塗工装置は、塗工ヘッド１２のほかに、塗工対象を保持する保持テーブル２４と、塗工ヘッド１２を移動させる駆動部２０と、制御部２２と、を備え、制御部２２は、塗工ヘッド１２の塗布用開口３０と加熱用開口３２とが配置される方向に沿って加熱用開口３２に対して塗布用開口３０が先頭となるように、塗工ヘッド１２を塗工対象に対して相対的に移動させながら、塗布液を吐出させ、塗布液の吐出と連動して、加熱媒体の吹出し及び冷却媒体の吹出しを実行する。 （もっと読む）

【課題】短時間で液体を乾燥させることができ、しかも歪な形状とならない膜を形成することが可能な膜形成装置および膜形成方法を提供する。
【解決手段】膜形成装置は、液体を基板上の任意の箇所に局所的に塗布するとともに液体が塗布された領域を局所的に乾燥させることによって膜を形成する。この膜形成装置は、塗布装置、加熱器４０１、および位置調整手段を備える。塗布装置は、基板上に液体を吐出するように構成される。加熱器４０１は、基板における液体が塗布された領域を覆いつつ加熱乾燥させるように構成される。加熱器４０１には、基板との間の気体を上方に排出するための排出口４０２が設けられる。位置調整手段は、例えば、ステージとキャリッジによって構成され、塗布装置および加熱器４０１を基板上の任意の箇所に移動させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】タンクのレベル制御と温度制御を行いながら塗料の濃度制御を行なうことができる塗料の濃度制御システムおよび方法を提供することを目的とする。
【解決手段】原液とうすめ液とを混合・貯蔵し系外に排出または後段に供給する混合タンクと、該混合タンクからの溶液と前記うすめ液とを混合・貯蔵しラインに供給または前記混合タンクにフィードバックする供給タンクとで、それぞれ糖度、レベル、および温度を計測し、これら計測値に基づき前記供給・排出・フィードバックを調整する。 （もっと読む）

【課題】加熱板上に基板を載置して基板の加熱処理を行うにあたり、加熱板の温度上昇及び温度降下を速やかに行うことができる熱処理装置を提供すること。
【解決手段】基板を載置して加熱するための加熱板と、温調媒体の温度に応じて前記加熱板を温調するための加熱板温調部と、制御部と、を備え、前記制御部は、加熱板の温度を任意の温度からその温度よりも高い第１の温度に変更するために、加熱板温調部の流路にその第１の温度よりも高い温度に温調された温調媒体を供給する一方で、加熱板の温度を任意の温度からその温度よりも低い第２の温度に変更するために、加熱板温調部の前記流路にその第２の温度よりも低い温度に温調された温調媒体を供給するように媒体温調手段と及び供給手段の動作を制御するように構成して加熱板の昇温及び降温を速やかに行う。 （もっと読む）

【課題】熱硬化性のシール材を硬化させるシール材硬化装置において、前記シール材の温度を測定しながら送風する熱風の効率的な制御を行い、前記シール材を過不足無く加熱し、適正に硬化させることのできるシール材硬化装置を提供する。
【解決手段】送風部１１とヒータ部１２とを有し、送風部１１により送風され、ヒータ部１２により所定の温度に加熱された熱風をシール材５１に対し吹き付ける熱風送風手段１と、ヒータ部１２の発熱制御を行うヒータ部制御手段２と、ヒータ部制御手段２に対しヒータ部１２に発熱させる発熱量を命令する出力制御手段３と、シール材５１に非接触の状態で該シール材５１の温度を測定し、測定した温度情報を出力制御手段３に供給する温度測定手段４とを備え、出力制御手段３は、温度測定手段４から供給された温度情報に基づきヒータ部１２に発熱させる発熱量を決定する。 （もっと読む）