【課題】ＣＡＰコーターを用いて基板表面にレジスト膜を形成する場合、塗布ムラを低減し、塗布膜厚の均一性が良好なマスクブランクの製造方法、及び基板面内の塗布膜厚の均一性を向上させることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】転写パターンを形成するための薄膜を有する基板の被塗布面に、液状のレジスト剤を収容した液槽からノズル２２を通過してノズル先端開口部に到達したレジスト剤を接液させ、基板とノズルとを相対的に移動させることによって、被塗布面にレジスト剤を塗布してレジスト膜を形成する工程を含むマスクブランクの製造方法である。このレジスト膜形成工程において、被塗布面へのレジスト剤の塗布中は、液槽内に浸漬させたノズル２２の隙間２３を気泡が塞がないように、隙間２３近傍からノズル外側に連通する通路孔３０ａ，３０ｂを経て、気泡を隙間２３以外の部位へ誘導させる。 （もっと読む）

【課題】液体の液垂れを確実に防止することのできる液体吐出ノズル装置（５０）を提供する。
【解決手段】吐出口（２ｇ）を有するノズル部（２）が取り付けられたスリーブ体（ＳＴ）とその内部に挿通されたロータ部（Ｒ）とそれに形成された螺旋状のつば（Ｒａ）とを備え、スリーブ体内に供給された液体（Ａ１）を、ロータ部の第１方向（ＲＴＬ）の回転によりつばが液体をノズル部側に搬送して吐出口から吐出させ、スリーブ体とロータ部とに第１方向と逆の第２方向（ＲＴＲ）の回転で螺合するねじ部（３ｃ，Ｒｂ）を形成し、ロータ部におけるノズル部側先端に吐出口を塞ぐ遮断弁部（Ｒ１ａ）を設け、ロータ部を第２方向に回転させた際に、ねじ部同士が螺合してロータ部がノズル部側に移動し遮断弁部が吐出口を塞ぐ構成にした。 （もっと読む）

【課題】 塗装用ブースの処理水中に粉粒状薬剤を混合する作業者の負担を軽減し、塗装ブースに運転に応じた適正な量で薬剤の供給を自動的に行う。
【解決手段】 塗料ミストの捕集に処理水を使用し、その処理水を循環させる塗装用ブースに粉粒状の薬剤を供給する装置として、粉粒状の薬剤を収容するホッパーと、該ホッパーの下方に可動部を設けてふるい目が変化する篩部と、下部に開閉蓋を設けた定量保持室とを連設し、前記可動部を定期的に作動させる駆動装置と前記開閉蓋を定期的に作動させる開閉制御装置を設け、これを塗装ブースの循環水流の上部で前記開閉が行われるように設置する。 （もっと読む）

【課題】塗布液の消費量を増加させることなく、ノズルから迅速かつ良好に塗布液の吐出を開始させることができるるとともに、solvent shcckの問題も発生しない塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置１は、まず、ノズル３１から主溶媒のみを吐出し、その後、有機ＥＬ液の割合を徐々に増加させるととともに主溶媒の割合を徐々に低下させ、最終的にノズル３１から有機ＥＬ液のみを吐出する。このため、ノズル３１の内部に滞留する異物や気泡を主溶媒とともにノズル３１の外部へ排出した上で有機ＥＬ液の吐出を行うことができる。また、主溶媒から有機ＥＬ液に徐々に置換するため、solvent shockの問題も発生しない。また、ノズル３１の洗浄と有機ＥＬ液の吐出とを繰り返さなくても有機ＥＬ液の吐出を開始させることができるため、有機ＥＬ液の消費量を増加させることなく、迅速に有機ＥＬ液の吐出を開始させることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッド間での液滴量のバラツキを軽減する。
【解決手段】液状体を液滴として吐出する複数のヘッドに前記液状体を１つの供給源から分配する分配路のなかの複数の経路のうちで、前記液状体が前記液滴として吐出される吐出頻度が最多である前記経路と、他の各前記経路との間の前記吐出頻度の差の大きさに応じて多くなる量の前記液状体を、各前記他の経路につながる各前記ヘッドから、各前記他の経路につながる各前記ヘッドを駆動して、前記液滴として排出させる。 （もっと読む）

【課題】 塗装環境に応じて希釈率を容易かつ正確に調整することができる塗料供給装置、塗料供給方法、及び、塗装方法を提供する。
【解決手段】 原料塗料を輸送する塗料ライン３と、塗料ライン３に分岐接続され、原料塗料に希釈液を混合する希釈液ライン４と、塗料ライン３に原料塗料を送出する原料ポンプ３０と、希釈液ライン４に希釈液を送出する希釈液タンク６とを備える塗料供給装置１であって、入力信号に基づいて希釈液ライン４を開閉する開閉バルブ４０と、開閉バルブ４０の作動を制御する制御装置４１とを備え、制御装置４１は、開閉バルブ４０を開閉制御することにより、原料塗料に混合される希釈液の流量を調整可能に構成されている塗料供給装置１である。 （もっと読む）

【課題】排出口から粉体材料が垂れ落ちることを防止し、均一且つスムーズに供給可能なスクリュー型材料供給装置を提供する。
【解決手段】粉体材料Ｐを収容するホッパーＨの下方に、先端を開放したトラフケーシングＴ及びスクリュー羽根Ｗを周設した回転軸Ｓを設けたスクリュー型材料供給装置において、前記排出口Ｔ１に配置され、且つ、前記回転軸Ｓが貫通される軸孔を開設すると共に、前記トラフケーシングＴの排出口Ｔ１を封止可能な回転押え蓋１と、前記回転押え蓋１の軸孔を貫通して前記回転軸Ｓが前方に延設され、且つ、この延設された回転軸Ｓの延設部Ｓ１に固定して、該回転軸１と共回転されるバネ受部２と、前記バネ受部２と回転押え蓋１との間に介在して連結され、前記回転押え蓋１を排出口Ｔ１に向けて弾性付勢してなる弾性バネ３と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 糊液供給ポンプへの駆動電力の供給を安全に行うことのできる糊液供給装置を得る。
【解決手段】調整した糊液を収容する糊液供給容器本体と、容器本体の上部開口縁に掛止される中皿部と、糊液を送給する糊液供給ポンプと、糊液供給ポンプへの電力供給を制御するコントローラとを備えた糊液供給装置であって、中皿部には中央領域と周囲の環状領域とを区画する環状隔壁が形成され、記コントローラは区画された中央領域の半分より大きな平面領域を占めると共に環状隔壁の一部の内周壁に略合致する部分外壁を備え、この略合致する部分外壁を中央領域の内周壁に沿わせて着脱可能に固定されているもの。 （もっと読む）

【課題】複数の塗布液容器の切換えをして、塗布生産を継続して長時間行うにあたって、塗布液の粘度が塗布液容器ごとに大きく異なっても、塗布膜厚分布が均一になるように、切換前後の塗布液の混合比率を徐々に変えつつ、高精度に塗布液を塗布器に供給することと、空気の混入なく、塗布液容器塗布液の切換えを可能とする、簡便な構成でかつ、低コストな塗布液供給装置及び供給方法、ならびにこれらを用いた塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液４０Ａ，４０Ｂを貯える複数の塗布液容器２Ａ，２Ｂから送出される塗布液の量を、それぞれ調整する複数の静的流量調整手段９Ａ，９Ｂと、それに連通し、該複数の塗布液容器から送出された塗布液を合流させる合流手段１０、および該合流手段の下流に配置され、合流後の塗布液を送出する送液手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎に吐出量を測定した後、そのバラツキを補正することにより、駆動電圧を変更することなく、ノズル毎の吐出バラツキによる濃度むらが発生し品質低下しない、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができる吐出パターン生成装置を提供すること。
【解決手段】ノズル及び被吐出基板のパラメータ情報から有効なノズルを選択する手段と、有効なノズルから吐出するインクのドロップ数の増減数をざらつき感を軽減した乱数を用いて決定する手段と、有効なノズルから前記ドロップ数を増減するノズルをランダムに選択する手段とを具備する吐出パターン生成装置であって、複数のノズルを有する複数のノズルヘッドからなる吐出パターン生成装置が、ノズルヘッドごとに、ノズルから一回に吐出するインクの吐出量を設定する手段を具備する吐出パターン生成装置。 （もっと読む）

【課題】 工程時間を短縮することができる塗布装置及びコーティング液の塗布方法が開示される。
【解決手段】 第１洗浄部で塗布工程を準備して固定ユニットの上部に第１被処理基板を導入する。第１洗浄部から固定ユニットの第１方向に沿って塗布ユニットを移送しながら前記第１被処理基板の表面を塗布する。第２洗浄部で塗布工程を準備する間、第１被処理基板を除去して第２被処理基板を導入する。第２洗浄部から第１方向と反対方向である第２方向に沿って第２被処理基板の表面を塗布する。塗布工程時間を短縮することにより、費用を節減することができる。 （もっと読む）

【課題】膜厚形状が均一かつ品質が良好な膜を形成できるインク吐出装置およびインク吐出方法を提供する。
【解決手段】インク吐出装置において、ヘッド７は、カラーフィルタ基板上に設けられた表示用ドット領域１７内に、ノズル１０を介してインクを吐出する。インク吐出領域認識部は、表示用ドット領域１７の形状および大きさを認識する。インク吐出部は、インク吐出領域認識部１０による認識結果に基づき、表示用ドット領域１７内のインク吐出領域にインクを着弾させるように、ヘッド７を制御する。また、インク吐出領域１７の中心と、表示用ドット領域１６の中心とは、略一致している。さらに、インク吐出領域１７の縦幅Ｙ１と、表示用ドット領域１６の縦幅Ｙ３との比が、０．７〜０．９の範囲にある。さらに、インク吐出領域１７の横幅Ｘ１と、表示用ドット領域１６の横幅Ｘ３との比が、０．７〜０．９の範囲にある。 （もっと読む）

本発明は、液滴アクチュエータにおける液滴分配のための構造および方法の非限定的な実施例を提供する。本発明の液滴アクチュエータ構造および方法は、先行技術の液滴アクチュエータに勝る多くの利点を呈する。各種実施形態において、本発明の構造および方法は、既存の液滴アクチュエータと比較して、とりわけ、改良された効率、スループット、スケーラビリティおよび／または液滴均一性を提供する。さらに、実施形態によっては、液滴アクチュエータは、流体および／または液滴をロードおよび／またはアンロードする改良された方法のための構成を提供する。さらに他の実施形態では、液滴アクチュエータは、多数の流体リザーバを実質的に同時におよび／または実質的に経時的にロードするための流体をロードする構成を提供する。 （もっと読む）

【課題】気泡除去手段内を流れる機能液の気泡の除去を確実に行うことができる機能液供給装置の制御方法等を提供する。
【解決手段】加圧送液により機能液を供給する機能液タンク１８１から機能液滴を吐出するインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドに至る機能液流路１３１に、気体透過膜により隔てられた内部機能液流路２２６および減圧室２２７を有し、気体透過膜を介して機能液から減圧室に溶存気体を透過させてマイクロバブルを除去する気泡除去手段１３５を介設した機能液供給装置の制御方法であって、内部機能液流路を流れる機能液の流量を測定する流量測定工程と、流量測定工程の測定結果に基づいて、減圧室の真空度を制御する真空度制御工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式プリンタに標準装備されている各種検出機器以外の特別の装備を利用せずに、リークの有無を判断できるような仕組みを提供すること。
【解決手段】記録ヘッドと、タンクと、流路と、記録ヘッドの温度を検出する温度検出手段と、圧力が閾値に到達しているか否かを検出する圧力検出手段と、加圧された空気をタンクへ送入し、タンク内の液体を記録ヘッドへ供給する液体供給手段と、タンクの圧力が閾値を上回ってから閾値を下回るまでの実時間を特定するとともに、検出された温度と空気の体積とを基に、漏洩の有無の閾値となる許容時間を特定し、実時間と許容時間との関係に応じて漏洩の有無を判断する判断手段とを備えていることを特徴とする液体吐出装置。 （もっと読む）

【課題】キャリッジ上にインクカートリッジなどの流体貯留部を配置した、いわゆるオンキャリッジタイプの流体噴射装置において、流体貯留部から流体噴射ヘッドに流体を良好に供給する。
【解決手段】インクカートリッジ７が気密状態の収容空間７３を有するように構成するとともに、インクを貯留したインクパック７１が収容空間７３に収容されている。そして、キャリッジ６の移動に応じてポンプ８を作動させ、収容空間７３に対して空気を送り込んで収容空間７３内の圧力を高める。したがって、インクパック７１内のインクを確実に記録ヘッド５側に送り出すことができ、インクパック７１内へのインクの残留を効果的に防止することができ、インクを無駄なく消費することができる。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドのフィルタに気泡や固形分が溜まることを防止することができる流体充填方法、流体噴射装置を提供する。
【解決手段】流体噴射ヘッド３４のノズル開口面までインクを導く流体流路Ｒにインクの異物を取り除くフィルタ１２１を備え、流体流路Ｒにインクを充填する方法において、インクを充填する際にインクに高周波微振動を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 塗布材の粘度変化を生じさせず、気体の混入を防止し、しかも塗布材に加えられる圧力を一定に保持する。
【解決手段】 塗布材を収容するメインタンク（１）と、該メインタンク（１）から塗布材が上部部分に供給され、供給された塗布材を下部部分からインクジェットヘッド（５）に供給する、チューブ状の弾性体からなるサブタンク（４）と、メインタンク（１）とサブタンク（４）を連通する連通路（２）に介在された開閉バルブ（３）と、サブタンク（４）の上部部分に接続されたエア抜き部材（９）とサブタンク（４）に負圧を付加する為の負圧室を構成するケーシング部材（１０）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ワークの種類や大きさが異なる場合でも、基準マークの位置認識時間を短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置１は、一対の基準マークＭの位置が異なる複数種のワークＷに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７を主走査方向に相対的に移動させて描画を行なう描画手段と、給材された各ワークＷをプリアライメント状態にセットすると共に各ワークＷに対しθ補正によるアライメント動作可能に構成されたワークステージ２１と、副走査方向に延在する帯状の認識可能領域８４を有し、一対の基準マークＭを画像認識する画像認識手段８０と、認識結果に基づいて、ワークステージ２１をアライメント動作させるアライメント制御手段と、ワークステージ２１に対し、各ワークＷを除給材する除給材手段７０と、を備え、除給材手段７０は、主走査方向において、一対の基準マークＭが認識可能領域８４と合致する位置に各ワークＷを給材する。 （もっと読む）

【課題】プリウエット効果が安定して得られ、レジスト膜厚の均一性を向上させることができるとともに、レジスト塗布処理装置毎のプリウエット効果のばらつきを軽減できるレジスト塗布処理方法を提供する。
【解決手段】コントローラ９から発信されたダミー吐出信号に応じて、レジスト塗布手段にレジストを吐出させて、ダミー吐出信号が発信された発信時点とレジストが吐出された吐出時点との時間差である遅延時間をコントローラ９に算出させるダミーディスペンス工程と、プリウエット溶剤をウェハ３上に塗布し、所定時間よりも遅延時間分短い乾燥時間でプリウエット溶剤の乾燥処理を終了させるプリウエット工程と、乾燥処理が終了したことに応じてコントローラ９から発信されるレジスト吐出信号に応じて、レジスト塗布手段にレジストを吐出させて、ウェハ３上にレジストを塗布するレジスト塗布工程とを備えるレジスト塗布処理方法とする。 （もっと読む）