【課題】塗料供給を均一にして、厚さが十分に均一な塗膜を形成することができる塗布装置およびこの塗布装置をもちいる機能性支持体の製造方法を提供する。
【解決手段】塗料タンクとダイコータとが配管で接続され、該配管途中に設けられたポンプにより前記塗料タンクに収容した塗料をダイコータへ供給することによりダイコータから塗料を支持体に吐出し、支持体表面に塗膜を形成する塗布装置において、前記ポンプと前記ダイコータとの間の配管に分岐を設け、該分岐端に所定の体積以上の空気室が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット装置を用いて蛍光体インクを塗布する際に、圧力室内での蛍光体微粒子の凝縮および沈殿を抑制できるようにする。
【解決手段】インクジェット装置を用いて蛍光体インク７を塗布する。このインクジェット装置は、水平方向に延びる圧力室４を有し、圧力室４の一端側に供給孔５から蛍光体インク７を供給し、圧力室４の他端側からノズル孔６を通じて蛍光体インク７を液滴として吐出するインクジェットヘッド１を備えている。供給孔５は、複数設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板に液晶を滴下する際の時間的な効率を向上させた液晶滴下装置を提供する。
【解決手段】ヘッド１０１は、液晶２０１が滴下されたガラス基板２００がステージ１１１から搬出され、次に、液晶２０１が滴下されていないガラス基板２００がステージ１１１に搬入されるまでの期間内に、制御装置１６０の制御に基づいて、ステージ１１１の上方からカップ１４２の上方へ移動し、当該カップ１４２へ液晶２０１を滴下するとともに、ステージ１１１の上方へ戻る。 （もっと読む）

【課題】ワークの平面精度を維持および荷搬重量を低減により、装置を小型化すると共に、搬送時の加減速の応答性向上が可能なワーク移動テーブル等を提供する。
【解決手段】このワーク移動テーブルは、テーブルベース２２の上面に分布させて上向きに設けられ、板状のワークＷを気体浮上させる複数のベルヌーイチャックと、複数のベルヌーイチャックに作動気体を供給する作動気体供給手段と、複数のベルヌーイチャックにより気体浮上させたワークＷを、テーブルベース２２のＸ軸方向に沿う両側に配設した一対のガイドレールにスライド自在に搭載した一対のスライダにより移動させるＸ軸移動機構２５を有している。 （もっと読む）

【課題】ワークの平面精度の維持および荷搬重量の低減により、搬送時の加減速の応答性向上が可能なワーク移動テーブル等を提供する。
【解決手段】このワーク移動テーブルは、テーブルベース２２の上面に分布させて上向きに設けた複数のベルヌーイチャックと、複数のベルヌーイチャックに作動エアーを供給する作動エアー供給手段と、複数のベルヌーイチャックによる浮上間隙を存して上方に配設され、ワークＷがセットされるワークセットプレート２４と、エアー浮上させたワークセットプレート２４を、Ｘ軸方向にスライド自在に移動させるＸ軸移動機構２５と、を備え、ワークセットプレート２４には、複数のベルヌーイチャックの負圧をワークＷに作用させる複数の負圧連通孔が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 微小な圧力変動による脈動を吸収できる送液方法、送液システムを提供する。
【解決手段】
塗布液１４を送液配管４２に送液し、送液配管４２の一部に設けられた振動伝播を抑制するオリフィス５４を通過させ、ダイアフラムで隔離された１次室と２次室を備える脈動吸収装置５６を通過させ、塗布液をスロットダイ１２から走行する支持体Ｗ上に塗布する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出処理かかるサイクルタイムを短縮させる。
【解決手段】パターンデータに基づいて、液滴の吐出タイミングを制御する吐出データを作成するとともに、前記吐出データに基づいて、基材に向けて液滴を吐出させる液滴吐出装置であって、前記基材の位置を検出する位置検出部と、前もって設定された前記基材の位置と前記位置検出部で検出された前記基材の位置とのずれ量を演算するとともに、前もって用意され、前記ずれ量に対応する前記パターンデータが補正された補正パターンデータを抽出し、前記補正パターンデータに基づいて、前記吐出データを作成する制御部と、前記吐出データに基づいて、前記基材に向けて液滴を吐出する吐出ヘッドと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 顔料などの沈降粒子を液体中に均一に分散し、撹拌時に発生する気泡を塗布液供給路、液滴吐出部に供給しない液体収納容器を提供する。
【解決手段】 沈降粒子を含む液体を収納する液体収納容器において、一定方向に攪拌し、かつ液体供給口を攪拌方向の下流側に向け、液体を液滴吐出部に供給すること、さらに印刷動作時よりも液滴吐出部から多量の溶液を出す動作命令と同時に、撹拌を中断する。 （もっと読む）

【課題】１画素あたりの液滴量のばらつきを軽減することができる濃度補正システムを提供する。
【解決手段】記録媒体を搬送する搬送手段１０６と、画像データに基づいて前記記録媒体に対してマルチドロップ駆動方式でインクを吐出する第１のインク吐出手段１０４と、前記画像データに基づいて前記記録媒体に対してマルチドロップ駆動方式でインクを吐出し、１ドロップあたりの体積が前記第１のインク吐出手段よりも小さい第２のインク吐出手段１０５と、画像形成された前記記録媒体における１画素の液滴量を構成する前記第１のインク吐出手段のドロップ数および前記第２のインク吐出手段のドロップ数を補正する制御手段１０１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 膜の厚さ精度が高く、かつ、表面が平滑で塗布ムラのない塗布膜を得ることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】長手方向に走行するウエブ１６を外周面で支持するバックアップローラ２０と、バックアップローラ２０と一定間隔を離れて対向配置され、塗布液をウエブに供給する塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８とバックアップローラ２０とを上面で支持する一の架台３０と、架台３０の底面に設けられたアクチュエータ３３と、ウエブ１６の張力によるバックアップローラ２０が受ける力の方向を、水平に対して５０°〜７０°の角度となるよう、ウエブ１６をバックアップローラ２０に案内するパスローラ１４とを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式を含む液滴吐出方式によって液状体を塗布してなる電気光学パネルに、滴下（塗布）ムラが生じない液状体の液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】走査方向Ｘに交差する方向Ｙに間隔を開けて配された複数のノズル５４を有する液滴吐出ヘッド５２を、前記走査方向に走査して前記複数のノズルのそれぞれから液晶材料を含む液滴を吐出する方法であって、前記液滴を塗布する基板の塗布エリア１０２の全面に前記液滴吐出ヘッドにより前記液晶の液滴を吐出する。 （もっと読む）

【課題】 各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく検出すること。
【解決手段】 液滴塗布装置１において、塗布ヘッド５の各ノズルＮから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Ｋに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、検査部７が求めた検査溶液の各液滴Ｅの着弾面積Ａに基づいて、各ノズルＮからの検査溶液の各液滴Ｅの着弾面積Ａが互いに同一になるように各ノズルＮからの検査溶液の吐出量を調整するもの。 （もっと読む）

【課題】本発明は塗布ヘッドの吐出口および吐出口面に付着したペーストを清浄する清浄装置であって、清浄により発生する塗布ヘッドの吐出口及び吐出口面への傷を抑制できる塗布ヘッド清浄方法および塗布ヘッド清浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】塗布ヘッドの吐出口近傍の吐出口面に付着した塗液を清浄する塗布ヘッド清浄方法であって、一回の塗布動作ごとに、粘着テープを該吐出口近傍の吐出口面に略垂直方向に接近させ当接させた後略垂直方向に引き離す押し当て動作を行い、一回の塗布動作ごと、または複数回の塗布動作ごとに、溶剤を含浸させた拭き取り部材を該吐出口近傍の吐出口面に当接した状態で該拭き取り部材と該吐出口面を相対的に移動させる摺動動作を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用い、ガラス基板を真空吸着によってバキュームテーブル上に密着させた状態でフォトレジストを塗布しても、バキュームテーブルの開口部に起因した膜厚のムラのないフォトレジストの塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板の温度を測定する手段５０を有し、バキュームテーブル３１の温度とガラス基板２２の温度との温度差が、予め設定した範囲内になった時に、フォトレジストの塗布を開始すること。ガラス基板の温度を測定する手段の手前に、ガラス基板の温度を所定の温度にする手段を設けたこと。温調バッファ装置６４を設けたこと。制御システムを有すること。 （もっと読む）

【課題】新旧機能液の置換を短時間で行うことができると共に、新機能液をエアーに接触させることなく充填することができる機能液供給装置の機能液置換方法および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】メインタンク１８１からサブタンク１２１を経てインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７に至る機能液供給装置の機能液流路に機能液を充填したまま、機能液流路の機能液を新旧置換する機能液供給装置の機能液置換方法であって、メインタンク１８１を旧機能液のものから新機能液のものにシフトすると共に、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズルから機能液を吸引してサブタンク１２１から所定量の機能液を抜き取る抜取り工程、およびメインタンク１８１からサブタンク１２１に所定量の機能液を送液する送液工程から成る部分置換工程を、所定の繰返し回数繰り返して機能液を新旧置換すること。 （もっと読む）

【課題】塗布位置精度及び塗布量精度の低下を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置１において、塗布対象物Ｋの塗布面Ｋａ上の塗布区画に向けて液滴を吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを塗布面Ｋａに沿う方向に相対移動させる移動機構３，４と、液滴が着弾した塗布区画を撮像する撮像部７と、塗布位置情報及び塗布量情報を記憶する記憶部８ａと、その塗布位置情報及び塗布量情報に基づいて、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させて液滴を順次吐出する塗布動作を行うように塗布ヘッド５及び移動機構３，４を制御する手段と、塗布動作の実行中に、液滴が着弾した塗布区画を順次撮像するように撮像部７を制御する手段と、順次撮像した塗布区画の画像を用いて塗布位置のズレ及び塗布量のズレを求め、前述の塗布位置情報及び塗布量情報を補正する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】地震発生時に、地震発生情報を装置内の制御部に取り込み、所定以上の震度の地震である場合、装置を所定の状態にした後電源遮断することで、装置及び基板の破損を防止し、停止直前の状態を記録しておくことで、再調整時間を短縮したペースト塗布機を提供する。
【解決手段】ノズルから所定量のペーストを吐出しながら基板９とノズルを相対移動させて、基板上に所定のペーストパターンを塗布するペースト塗布機において、制御部１８に外部から地震情報を取り込み、その大きさを判別する判別部を設け、ペーストを塗布している時に、制御部１８が地震発生の情報を受信すると、その地震の大きさを判別し、所定の大きさ以上の地震であると判断した場合に、塗布を中断すると共に、中断前の塗布状態を記憶部に記録し、塗布ヘッドを基板面から所定距離、離間して待機させた後に電源を遮断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 記録ヘッド内に溜まった空気を除去する際に、空気とともに排出されるインクの量を低減することができる記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを吐出する吐出口と、吐出口にインクを供給するための第１の液室と、第１の液室にインクを供給するための第２の液室と、第１の液室内の上部に配され気体を集める気体溜め部と、気体溜め部から流体を排出する排出口と、第１の液室と圧力差を設けることにより第１の排出口を介して第１の液室から流体が移動されるポンプ室と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ヘッドノズルからの溶液吐出量が増大した場合であっても、溶液室に印加される供給圧力を適正圧力に維持し、溶液の吐出量を高精度に制御可能なインクジェット式塗布装置を提供することを課題とする。
【解決手段】制御部２１９は、溶液室内の水頭値（溶液室に印加される供給圧力）の変化を、データ化されたドットパターンに基づいて予測するとともに、予測した溶液室内の水頭値の変化に対応してエアポンプ２０４を制御し、供給タンク２０２内の水頭値を変化させて、溶液室内の水頭値を適正圧力に維持する。 （もっと読む）

【課題】液柱パイプの内面に付着した液滴による液位センサの誤検出を、有効に防止可能な機能液タンクの管理方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】機能液供給手段から供給された機能液を貯留し、機能液滴吐出ヘッド１３に送液するタンク本体と、タンク本体の上部・下部に連通した液柱パイプ７３の液位を介してタンク本体内の機能液の液位を検出する液位センサ７４ｃと、を備えている。そして、液位センサ７４ｃの検出結果に基づいて、所定の液位範囲を維持するように機能液供給手段を制御し、機能液滴吐出ヘッド１３の非吐出動作時において、機能液供給手段を駆動し、液位範囲を越えて機能液を過剰供給する液位上昇工程Ｓ１を実施し、その後、タンク本体から機能液を流出させ、タンク本体の液位を液位範囲に戻す液位下降工程Ｓ２を実施する。 （もっと読む）