【課題】低粘度塗工液を用いて基材の表面に高精度の均一な塗膜塗工が可能であり、振動などの外乱を受ける状況でも安定した高精度均一塗工が実施できる、ダイヘッドを用いた塗布装置を提供する。
【解決手段】塗工液６の塗布量を決定するための塗布量制御パラメータに基づいて塗工液の塗布量を制御する塗布量制御装置１０と、基材２に塗工された塗工液の塗布膜厚と相関性を持つ状態量をリアルタイムに測定する状態量検出機構１２と、状態量に応じて予め定められた塗布量制御パラメータを記憶する制御量記憶手段１４とを備える。塗布量制御装置１０は、状態量検出機構１２によって測定された状態量に対応する塗布量制御パラメータを制御量記憶手段１４から特定すると共に、特定した塗布量制御パラメータに基づいて塗布量の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 塗布作業と平行して塗布材の流速等を計測して塗布材の流量制御ができるようにする。
【解決手段】 塗布材が吐出されるスリット２０を備えたダイヘッド１６と、ダイヘッド１６に塗布材を圧送するポンプ１２と、ダイヘッド１６とポンプ１２とを接続する配管２５の途中に設けられて、スリット２０を流動する塗布材の流量に対応した寸法に形成された計測チャネル及び該計測チャネルを流動する塗布材の動的特性を計測するセンサを備えた計測部１４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに構成されるとともに、シリンジポンプから塗料を高精度で吐出することが可能な塗装装置を提供する。
【解決手段】塗装装置１０は、シリンジ本体１１０と塗料吐出部１２０とピストン部１３０とを有するシリンジポンプ１００と、シリンジポンプ１００を着脱自在に把持するポンプ把持ユニット２００と、シリンジポンプ１００のピストン部１３０に当接して押圧するピストン押圧ユニット３００とを備えている。吐出駆動ユニット４００は、ピストン押圧ユニット３００を駆動するサーボモータ４１０を有している。制御ユニット４５０は、サーボモータ４１０からのエンコーダ値によって、シリンジポンプ１００のピストン部１３０の速度および位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】泡の加熱効率の悪化を抑制する。
【解決手段】処理液タンク２０Ａに収容された処理液３４を泡３２にして塗布ローラ２０Ｃへ供給する泡供給手段２０Ｂと、塗布ローラ２０Ｃが用紙１２に塗布した泡３２以外の余剰泡３２Ａを回収する回収手段７０と、回収された余剰泡３２Ａを貯留する第２貯留室７２と、第２貯留室７２を加熱して貯留された余剰泡３２Ａを処理液に戻す加熱装置７４と、第２貯留室７２内に洗浄液を供給して貯留する洗浄液供給路７５と、液状に戻された処理液及び洗浄液を処理液タンク２０Ａへ流入させる還元流路７６と、を有する。 （もっと読む）

【課題】間欠塗工装置における間欠塗工時にスロットダイの刃先と基材間の距離を狭めたとしても液ダレを発生させることなく正常な面状を確保できる技術の提供を課題とする。
【解決手段】塗液貯蔵手段と、塗液を吐出して基材上に塗膜を形成するスロットダイと、前記塗液貯蔵手段と前記スロットダイとを結ぶ送液経路と、前記塗液貯蔵手段から前記スロットダイへ前記送液経路を介して塗液を送る送液手段（ポンプ）と、前記貯蔵手段から前記スロットダイへの塗液供給を中断することができる間欠機能を備え、前記スロットダイの刃先と前記基材との間に塗工時に形成されるビードの上流側が、当該ビードの下流側よりも気圧を高く保つことのできる加圧機能を備えていることを特徴とする間欠塗工装置とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布液を塗布する際に、塗布液の供給量を少量に抑えつつ、基板面内で均一に塗布液を塗布する。
【解決手段】回転中のウェハ上に溶剤を供給し、ウェハを第６の回転数で回転させて溶剤を拡散させる（工程Ｓ１）。ウェハの回転を第１の回転数まで加速させ、第１の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ２）。ウェハの回転を第２の回転数まで減速させ、ウェハＷを第２の回転数で回転させる（工程Ｓ３）。ウェハの回転を第３の回転数までさらに加速し、第３の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ４）。ウェハの回転を第４の回転数である０ｒｐｍ超５００ｒｐｍ以下まで減速させ、第４の回転数で１〜１０秒間ウェハを回転させる（工程Ｓ５）。ウェハの回転を第５の回転数まで加速し、第５の回転数でウェハを回転させる（工程Ｓ６）。工程Ｓ２から工程Ｓ３の途中まで、あるいは工程Ｓ２の間ウェハの中心にレジスト液を連続的に供給する。 （もっと読む）

【課題】ダイヘッドを用いて基板の表面に塗布液を塗布する場合に、高品質な塗布膜を実現する塗布方法を提供する。
【解決手段】ダイヘッド内部の塗布液を戻り配管を介して供給タンクへと循環させる流量を、その流量によって除去できる沈降物の量が、粒子の沈降速度から算出される沈降量以上になる流量で循環させて、塗布欠陥のない高品質な塗布膜を実現する。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗工液を塗工する場合でも、コンマ型ロールのベンディングを調整できる塗工装置を提供する。
【解決手段】リバース型塗工装置１０において、コンマ型ロール１２の幅方向の中央部の上方に配され、ロッド６４によってコンマ型ロール１２の上部を規制して、コンマ型ロール１２の上方へのベンディングを規制する規制装置４８を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の所定の塗布パターンで、粘着剤をシート状基材に塗布することができ、また、気泡シートの付加価値などを向上させることができ、さらに、粘着剤をシート状基材に薄く塗布することができる粘着剤塗布装置、粘着剤塗布方法、粘着剤付き気泡シートの提供。
【解決手段】シート状基材１１の幅方向に対応して配設され、粘着剤塗布のオンオフを制御する複数の開閉弁及び粘着剤塗布手段３本体を有し、かつ、前記開閉弁に対応する所定の塗布幅及び所定の塗布位置、並びに、前記粘着剤塗布のオン時間に対応する所定の塗布長さを有する一又は二以上の塗布領域に、粘着剤を塗布する粘着剤塗布手段３と、この粘着剤塗布手段によって、前記粘着剤の塗布される転写ベルト２と、前記粘着剤の塗布された前記転写ベルト２に、走行する前記シート状基材１１を押圧し、該シート状基材に前記粘着剤を転写させる押圧ローラ４とを備えたことを特徴とする粘着剤塗布装置１。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく、塗布ローラの表面の磨耗差による段差の発生を抑えることができる液体塗布装置、および、その液体塗布装置を備えた記録装置を提供すること。
【解決手段】塗布ローラ１１の表面と回収部２９Ａとの間にクサビ形状の空間領域を形成し、その空間領域は、塗布液が残る領域Ｂ２から塗布液がほとんど無くなる領域Ｂ１に向かってクサビ角度が小さく変化する領域Ｃを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの液体の溶媒の揮発をより効果的に抑制することが可能な液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル３７が開口したノズル開口面を有し、前記ノズル３７に連通する圧力室３５に液体を充填し、当該圧力室３５内の液体に圧力変動を付与することにより前記ノズルから液滴を噴射可能な液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置であって、加湿用液を前記ノズル開口面側に供給する加湿用液供給手段を備え、前記ノズル開口面における前記ノズルの開口から外れた位置に、前記加湿用液供給手段からの加湿用液が供給される加湿用穴４５が形成され、前記加湿用穴４５は、前記加湿用液を表面張力によって保持する。 （もっと読む）

【課題】ポリイソシアネート成分の温度を容易に制御することができる二液硬化型無溶剤系接着剤供給装置を提供すること。
【解決手段】
ポリイソシアネートを含有し、溶剤を含有しないポリイソシアネート成分と、ポリオールを含有し、溶剤を含有しないポリオール成分とを混合することにより二液硬化型無溶剤系接着剤Ｌを調製し、無溶剤型ラミネータ２０に供給する供給装置１において、ポリイソシアネート成分とポリオール成分とを混合する混合部４と、ポリイソシアネート成分を貯留するポリイソシアネートタンク５と、ポリイソシアネートタンク５と混合部４とに接続されるポリイソシアネート供給ライン６と、そのポリイソシアネート供給ライン６を加熱するヒータ７とを備える。 （もっと読む）

【課題】基材上の画像に容易に視覚効果を付与する。
【解決手段】インクジェットプリンタでは、有色インク吐出部から基材９上に吐出される有色インクに紫外線が照射されることにより多視点画像である画像層９３が形成され、透明インク吐出部から画像層９３上に吐出される透明インクに紫外線が照射されることにより画像層９３上にレンチキュラーレンズであるレンズ層９５が形成される。レンズ層９５は、所定の膜厚のスペーサ層９６、および、複数のシリンドリカルレンズ９７１を有するマイクロレンズ層９７を備える。インクジェットプリンタによる印刷物９０の形成では、マイクロレンズ層９７と画像層９３との間にスペーサ層９６を設けることにより、複数のシリンドリカルレンズ９７１の焦点を画像層９３上に容易に合わせることができる。その結果、基材９上の画像に視覚効果を容易に付与することができる。 （もっと読む）

【課題】レンズを充分にかつ正しい色で染色する。
【解決手段】プラスチックレンズを被染色面が露出する状態で搬送する搬送装置１５と、前記被染色面と対向する位置に配設されて被染色面に濡れ性が向上する改質処理を施す改質装置（コロナ放電処理装置２１）とを備える。前記改質装置より搬送装置１５の搬送経路の下流側であって前記被染色面と対向する位置に配設され、前記被染色面に染料の粒子を飛ばして付着させる染料噴出装置（インクジェット装置２２）とを備えた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式による基板への機能性液の打滴が最適化され、好ましい微細パターンを形成し得る液体塗布装置及び方法並びにインプリントシステムを提供する。
【解決手段】ノズル(51)がマトリクス配置されたヘッド(24)を用いたレジスト塗布装置(12)において、基板(20)の搬送方向(y方向)と直交するx方向の標準の打滴ピッチP_dをノズルの折り返しピッチとし、x方向の最小ノズル間ピッチP_nの単位でx方向の打滴ピッチを変更する。また、y方向について、最小打滴周期のm倍(mは2以上の整数)を標準の打滴周期として、最小打滴周期の単位でディレイ時間を設定する。シリアル方式では、y方向に沿って並べられた複数のノズルを切り換えることでｙ方向の打滴間隔を変更することができ、x方向に走査する際の打滴タイミングを変更することで、x方向の打滴間隔を変更することができる。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける吸引口の目詰まりを除去する作業を装置内で随時あるいは適時に自動的かつ効率的に行うこと。
【解決手段】浮上ステージ吸引口掃除動作において、コントローラは、塗布処理に関係する動作をいったん全てオフ状態にしてから、第２給気部を作動させる。第２給気部が作動することによって、正圧気体供給源からのエア（圧縮空気）が第１給気ラインおよび第２マニホールド６４を経由して塗布領域内の各吸引口１８に送り込まれる。目詰まりを起こしている吸引口１８においては、第２マニホールド６４側からのエアの圧力により、ガス通路１８ａに挟まっていた異物Ｑが押し出されるようにして上方へ放出される。この時、第１給気部４４も作動しているので、吸引口１８より吐き出された異物Ｑが付近の噴出口１６に入るおそれはない。 （もっと読む）

【課題】塗布液の省量化及び装置の小型化を図り、基板である半導体ウエハＷ上の塗布膜の膜厚について高い均一性を得ること。
【解決手段】ウエハＷを基板保持部であるスピンチャック２に略水平に保持させ、塗布ノズル４の吐出口４１を、前記ウエハＷに対して近接させた状態で相対的に移動させながら、前記吐出口４１から毛細管現象により塗布液を引き出してウエハＷに塗布する。毛細管現象を利用して塗布液を塗布しているので、塗布液の省量化及び装置の小型化を図ることができる。この後ウエハＷ上の塗布液がウエハＷから飛散しない回転数で当該ウエハＷを回転させることにより、ウエハＷ上の塗布膜の膜厚の面内均一性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】マルチドロップ方式でインクジェットヘッドの駆動を行う場合の記録品質を向上する。
【解決手段】制御部２２は、インクジェットヘッド１において、１画素に対して１ドロップだけ吐出する場合は、そのインクドロップの吐出速度が、１画素に対して複数のインクドロップを吐出する場合の１ドロップ目の吐出速度よりも速くなるように、１画素に対して複数のインクドロップを吐出する場合の各インクドロップを吐出するための通常波形とは異なる駆動波形を用いて吐出駆動を行うようにヘッド駆動部２１を制御する。 （もっと読む）

【課題】流体を受容する吸収部材として線状のものを用い、これを移動させる場合において、その走行速度（移動速度）の安定化を図ることでヘッドや記録媒体（記録紙）の汚れを防止し、さらには吸収部材の使用効率の低下も防止した、流体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズルからなるノズル列を有し、ノズル列から流体を噴射する流体噴射ヘッド２１を備えた流体噴射装置である。ノズル列に沿って延在するとともに、ノズル列の一方側から他方側に向かって移動可能に設けられ、ノズルから噴射された流体を吸収する線状の吸収部材１２と、吸収部材１２をノズル列の一方側から他方側に向かって走行させる走行機構１３と、走行機構１３によって走行する吸収部材１２の走行速度を検出する検出機構と、検出機構で検出された吸収部材１２の走行速度に基づき、走行機構による吸収部材１２の走行速度を調整する調整部１２と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】 ユーザーがメンテナンスの必要性を感じないようなときも例外なく毎回自動的にメンテナンスが実施されてしまい、ユーザーにとって使い勝手がよくなかった。
【解決手段】 ノズルから吐出されるインクの吐出状態を示す実測値を測定し、正常状態と不安定吐出状態と目詰まり状態との三つの状態のうち前記インクの吐出状態がいずれであるかを前記実測値を用いて判定し、前記不安定吐出状態のノズルが存在すると判定されると、前記不安定吐出状態の発生状況の目視チェックに用いるノズルチェックパターンを含むチェック画像を印刷し、前記チェック画像を印刷した後、前記不安定吐出状態を解消するためのメンテナンスの実施の要否を示す前記ユーザーの指示を受け付け、前記ユーザーの指示が前記メンテナンスの実施が必要とする旨の場合に、前記メンテナンスを実施する。 （もっと読む）