【課題】接着剤塗布ラインの進行を妨げることなく、接着剤の試し塗布工程を円滑に推進可能な接着剤塗布装置を得る。
【解決手段】対象物が載置されて該対象物に接着剤２５が塗布される本塗布ステージ１９と、接着剤２５が試し塗布される試し塗布ステージ２１との間を相対移動可能に設けられて接着剤２５の本塗布動作又は試し塗布動作を行う接着剤塗布ヘッド（塗布部）１７と、試し塗布ステージ２１に設けられて試し塗布された接着剤２５の吸引動作を行う吸引ポンプ（吸引部）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造にて配管部に沈降した内在物を再度分散または溶解する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル２４から基板７に機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッド２０と、液滴吐出ヘッド２０に供給する機能液を収容する収容タンク１６と、収容タンク１６から液滴吐出ヘッド２０へ機能液３２を流動させる第２チューブ２９と、第２チューブ２９の少なくとも一部を揺動または振動させるヘッド昇降装置１８と、基板７と液滴吐出ヘッド２０とを相対移動させるキャリッジ１３と、を有し、第２チューブ２９の少なくとも一部には緩斜面または水平面が形成されている。 （もっと読む）

【課題】塗布液の選択性を向上させ、多種多様な物性値を有する塗布液を用いても高精度の塗布処理を行うことができる回転塗布装置を提供する。
【解決手段】円形又は多角平面を塗布対象面とした被塗布物２に塗布液を塗布し、この被塗布物２を高速回転させることにより塗布液を拡散させて塗布膜を形成する回転塗布装置１において、被塗布物２を平行支持する平円板状の支持台３と、支持台３と離間を有するようにして平行に対向配置され、支持台３との離間に開放空間Ｓを形成する平円板状の平行平板４とを具備してなり、支持台３及び平行平板４がそれぞれ回転軸６０及び回転軸７０周りに独立して回転駆動される。 （もっと読む）

【課題】液体の塗布を良好に行うこと。
【解決手段】塗布装置１００は、ノズルヘッド１０６に備えられた透過率検出部６０によってノズルヘッド１０６内の液体１２０の光透過率を検出し、その光透過率の値に基づいて、ノズルヘッド１０６内で滞留する気泡の大きさ及び量を判定する。そして、塗布装置１００において、透過率検出部６０によって検出された光透過率の値が第１許容値または第２許容値を超えた後、ノズルヘッド１０６から液体１２０が吐出不能となるまでに、ノズルヘッド１０６を待機位置に移動させてノズルヘッド１０６内に滞留する気泡を除去することができるので、ノズルヘッド１０６に気泡が溜まり過ぎたことによって液体１２０の塗布が中断してしまうトラブルを低減して、液体１２０の好適な塗布を可能にする。 （もっと読む）

【課題】ウエハ搬送機構やノズル移動機構等の各移動機構に対して、夫々の適切な時期に自動給脂を行うことができる塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】制御部８は、移動基体１１に対して給脂を行った後における当該移動基体１１の使用時間を計測し、移動基体１１のガイドレール１０の端部に、給脂機構３ａを設け、以下のタイミングで移動基体１１を給脂機構３ａ側に移動させて給脂を行う。即ち、移動基体１１の使用時間が予め定めた給脂の周期を越えたときに、移動基体１１が準備期間中、または、休止期間中であれば自動給脂を行う。またキャリアＣから一のロットの最終基板が払い出されたときにもキャリアＣから次のロットの先頭基板の払い出しを遅らせ、前記最終基板に関する当該移動基体１１の作業が終了した後、移動基体１１に対して給脂を行う。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を微小な液滴として吐出する場合に尾曳を抑えることが可能な液体吐出装置、及び、液体吐出装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インクの吐出時における静的表面張力が２４ｍＮ／ｍ以上３０ｍＮ／ｍ以内であり、圧力発生室におけるインク粘度が１０ｍＰａｓ以上１７ｍＰａｓ以内であり、ノズルから吐出される液滴の飛翔速度が７ｍ／ｓ以上１１ｍ／ｓ以下となるように、圧力発生手段を制御することで、５ｎｇ以下の重量の液滴をノズルから吐出させることを特徴とする液体吐出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】フィードポンプを用いることなく液体を供給でき、液体の無駄を低減できる送液装置を提供する。
【解決手段】送液装置１０は、貯留容器１１及び１２と、貯留容器１１及び１２を接続する配管１６及び１７（第１の配管）と、貯留容器１２と吐出装置９０内のディスペンスポンプ９２とを接続する配管１８〜２０（第２の配管）と、貯留容器１１及び１２にそれぞれ接続される加圧配管２５及び２６とを備える。吐出装置９０に対する通常の液体供給時には、加圧配管２６から貯留容器１２内へと加圧気体を供給することによって、貯留容器１２内を加圧し、貯留容器１２内の液体を配管１８〜２０を通じてディスペンスポンプ９２へと送液する。一方、貯留容器１２内の液量が減少した際には、加圧配管２５から貯留容器１１内へと加圧気体を供給して貯留容器１１内部を加圧し、貯留容器１１内の液体を配管１６及び１７を通じて貯留容器１２へと送液する。 （もっと読む）

【課題】所定の一様散布精度による小流量の薬剤散布を確保するとともに、大流量の肥料散布を能率良く処理することができる散布機の粒剤散布装置を提供する。
【解決手段】散布機の粒剤散布装置は、薬肥粒剤を収容するタンク（１１）と、その底部から粒剤を定量繰出しする繰出部（１２）と、この繰出部（１２）から受けた粒剤を送風搬送する第１噴管（１３）と、この第１噴管（１３）と連通して粒剤を散布する第２噴管（１４）とを備えて構成され、上記繰出部（１２）は、回転数の個別制御が可能な２つの繰出ロール（１５）を並列に構成するとともに第１噴管（１３）に共に連通することにより、小流量時の一様散布を確保しつつ、高速走行で大流量の粒剤散布が可能となる。 （もっと読む）

【課題】高圧下で液送される高粘性材料であっても精度良く吐出する吐出装置および方法の提供。
【解決手段】高粘性材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、高粘性材料を貯留する貯留エリア、該貯留エリアに高粘性材料を供給するための受入口、および前記吐出ユニットに高粘性材料を送出するための送出口を有する貯留ユニットと、容器に充填された高粘性材料を前記貯留ユニットに第１の圧力で供給する高圧供給ポンプと、を提供し、高粘性材料を定量吐出する方法において、前記高圧供給ポンプおよび前記貯留ユニットを連通する流路にポンプ機構およびバルブ機構を有する液送ユニットを設け、該液送ユニットにより前記第１の圧力よりも低く調整された第２の圧力により前記貯留ユニットに高粘性材料を供給することを特徴とする高粘性材料の定量吐出方法および装置。 （もっと読む）

【課題】モータによってノズルの吐出口のスリット幅を制御可能なノズルユニットであって、ワークと干渉し難い配置でモータがノズルに取り付けられているノズルユニットを提供する。
【解決手段】ワーク９０上に制振材を塗布するノズルユニット１０であって、スリット状の吐出口１２ｅを有し、吐出口１２ｅから制振材を吐出するノズル１２と、ノズル１２に固定されているケース部１４ａと、ケース部１４ａから制振材の吐出方向に伸びる回転軸１４ｂを有するモータ１４と、モータ１４の回転軸１４ｂの回転を、ノズル１２に向かって伸びる第２回転軸１８に伝達する回転伝達手段１６と、第２回転軸１８の回転に応じて吐出口１２ｅのスリット幅を変更するスリット幅変更手段１２ｆを備えている。 （もっと読む）

【課題】溶液を効率よく使用することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】溶液タンク１０２の内部に沈設部材１３０が配置されており、これら沈設部材１３０が溶液タンク１０２に貯留された溶液１５０に沈められる。また、これら沈設部材１３０は、溶液１５０の液面１５１の高さが基準範囲内で維持されるように、高さが調整される。これにより、溶液１５０の液面１５１の高さを溶液供給用管１０８の端部１０９よりも高い位置に維持したり、基準範囲内に維持する場合において、溶液タンク１０２の内部における、高さを維持すべき溶液１５０の液面１５１より下方の部分の容積を減らすことができ、塗布に使用されない溶液１５０の量を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットを使用したインク塗布において、長期にわたり安定な塗布が可能となるほか高価なノズルヘッドの交換時期を延ばすことができる塗布方法および装置を提供する。
【解決手段】インク滴が吐出されるノズル１１と、ノズル１１に連通する圧力室１６と、圧力室１６内のインクに圧力変化を与える圧電素子１４とを含んで構成されるノズルヘッド１０と、ノズルヘッド１０にインクを圧送する圧送機構１７と、圧送圧力を制御する圧送制御部１８とを備えたインクジェット塗布装置を用いて、基板の所定領域にインク液滴を吐出し、塗布する塗布方法であって、インク滴を吐出しない待機時間に、圧送制御部１８を用いてノズル液面を揺動させる圧力を印加するようにしたものであり、安定な塗布が可能となるほか、高価なノズルヘッド１０の交換時期を延ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドが印刷システムにおける可動部あるいは回転部に設けられていても、高い品質の印刷を実現することが可能な印刷システムを提供すること。
【解決手段】印刷位置に配置された容器へ印刷を施すための、インクジェット方式で動作し、かつ、容器の搬送路に沿って回転可能な少なくとも１つの電気式のプリントヘッド３と、該プリントヘッド３へインクを供給するための供給システムとを備えて成る印刷システムにおいて、プリントヘッド３と共に移動しない固定部８と、プリントヘッド３と共に移動する回転部１０とで構成し、プリントヘッド３と共に移動しない、供給システムにおける固定部を前記固定部８に設け、少なくとも１つのインク用のサブタンク２３，２４を可動部１０に更に設け、サブタンク２３，２４をプリントヘッド３に接続した。
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【課題】容器内に収容した液剤を容器内の下方に形成したノズル孔から印刷基材に向かって安定に吐出させることができる液剤吐出装置を提供する。
【解決手段】液剤吐出装置と印刷基材とを相対的に移動させ、エアポンプによる空圧印加方式でタンク内に貯蔵した液剤に供給圧をかけながらこの液剤を容器内に形成した液剤収容室内に供給して、液剤収容室内に収容した液剤をプランジャ又はピストンで押圧しながら液剤収容室内の下方に形成したノズル孔から印刷基材に向かって吐出させる際に、エアポンプからの供給圧に応じて吐出間隔を可変させる。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構造でノズル先端の回転方向位置の正確な位置決めができるノズル回転機構およびそれを備える塗布装置の提供。
【解決手段】液体材料を吐出する吐出口を有するノズルと、ノズルおよび液体材料供給源と連通する流路を有するノズルユニットと、ベース部材と、ベース部材に配設され、ノズルユニットを回転させる回動装置とを備えるノズル回転機構であって、前記ノズルを、ノズルの吐出口の中心線とノズルユニットの回転軸中心線とが角度を構成するようにノズルユニットに配設し、前記ノズルユニットを、回動装置に着脱可能に装着したことを特徴とするノズル回転機構およびそれを備える塗布装置。 （もっと読む）

【課題】異なるインクを同じ工程で吐出して複数種の薄膜を形成する場合に、容易な制御によってそれぞれの薄膜の厚さを所望の厚さに形成できるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズルＮ及び各ノズルＮに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッド９と、駆動素子に駆動信号を供給して駆動素子の駆動を制御する制御部と、を備えた液滴吐出装置である。ノズルＮは、互いに異なる種類のインクの液滴を吐出する複数のノズルＮを有している。制御部は、複数のノズルＮに対応する駆動素子に対して、複数のノズルＮから吐出するインクによって形成する薄膜（カラーフィルターＣＦ）がそれぞれ所望の膜厚になるように、複数のノズルＮにそれぞれ対応する駆動素子に対し、それぞれ異なる駆動周波数の駆動信号を供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット塗布装置のインクを置換する際に、配管内やインクジェットヘッド内に残留しているインクを洗浄することが必要であるが、溶解度の高い洗浄液を用いると、残留インクとの間でソルベントショックが生じ、却って凝集物が残ったり、洗浄後の洗浄液で次の新たなインクが希釈され、塗布ムラの原因となる。
【解決手段】使用したインクに用いた溶剤のなかで主溶剤単独もしくは主溶剤を含むその他の構成溶剤の混合溶剤で、配管内のインクを押し出し、その後洗浄液で洗浄し、加圧エアで洗浄液を揮発させる。 （もっと読む）

【課題】ノズルから塗布液が液柱状に吐出されている状態と、ノズルの吐出孔に液溜まりが形成されている状態とを区別して認識し、不正常な状態での塗布処理を防止することができる基板塗布装置を提供する。
【解決手段】基板塗布装置１は、レーザセンサ７１の受光器７１ｂから出力される受光信号を監視する。そして、受光信号が低下した時間に基づいて、ノズルから有機ＥＬ液が液柱状に吐出されている「第１の状態」と、ノズルの下端部に液溜まりが形成されている「第２の状態」とを判別する。このため、正常な状態である「第１の状態」と不正常な状態である「第２の状態」とを区別して認識することができ、不正常な状態での塗布処理を適切に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 大きな塗布領域に均一にムラなく、色度の仕様に関する要求を満たすカラーフィルターを低コストで実現する塗布装置を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッドが持つ前記の複数のインクジェットノズルを、その配列の長手方向に複数（ｎ）の群に分割し、前記の複数のインクジェットヘッドを、分割したインクジェットノズルの１つの分割単位でそのインクジェットノズルの配列の長手方向に位置をずらしてインクジェットヘッドの長手方向に、少なくともその分割した数（ｎ）＋１以上の列に規則的に配列して前記塗布対象物に塗布材を供給する （もっと読む）

【課題】濃度むらを抑制することを目的とする。
【解決手段】（１）媒体に流体を噴射するノズルが所定方向に並ぶノズル列と、（２）前記ノズル列と媒体とを前記所定方向と交差する方向に相対移動させる移動機構と、（３）前記ノズルから噴射される流体によって形成可能なドットの種類に応じた所定の階調数の画素データに基づいて、前記移動機構によって前記ノズル列と媒体とを前記交差する方向に相対移動させながら前記ノズル列から流体を噴射する制御部であって、前記画素データ上において前記交差する方向と対応する方向に並ぶ複数の前記画素データである画素列データごとに設定された補正値によって、前記所定の階調数の画素データを補正する制御部と、（４）を有することを特徴とする流体噴射装置である。 （もっと読む）