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Fターム[4F042CB07]の内容

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【課題】ローラに撓み変形が生じる場合であっても、塗布ユニットを十分に初期化することができる予備塗布装置を備える塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、一方向に延びるとともに塗布液を吐出するスリットを有する塗布ユニットと、この塗布ユニットを初期化する予備塗布装置とを備え、前記予備塗布装置により初期化された塗布ユニットが、ステージ上の基板に対して相対的に移動しつつ前記スリットから塗布液を吐出することにより基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、前記予備塗布装置は、一方向に延びるとともに前記スリットから吐出される塗布液を付着させるローラを有しており、このローラは、ローラの延びる方向と前記スリットの延びる方向とが交差する状態で配置されるように構成する。 (もっと読む)


【課題】生産性の高い塗布装置を提供すること。
【解決手段】ノズル部をメンテナンスするメンテナンス部が、基板搬送部のうちノズル部に平面視で重なる位置に設けられているので、ノズル部とメンテナンス部との間の平面視での相対位置を変化させること無くノズル部のメンテナンスを行うことができる。このため、ノズル部のメンテナンスを短時間で行うことができ、スループットへの影響を抑えることができる。これにより、生産性の高い塗布装置を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】裏面鏡の連続生産において、裏止め塗膜塗布後、次いで鏡端縁部の縁塗りを、行った後、縁塗り塗膜がかすれる、縁塗り塗料が鏡端面に垂れることなく、縁塗り塗膜の均一塗布および膜厚制御が可能な鏡の裏面側端縁部の縁塗り装置を提供する。
【解決手段】裏止め塗膜を被覆形成してなる鏡1を、裏止め塗膜を被覆形成してなる裏面側を上にしてコンベヤー上を搬送させつつ、該裏面側端縁部に上側より接触しつつ回転する塗布ロール2により、裏面側端縁部に縁塗り塗液を縁塗り塗装する鏡1の裏面側端縁部の縁塗り装置であって、連動回転する並接した塗液ピックアップロール3と調製ロール4と塗布ロール2からなる鏡の裏面側端縁部の縁塗り装置。 (もっと読む)


【課題】
エッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置。
【解決手段】
本発明はエッチング技術を使った製造工程を利用した多層膜の製造方法及びそのエッチング膜製造装置に関するものである。本発明は第2層エッチング液におけるエッチング液の揮発速度を加速させるもので、過熱することで第2層エッチング液の溶剤が落下し、本来の有機分子膜を溶解するのを防ぐものである。この装置には、すき間を有する有機容器、加熱器、吸気弁が含まれる。有機容器は有機分子のエッチング液を入れるのに用いる。この有機容器は機械を使って基板と基板の間隔を調節することができ、この間隔によりウエット薄膜にできる厚みを制御することができる。吸気弁は有機容器の上に設置し、すき間を流れる有機溶液の量を調整するのに使用する。加熱器は有機容器の一方に置き、容器の揮発及び薄膜形成の速度を速めるのに用いる。 (もっと読む)


【課題】アライメントマスクを用いて行う機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を、短時間で且つ精度良く行う描画検査装置を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド3から機能液を吐出・着弾させて吐出性能を検査する描画検査装置34であって、機能液滴の基準着弾位置となる着弾マークをマーキングしたアライメントマスク46と、検査吐出された機能液滴が着弾する検査シートSと、着弾マークと検査シートSの着弾ドットDとを位置認識する画像認識手段と、検査シートに臨んだ機能液滴吐出ヘッド3を位置認識するヘッド認識手段と、を備え、アライメントマスク46は、着弾マークがマーキングされたマスク本体46aと、マスク本体46aから検査シートを越えて延在する延設部と、を一体に有すると共に、機能液滴吐出ヘッド3を位置認識する位置においてヘッド認識手段をキャリブレーションするヘッド校正マークが設けられている。 (もっと読む)


【課題】基板上に接着剤を均一に塗布する。
【解決手段】ディスペンサ装置は、第1の開口部223と、第2の開口部224との間で徐変した形状を有したニードル先端部222を備えたシリンジユニットと、シリンジユニット内を加圧する加圧部と、シリンジユニットを支持して所定の位置に移動するアーム部と、第3の開口部413と、第4の開口部414との間で徐変した形状を有し、第3の開口部413が第1の開口部223よりも突出した状態でニードル先端部222を覆うストッパ先端部412を支持して所定の位置に移動する駆動部と、第3の開口部413がプリント配線板に接触する状態まで、アーム部と駆動部とを同じ挙動で移動させる第1の制御と、第3の開口部413よりも突出した状態まで駆動部を移動させる第2の制御とを行う制御部とを有する。 (もっと読む)


【課題】キャップの洗浄作業中に吐出ヘッドのノズル面が外気に晒される場合でも、ノズ
ルの良好な吐出状態を維持する。
【解決手段】キャッピングユニット15のキャップ48内を洗浄している間、吐出ヘッド
3をキャッピングエリア以外のメンテナンスエリアに待避させ、待避中に吐出ヘッド3に
対して微振動を付与することによって、キャップ48の洗浄作業中に吐出ヘッド3のノズ
ル面2が外気に晒される場合でも、ノズル内で機能液の増粘が進まないようにノズル内の
機能液を微振動させながら、ノズルの良好な吐出状態を維持することができる。 (もっと読む)


【課題】吐出ヘッドのノズルを吸引することによる無駄な機能液の消費を抑えつつ、ノズ
ルの良好な吐出状態を維持又は回復するためのメンテナンス処理を効率良く行う。
【解決手段】複数のノズルが設けられたノズル面2を有し、当該ノズル面2の各ノズルか
ら機能液の液滴を吐出する複数の吐出ヘッド3を備えた液滴吐出装置のメンテナンス方法
であって、吐出ヘッド3のノズル面2にキャップ48を接触させ、当該キャップ48を介
してノズルを吸引する吸引動作を複数の吐出ヘッド3のうち選択された吐出ヘッド3に対
して行うと共に、選択された吐出ヘッド3以外の吐出ヘッド3に対して微振動を付与する
、若しくは、選択された吐出ヘッド3以外の吐出ヘッドのノズルから液滴を吐出するフラ
ッシング動作を行う。 (もっと読む)


【課題】スジムラの発生を抑えることができる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布装置1において、塗布対象物Kに向けて塗布液を複数の吐出孔Nからそれぞれ液滴として吐出する塗布ヘッド5と、塗布対象物Kと塗布ヘッド5とを相対移動させる移動機構4と、塗布ヘッド5及び移動機構4に対し、塗布対象物Kと塗布ヘッド5とを相対移動させ、複数の吐出孔N毎に設定されて吐出孔Nからの液滴吐出量をそれぞれ決定する複数の設定値に基づいて、複数の吐出孔Nからそれぞれ液滴を順次吐出させて塗布対象物K上に着弾させる走査塗布動作を複数回繰り返させる手段と、走査塗布動作を一回行う度に、複数の吐出孔N毎の液滴吐出量をそれぞれ対応する設定値を基準として増加又は減少させて変更する手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】正常に塗布されたインクと連結して塗布されたインクとを液状体のまま識別することが可能な検査装置、突状体の検査方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板2の上面2aに形成されたのカラーインク5の輪郭形状を検査する検査装置にかかわり、上面2aと垂直な方向に対して斜めの方向から基板2に照射光58を照射する照明装置28と、上面2aと略垂直な方向からカラーインク5を撮像する撮像装置24と、撮像装置24により撮像された画像を用いて、画像の明部と暗部の形状からカラーインク5の輪郭形状を識別する識別演算部と、を有する。 (もっと読む)


【課題】混合されることで発熱反応を呈する複数種の処理液を十分に混合し、その結果得られた高温の混合処理液を基板に供給すること。
【解決手段】処理液供給ノズル104は、横断面が円状の円筒状内壁面29を有する混合室21と、混合室21に硫酸を導入する硫酸導入経路122と、混合室21に過酸化水素水を導入する過酸化水素水導入経路123と、混合室21で生成されたSPMを吐出する吐出口24とを備えている。硫酸導入経路122および過酸化水素水導入経路123は、それぞれ、円筒状内壁面29の周方向に沿って当該円筒状内壁面29に接続されている。混合室21の内部に導入された硫酸および過酸化水素水は、円筒状内壁面29に沿って流れ、円筒状内壁面29の周方向に回転する渦流となって流下していく。 (もっと読む)


【課題】 ドット移動現象と印刷物の表面特性が良好で、かつ有機溶剤の発生が少なく、高画質で普通紙に画像記録が可能なインクジェット用インクセット、画像記録方法、及び画像記録装置を提供する。
【解決手段】 本装置は、媒体の表面に液体を塗布する塗布ローラ11と、塗布ローラ11の外周面と当接し液体保持空間を形成するシール部材29を有する液体保持部材21とを備え、液体保持部材21から塗布ローラ11の外周面に供給された10mPa・s〜200mPa・sの粘度を有する液体を、塗布ローラ11を回転させることにより媒体に塗布することができる。 (もっと読む)


【課題】基板面内において塗布液を均一に塗布しつつ、塗布液の供給量を低減する。
【解決手段】ウェハを第1の回転数で回転させ、ウェハ上に純水が拡散しないように、ウェハの中心部に純水を供給する(工程S1)。ウェハの回転を第2の回転数まで加速させ、ウェハ上の純水の中心部に塗布液を供給し、塗布液の下層に塗布液と純水の混合層を形成する(工程S2)。ウェハの回転を第3の回転数まで加速させ、塗布液をウェハ上の全面に拡散させる(工程S3)。ウェハの回転を第4の回転数まで減速させ、ウェハ上の塗布液の膜厚を調整する(工程S4)。ウェハの回転を第5の回転数まで加速させ、ウェハ上の塗布液を乾燥させる(工程S5)。 (もっと読む)


【課題】液だまりを形成する塗液の一部が塗工バーの中心軸方向に沿って必要以上に変位することを規制して、生産性の向上を図ることができる塗布装置、塗布方法及び塗膜ウェブの製造方法を提供すること。
【解決手段】中心軸回りに回転自在に配設され、所定の搬送手段により搬送されるウェブ7の上面7aに接触可能な接触部23が外周面に形成されたロッド状の塗工バー20を備え、回転する塗工バー20の接触部23の一部が搬送されるウェブ7の上面7aに接することにより、上面7aに供給されて液だまり12を形成する塗液を上面7aに塗布する塗布装置10において、塗工バー20は、接触部23が外周面に形成された領域21の端部21aと、端部21aに隣接する態様で形成され、この領域21の外径よりも小さい外径を有する小径部25とにより構成され、端部21aの外周面に液だまり12を形成する塗液を滞留させる段差部24を設けたものである。 (もっと読む)


【課題】 利用者の吸入動作に応じて薬剤を放出する薬剤吐出装置において、利用者の吸入動作に関わらず確実に設定吐出量を利用者に投与することができる薬剤吐出装置及びその制御方法を提供することである。
【解決手段】 吐出ヘッド部107から薬剤タンク108に収容された薬剤の吐出が終了したときに、吐出量認識手段105により吐出した薬剤の総量を把握する。薬剤の総量と、メモリ103aに記録された設定吐出量とを比較し、吐出された薬剤の総量が設定吐出量に達しているかを判断する。設定吐出量に達していない場合は、次の吸入時に設定吐出量との差から算出した量の薬剤を吐出するように、駆動制御部103cにより吐出ヘッド107を駆動可能とする。 (もっと読む)


【課題】現場で施工する際に配線の省スペース化を図ることのできる電線の固定方法を提供する。
【解決手段】1本または複数本の電線2を壁面1に沿わせ、その上から樹脂3を塗布することにより電線2を壁面1に固定する。この電線の固定方法によれば、電線を収容する部材を用いずに樹脂3で電線2を壁面1に固定するようにしているので、電線2を任意のルートを通して任意の位置に固定することができる。よって、配線の省スペース化を図ることができる。 (もっと読む)


【課題】液状体の配置ムラを事前に予測することにより、描画後の検査工程を経ることなく、液状体の配置量が適正となる駆動条件を設定する。
【解決手段】所定の駆動条件に係る前記各ノズルの吐出量、前記複数の所定領域のそれぞれにおいて前記液状体の吐出が選択されるノズル、及び当該ノズルの吐出回数を含む情報に基づき、前記複数の所定領域のそれぞれに対する前記液状体の配置量を求め、この配置量が規定の範囲から外れると予測される領域を特定するAステップと、前記特定領域における前記液状体の配置量が規定の範囲となる適正条件を求め、この適正条件に基づいて補正された駆動条件を設定するBステップと、を有する。 (もっと読む)


【課題】ノズルデューティの変化による液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な薄膜を形成することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子PZとを有する液滴吐出ヘッド5と、各駆動素子PZに供給する駆動信号の波形データを記憶する駆動波形記憶手段100と、を備え、前記駆動信号の駆動波形は、液滴吐出ヘッド5における全ノズルに対する使用ノズルの割合であるノズルデューティに応じて設定されており、前記駆動波形記憶手段100は、前記ノズルデューティ毎に、当該ノズルデューティに対応する駆動波形を有する駆動信号の波形データを記憶する。 (もっと読む)


【課題】三次元形状表面を有する印刷対象物に対してその表面に所望の印刷を施す。
【解決手段】ベース1上にX軸方向およびZ軸方向に移動自在かつ3方向の回転軸を各々中心として回転自在に支持されて印刷対象物80を保持する保持チャック26と、ベース1上に設けられ、印刷対象物80の上方をY軸方向に移動可能に支持されたプリンタヘッド5と、保持チャック26の移動および回転制御並びにプリンタヘッド5の移動制御を行う移動制御装置と、移動制御装置による相対移動および相対回転制御に応じてプリンタヘッド5からのインクの吐出制御を行うプリント制御装置とを備える。 (もっと読む)


【課題】吐出パターンの変化による液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な薄膜を形成することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置IJは、複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子PZを有する液滴吐出ヘッド5と、各駆動素子PZに供給する駆動信号の波形データを記憶する駆動波形記憶手段100と、を備え、前記駆動信号の駆動電圧、駆動周波数、又は駆動波形は、前記液滴吐出ヘッド5における使用ノズルと不使用ノズルとの組み合わせである吐出パターンに応じて設定されており、前記駆動波形記憶手段100は、前記吐出パターン毎に、当該吐出パターンに対応する駆動電圧、駆動周波数、又は駆動波形を有する駆動信号の波形データを記憶する。 (もっと読む)


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