【課題】吐出パターンの変化による液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な薄膜を形成することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置ＩＪは、複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子ＰＺを有する液滴吐出ヘッド５と、各駆動素子ＰＺに供給する駆動信号の波形データを記憶する駆動波形記憶手段１００と、を備え、前記駆動信号の駆動電圧、駆動周波数、又は駆動波形は、前記液滴吐出ヘッド５における使用ノズルと不使用ノズルとの組み合わせである吐出パターンに応じて設定されており、前記駆動波形記憶手段１００は、前記吐出パターン毎に、当該吐出パターンに対応する駆動電圧、駆動周波数、又は駆動波形を有する駆動信号の波形データを記憶する。 （もっと読む）

【課題】ノズルデューティの変化による液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な薄膜を形成することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子ＰＺとを有する液滴吐出ヘッド５と、各駆動素子ＰＺに供給する駆動信号の波形データを記憶する駆動波形記憶手段１００と、を備え、前記駆動信号の駆動電圧又は駆動周波数は、液滴吐出ヘッド５における全ノズルに対する使用ノズルの割合であるノズルデューティに応じて設定されており、前記駆動波形記憶手段１００は、前記ノズルデューティ毎に、当該ノズルデューティに対応する駆動電圧又は駆動周波数を有する駆動信号の波形データを記憶する。 （もっと読む）

【課題】ガントリータイプのテーブルにおいて、塗布速度への立ち上げが指令速度に対して遅れるために有効な塗布面を得るには塗布速度の高速化や除外距離（塗布を始めてから塗布膜厚の変動率が要求仕様に収まるまでの走行距離）の短縮も望まれており、速度制御への要求内容は厳しいものとなっているため、これに対応する。
【解決手段】クロスカップリング制御とゲイン切替制御の方式において、塗布速度到達時のオーバーシュートをおさえ、それ以降は速度ムラをおさえるために、中心速度コントローラのゲイン切替のみを行っていたが、左右偏差コントロールのゲインを加速時に大きくして加速終了後に小さくした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、粘度計測器などを設けることなく、既存の機構を用いて塗布すべき液体の粘度や供給状態を検出することができ、媒体に対する液体の塗布不良や塗布ローラなどの磨耗を軽減することが可能な安価な構成の液体塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ローラ１００１を駆動したときの、塗布ローラ駆動モータ１００４の駆動負荷を検出し、の駆動負荷が、予め定めた閾値以上である場合には、ポンプ３００７による液体の再供給動作、またはローラ駆動モータ１００４の動作を停止する。 （もっと読む）

【課題】 構成を簡略化してコストの低減および設置スペースの縮小を図りながら、効率の良い滴下処理が可能な液晶滴下装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２０の搬送方向に沿って、２つの液晶滴下ユニット４０，５０が所定の間隔で配置される。そして、１つ目のガラス基板２０に対する液晶滴下ユニット５０の滴下動作と、２つ目のガラス基板２０に対する液晶滴下ユニット４０の滴下動作とが、同時に行われる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハに対して安価にコーティングを行なうコーティング装置及び方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハ２０６を支持しかつ回転させる回転可能にされたプラットフォーム２１２と、半導体ウェハの中央部上に予備加湿溶剤、フォトレジストまたはＡＲＣを供給し、かつ半導体ウェハの周辺部上に予備加湿溶剤を追加して供給する第１、第２、第３のノズル２０４、２０８、２１０と、プラットフォーム２１２の回転を制御すると共に、半導体ウェハの中央部上に予備加湿溶剤を供給し、半導体ウェハが回転している期間に予備加湿溶剤が供給されている半導体ウェハの中央部上にフォトレジストまたはＡＲＣを供給し、半導体ウェハが回転し続けている期間に半導体ウェハの周辺部上に予備加湿溶剤を追加して供給するように第１、第２、第３のノズルを制御するコントローラ２２０を具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成面と記録用紙とが接触してもノズル形成面やノズルが損傷を受けにくくする。
【解決手段】吐出ヘッド３におけるノズル形成面５０と記録用紙Ｐとの間の間隙Ｇが所定値よりも小さいかどうかを検出する検出手段３３１と、吐出ヘッド４の記録用紙Ｐに対する移動速度を少なくとも高速と低速の２段に制御する制御部３００とが備えられ、制御部３００は、検出手段３３１で検出した間隙Ｇが所定値より小さいとき、吐出ヘッド３を低速で吐出対象物Ｐに沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】作業者の誤操作等により供給路の洗浄前に電源スイッチが切れてしまうことを防止し、ひいては混合機内で混合液が硬化してしまうことを防止できる多液混合装置を提供する。
【解決手段】本発明の多液混合装置は、閉状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給する一方、開状態の場合に多液混合装置１００に作動電力を供給しないものとする電源スイッチ３５と、液状態判定手段３０による測定結果に基づいて、供給路１５内の液体が混合液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行不能とし、供給路１５内の液体が洗浄液であると判断された場合に、電源スイッチ３５における開状態及び閉状態の間の移行を実行可能とする制御装置２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布時のノズルストッパーと、先に塗布された接着剤樹脂および隣接ソルダーペーストとの干渉を検証し、ノズルストッパーと干渉しないよう自動修正する。
【解決手段】接着剤樹脂の塗布箇所を指示（Ｓ１）。塗布処理の情報取得（Ｓ２）。塗布処理のパラメータ設定（Ｓ３）。処理Ｓ２，３の取得設定でノズルストッパーがソルダーペーストおよび塗布した接着剤樹脂に干渉するか確認（Ｓ４）。有の時（Ｓ４の有り）、回避のため塗布角度（補正）を変更（Ｓ１１）。変更の塗布角度で干渉有無を確認（Ｓ１２）。有りの時（Ｓ１２の有り）、補正のために設定の全角度で実施したか確認（Ｓ１３）。未実施の時（Ｓ１３の未実施）、次の角度で行うため処理Ｓ１１へ戻る。処理Ｓ４，Ｓ１２で干渉がなければ次の塗布箇所を確認（Ｓ６）。全塗布位置の干渉チェック実施後（Ｓ６の有り）、ＮＣプログラム作成部で処理Ｓ１１〜１３で取得の情報を含め作成する（Ｓ７）。 （もっと読む）

【課題】ノズル間での吐出特性のばらつきが小さく、且つ低い駆動電圧で省電力駆動可能な生産性の高いインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インク加圧室１４０の一部を形成するダイヤフラム１２０と、ダイヤフラム１２０に取着した圧電素子１１０と、ノズル開口１３１を複数備え、
圧電素子１１０が、インク振動系ヘルムホルツ共振のピークが生じるようなパルス幅の駆動パルス信号印加したときに、複数のノズルのインク吐出速度が揃うように再分極処理されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布する機能液を供給する複数供給経路における機能液の消費量を略同じ量にすることができる液滴吐出装置、吐出方法、カラーフィルタの製造方法及び有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】機能液が供給される供給経路を備える液滴吐出ヘッド２０のノズルから機能液を基板２に吐出する液滴吐出装置８に係り、液滴吐出ヘッド２０と基板２とを相対移動するキャリッジ１９及びステージ１１を備え、ステージ１１において、ステージ１１の移動方向である走査の方向と直交する方向の、少なくとも一方には基板２と隣接する場所に第１受け部１４を備え、液滴吐出装置８は複数の供給経路及び複数のノズルを備え、１つの供給経路は少なくとも１つのノズルと連通し、基板２と対向する場所のノズルは基板２に液滴３７を吐出し、第１受け部１４と対向する場所のノズルは第１受け部１４に液滴３７を吐出する。 （もっと読む）

【課題】 複数の液滴吐出駆動部から吐出される各液滴の質量偏差を実時間で測定し、各液滴が高い精密度を要求する直径を有する場合にも各液滴吐出駆動部から吐出される各液滴の質量偏差を測定することができる液滴質量偏差測定装置及びその液滴質量偏差測定方法を提供する。
【解決手段】 複数の液滴吐出駆動部から吐出される複数の液滴に前記複数の液滴の吐出方向と異なる移動方向を有する移動力を提供する液滴移動力提供部と；前記複数の液滴の位置が個別的に反映される液滴位置映像を取得する吐出液滴位置感知部材と；前記吐出液滴位置感知部材によって取得された前記液滴位置映像を用いて前記複数の液滴の液滴吐出方向離脱角を算出し、前記複数の液滴の質量偏差を測定する液滴質量偏差測定制御部と；を含んで液滴質量偏差測定装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ペースト容器内のペーストの使用効率を向上させることができ且つペースト容器の交換を行う際に処理を停止させる必要がないダイコータを提供する。
【解決手段】本発明のダイコータは、内部にペーストを収容し且つペーストを排出するペースト排出口を上面に備える交換式のペースト容器と、前記ペースト排出口から排出されたペーストを溜めるバッファタンクと、前記バッファタンクから排出されたペーストをヘッドから基板上に吐出して塗布層を形成する塗布層形成部とを備え、前記ペースト容器は、前記ペースト排出口からペーストが自重により排出されるように前記上面を鉛直面よりも下方向に向けて配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高粘度の成形材料の高速塗布及び高精度塗布を可能にするとともに、塗布速度の変化に応じて塗布ガンからの溶融成形材料の吐出量を制御できるようにした複層ガラスパネルのグレージングガスケット成形方法及び装置を提供する。
【解決手段】押出機３３からの成形材料を成形材料送給用ポンプ３４で成形材料吐出用ポンプ３２へ定量送給し、成形材料吐出用ポンプ３２により成形材料を塗布ガン３１から一定の圧力で吐出させて複層ガラスパネル２１の周縁部２１ａに塗布するとともに成形材料吐出用ポンプ３２の回転数を複層ガラスパネル２１と塗布ガン３１との間の相対移動による移動速度に応じ制御して該塗布ガン３１からの成形材料の吐出量を調節する。また、成形材料吐出用ポンプ３２への成形材料の送給量と成形材料吐出用ポンプ３２の吸入量との差分に相当する成形材料を循環用可撓性ホース３９により押出機３３へ還流する。 （もっと読む）

【課題】サブキャリッジの交換作業及び液滴吐出ヘッドの吐出重量測定を効率よく行うとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】描画エリアＡ１の両側のそれぞれに、各第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６に設けたキャリッジを待機させる待機エリアＡ２をＹ軸方向に沿って設けた。従って、各第１〜第６キャリッジプレートＰ１〜Ｐ６をそれぞれ移動させて、液滴吐出ヘッドを備えたサブキャリッジの交換作業を、各待機エリアＡ２で同時期に行うことができる。また、熱源となる液滴吐出ヘッドをチャンバ２の略中心位置に配置して描画することができる。さらに、各待機エリアＡ２のそれぞれには、液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出重量を測定する重量測定ユニット５４を設けた。従って、各液滴吐出ヘッドの吐出重量測定を、各待機エリアＡ２で同時期に行うことができる。 （もっと読む）

分析対象物に関連する情報を決定するように適合される、電気化学的試験センサ上に試薬を被着させる方法は、ベースの提供および該ベース上への電極パターンの形成を含む。この方法は、試薬分配システムを用いて、少なくとも該電極パターン上に試薬を被着させることをさらに含む。試薬分配システムは、少なくとも該電極パターン上に湿潤試薬液滴を提供することを支援するために、試薬分配システム内の試薬に機械的力を加える。
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【課題】 誤検出しにくい構造であり、かつ、上流側バッファ室の残存液体を下流側に排出しやすい構造の液体検出装置及びそれを用いた液体収容容器を提供すること。
【解決手段】 液体検出装置は、センサベース２１０上にセンサチッブ２２０を有し、センサチッブ２２０はセンサベース２１０に形成された第１，第２の孔２１２，２１４に連通するセンサキャビティ２２２を有する。液体検出装置の使用時に、センサベース２１０に形成された第１，第２の孔２１２，２１４は、鉛直方向にて同一高さ位置に並んで配置される。第１,第２の孔２１２，２１４の間に位置して鉛直方向にてセンサベースに沿って延びる隔壁１３６の両側の一方を上流側バッファ室１３４ａとし、他方を下流側バッファ室１３４ｂとする。上流側及び下流側バッファ室１３４ａ，１３４ｂ内での鉛直方向の最下方位置にて開口して、上流側及び下流側バッファ室１３４ａ，１３４ｂ同士を連通させる底部バイパス４００を設けた。 （もっと読む）

【課題】液状体の配置ムラを抑制することができる液状体配置方法、液滴吐出装置、及びこれら方法又は装置を用いたカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド２１と基板４とを相対的に走査させながら、ノズル２３から液状体を吐出することにより、基板４上の所定領域８に対して液状体を配置する液状体配置方法である。所定領域８に対して複数のノズル２３よりなるノズル組２５から液状体を配置し、かつ、ノズル組２５を主ノズルグループ２６Ａと副ノズルグループ２６Ｂとに分けるとともに、副ノズルグループ２６Ｂの各ノズル２３Ｂの単位吐出量を、主ノズルグループ２６Ａの各ノズル２３Ａの単位吐出量より小さくする。所定領域８に配置する液状体の設定量に対して、主ノズルグループ２６Ａからは、設定量の一部を所定領域８に配置し、副ノズルグループ２６Ｂからは、設定量の残部を所定領域８に配置する。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出した際に各部位での色むら、濃度むらを確実に抑制することができる液滴吐出装置およびカラーフィルタの製造方法を提供すること、各部位での色むら、濃度むらが抑制されたカラーフィルタを提供すること、また、該カラーフィルタを備えた画像表示装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、インクを吐出する液滴吐出ヘッドと、インクの粘度の経時変化を示す検量線を予め記憶する記憶手段と、予め設定された基準時からの経過時間を求め、その経過時間と粘度情報とに基づいて、現在のインクの粘度を推定する粘度推定手段と、液滴吐出ヘッドから吐出されるインクの液滴の吐出量を調整するインク吐出量調整手段とを備え、粘度推定手段によるインクの粘度の推定結果に基づいて、インク吐出量調整手段が作動して吐出量を調整することにより、インクの粘度変化による吐出量の誤差を少なくするよう構成した。 （もっと読む）