【課題】ボンディングツールへの良好な吸着を可能とすることで信頼性の高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１基板２２と、駆動素子２３と、第２基板２５と、第２基板２５の第１基板２２と反対側に設けられたケース部材１０１と、駆動回路部２６が実装されており、駆動回路部２６と第２基板２５の開口部６０に露出している駆動素子２３の端子部４７とを電気的に接続するフレキシブル基板２７と、を備える液滴吐出ヘッド１である。フレキシブル基板２７の端子部４７に対する接続部２７ｂの近傍に、駆動回路部２６の実装に起因して生じるフレキシブル基板２７を変形させる力を抑制する変形抑制部２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】大きな泡から小さな泡を安定して生成することが難しい。
【解決手段】泡にすることが可能な液体又はゲル若しくは液体及びゲルの両者である処理液２０１から大泡２０９を生成する大泡生成部２０５と、大泡生成部２０５で生成された大泡２０９から塗布に適した小泡２１０を生成する小泡生成部２１１と、被記録媒体１００に小泡２１０を塗布する塗布ローラ２１２とを備え、小泡生成部２１１は大泡２０５が通過することで小泡２１０を生成する複数の管路３１１を有する管路部材３０３を有し、管路部材３０３の複数の管路３１１の出口側は隣り合う管路３１１の径よりも広い隔壁３１２で隔てられている。 （もっと読む）

【課題】 基材に塗布剤を塗布した際に、気泡痕が発生するのを防止することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも表面が凹凸形状の基材（２）に対して液状の塗布剤（Ｐ２）を塗布する前に、基材のうち塗布剤が塗布される領域内に塗布剤よりも粘度の低い液体（溶剤、Ｐ１）を塗布する。ここで、液体（Ｐ１）は、塗布剤（Ｐ２）に対して相溶性を有する液体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】泡を被記録媒体に塗布するようにした場合、泡は固体に近いことから泡を塗布ローラに供給しても自然に速やかに拡げることが難しく、供給量の制御や塗布する泡の品質を均一に保つことが難しい。
【解決手段】泡状態にすることが可能な液体又はゲル若しくは液体及びゲルの両者である処理液２０１から泡２１０を生成する泡生成部２０５と、被記録媒体１００に泡２１０を塗布する塗布ローラ２１２と、泡生成部２０５から泡２１０が導入され、塗布ローラ２１２に供給口２３２から泡２１０を供給する貯留部２１１とを備え、貯留部２１１には塗布ローラ２１２に供給されなかった泡２１０を排出する排出口２３４を有し、貯留部２１１には塗布ローラ２１２に供給される泡２１０の量よりも過剰な量の泡２１０が導入され、余剰の泡２１０が排出口２３４から排出される。 （もっと読む）

【課題】高速な塗布処理を実現しつつ、パーティクルやミストの発生による基板製造の歩留まり悪化を抑制することを目的とする。
【解決手段】塗布装置１は、基板９０を搬送する搬送部２と、基板９０を下方から支持する支持ステージ（基板支持手段）５０を備える支持部５と、基板９０にノズル４０からレジスト（塗布液）を吐出して塗布する塗布部４と、ノズル４０のメンテナンスを行うためのメンテナンス部６と、塗布装置１を構成する各部の制御を行う制御部８とを備える。支持部５は、上流側搬送ローラ２０と下流側搬送ローラ２１の間に配置される支持ステージ５０と、支持ステージ５０に図示しない配管を介して接続される排気部５１および気体供給部５２と、支持ステージ５０を斜めに昇降させる支持ステージ昇降部（退避手段）５３とで構成される。 （もっと読む）

【課題】溶融された糊が澱みなく常に対流する糊溶融容器を有する糊溶融装置を提供する。
【解決手段】糊溶融容器内に塗布ローラが回転するときに生じる加熱手段によって溶融された糊の流れ方向を上流側に戻す糊還流用通路を設ける。 （もっと読む）

【課題】均一な膜厚を得ることができる液滴塗布方法及び液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】液滴塗布方法において、塗布対象物の塗布面に向けて溶媒を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させ、塗布面上に溶媒の蒸気雰囲気を生成する工程（ステップＳ１）と、蒸気雰囲気が生成された塗布面に向けて溶液を液滴として吐出し、塗布面に液滴を着弾させる工程（ステップＳ２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】拭取ロール１３と駆動ロール１４と被動ロール１６の点検修理を効率的に行い、その点検修理に伴う基材表面ゴミ取り装置の停台時間を短縮化する。
【解決手段】基材１１の平面に付着している塵埃を粘着させて拭き取る粘着周面を有する拭取ロール１３と、拭取ロール１３の粘着周面１２から塵埃を拭き取る清掃パッド２１と、基材平面１１と清掃パッド２１の間で拭取ロール１３を往復移動させる拭取ロール移動装置２２と、基材平面１１から離れて清掃パッド２１に接触する部位において拭取ロール１３を回転駆動する駆動ロール１４を具備する基材表面ゴミ取り装置において、駆動ロール１４にコロガリ接触する被動ロール１６を拭取ロール１３の回転軸１５に軸支する。その被動ロール１６の周面１９を駆動ロール１４の周面２０に比してゴム硬度の柔らかい高分子物質で構成する。 （もっと読む）

本発明の開示内容は、ＬＥＤその他のディスプレイ装置の一部を形成する基板の上に薄膜を積層する方法に関する。また、１つの実施の形態では、本発明の開示内容は基板上にインクを積層する装置に関する。当該装置は、本装置は、インクを受け取るためのチャンバと、入口ポートと出口ポートとを有し、入口ポートにおいてインクをチャンバから受け取り、出口ポートからインクを吐出する放出ノズルと、チャンバから放出ノズルの入口ポートに送られるインクを量り取る吐出装置と、を備え、前記チャンバは、複数の懸濁した粒子を有する液体状態のインクを受け取り、当該インクは脈動的に量り取られてチャンバから放出ノズルに送られ、放出ノズルはキャリア液を蒸発させて、実質的に固体の粒子を基板上に積層させる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス作業を円滑かつ迅速に行うと共に、稼働率及び生産効率を向上させることを可能とする基板加工装置を提供する。
【解決手段】メンテナンス領域３３−１及びメンテナンス領域３３−２は、加工領域３１を挟んで左右両側に設けられる。２つの加工装置１７−１及び加工装置１７−２は、Ｙ方向移動装置１９によって同一の移動軸に沿って、メンテナンス領域３３−１〜加工領域３１〜メンテナンス領域３３−２の間を移動する。メンテナンス領域３３は、加工装置１７毎に設けられ、２つの加工装置１７に共用されない。例えば、一方の加工装置１７−１は、加工領域３１と左側のメンテナンス領域３３−１との間を移動し、他方の加工装置１７−２は、加工領域３１と右側のメンテナンス領域３３−２との間を移動する。 （もっと読む）

【課題】基板の全面に塗布液を略均一な厚さで塗布することができる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１の表面に塗布液２を塗布する塗布方法であって、塗布液２を塗布する塗布工程の前処理工程又は後処理工程として、塗布液２に含まれる溶剤２ａの雰囲気に基板１の縁部を選択的に晒す溶剤処理工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】ワーク上の塵埃を除去し、塵埃による描画不良を防止することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに対し、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド１７を相対的に移動させながらワークＷ上に機能液滴を吐出して描画を行う描画手段３と、機能液滴吐出ヘッド１７に向かって相対的に移動するワークＷに臨み、ワークＷ上の塵埃を吸引するエアー吸込み口５と、エアー吸込み口５に連なるエアー吸引手段３１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】連続走行するウエブ又は塗布層表面への異物やゴミ、塵等の付着を抑制し、スジ故障等の塗布欠陥を低減させる。
【解決手段】
連続走行する帯状のウエブＷの片面に１層以上を塗布する塗布方法において、塗布工程の前段に、ウエブＷ近傍の清浄度をクラス１０００以下に維持するクリーン工程を設けた。 （もっと読む）

【課題】「液溜まり」が不安定となって発生する塗布ムラを抑制するため、「液溜まり」を安定させる塗布装置ならびに塗布方法を提供する。
【解決手段】走行している電気絶縁性シートの一方の表面に塗液を塗布する工程において、絶縁性シートの帯電極性と塗液の帯電極性とを同極性に維持しながら、電気絶縁性シートに前記塗液を塗布する塗布装置、ならびに、塗膜付電気絶縁性シートの製造方法を提供する。塗布装置は、絶縁性シートの帯電極性と塗液の帯電極性とを同極性にするために、電気絶縁性シートの表面に静電荷を付与するシート帯電装置、および、塗液に静電荷を付与する塗液帯電装置のいずれか一方、あるいは、双方を備えている。また、塗液供給配管の一部を電気的に絶縁し電圧を印加する簡便な方法で、電気絶縁性塗液を帯電させ、塗布を行う方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 密着性に優れた被膜を高速かつ均一に鋼板に形成することができる帯状物体の塗布装置を提供する。
【解決手段】 予備塗装機構３と、本塗装機構４と、焼付け炉５と、を備えたリバースロールコータ方式の連続塗装装置において、ピックアップロールの周速ＶPを検出する周速検出手段９と、上位コンピュータから入力されるライン速度Ｖbと、周速検出手段９から入力されるライン速度Ｖbとから、ＶP／Ｖbに基づいてピックアップロール周速比Ｖpを算出し、該ピックアップロール周速比Ｖpが、０．２＜Ｖp＜０．８となるようにピックアップロールの周速ＶPを制御する制御手段７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 幅規制部材の近傍における塗布液の回り込みを防いで塗布液を精度良く吐出させる技術を提供する。
【解決手段】 スロットダイ１８の先端面のうちスロットよりも下流側の下流側ダイ先端面１６Ｂは、上流側ダイ先端面１６Ａよりも支持体１４に近接した位置に配置される。スロットには幅規制部材６０が挿入され、スロットから支持体１４に向かって吐出される塗布液の塗布幅が規制される。幅規制部材６０の先端面６２は、上流側ダイ先端面１６Ａと略連続するとともに下流側ダイ先端面１６Ｂと略連続する。 （もっと読む）

【課題】 被塗布物が紫外線に一切暴露されることなく、紫外線による被塗布物の劣化や塗布後の遅延型光硬化性樹脂の流れ広がりを防止して、被塗布物上に遅延型光硬化性樹脂を塗布して硬化できる遅延型光硬化性樹脂塗布装置およびこれを用いた遅延型光硬化性樹脂塗布方法を提供する。
【解決手段】 紫外線照射装置５と、ディスペンサ装置２を備えてなり、ディスペンサ装置２が、紫外線照射装置５から出射される紫外線を、遅延型光硬化性樹脂に照射する透明な受光部と、紫外線照射後の遅延型光硬化性樹脂を、被塗布物上に吐出する吐出部４を有する遅延型光硬化性樹脂塗布装置１である。 （もっと読む）

【課題】塗布欠陥、特に、バルクロールの接合部前後に発生する塗布欠陥を大幅に低減させるとともに、生産性を大幅に向上させる。
【解決手段】帯状可撓性の支持体１６を連続走行させながら、支持体の表面に塗布手段１１によって塗布液を塗布することにより機能性膜を形成する光学フィルムの製造方法である。塗布手段の上流側に複数本の粘着ローラ２２、２４を設け、粘着ローラの表面に支持体の表面及び／又は裏面を接触させて、支持体の表面及び／又は裏面に付着した異物を除去する。 （もっと読む）

【課題】 連続走行する金属帯１の上方に配置した液膜生成装置３にてカーテン状の液体膜２を生成し、生成した液体膜２を金属帯上に自由落下させて液膜を金属帯表面に塗布するカーテン塗布装置において、塗布膜の品質を良好に保持することのできるカーテン塗布方法及びカーテン塗布装置を提供する。
【解決手段】 液体膜２の金属帯１への衝突地点６より上流側にガス吐出ノズル４を設け、該ノズルは１個又は複数個のガス吐出口５が金属帯１の幅方向全体に上流側方向にガスを吐出し、液体膜の幅方向１２と金属帯の幅方向１１とがなす角度θ（液体膜の幅方向角度θ）を金属帯１の幅に応じて変化させ、ガス吐出口の配列方向１３と金属帯の幅方向１１とがなす角度α（ガス吐出口の配列方向角度α）は液体膜の幅方向角度θ変化に応じて変化させることを特徴とするカーテン塗布方法及びカーテン塗布装置。 （もっと読む）

【課題】 ウェハなどの基板を、少量の成膜材を用いて全面均一にコーティング可能な基板への成膜材の塗布方法、基板被膜装置、及び成膜材の塗布プログラムを提供し、材料費のコスト削減を可能とすること。
【解決手段】 基板上にプリウェット材を滴下するステップと、前記基板を水平回転して滴下された前記プリウェット材を前記基板表面の全体に塗布するステップと、前記プリウェット材が塗布された前記基板上に、前記プリウェット材を再度滴下するステップと、再度滴下された前記プリウェット材中に、成膜材を滴下するステップと、前記成膜材が滴下された状態を所定時間維持するステップと、前記基板を水平回転させて前記成膜材を前記基板表面の全体に塗布するステップとを有する。 （もっと読む）