【課題】発生する揮発性有機化合物、悪臭物質及びヤニ類を効率よく分解して無害化できる、安価な構造及び運転コストの低廉な排気ガス処理装置を有する省エネ式の乾燥・焼付炉を提供する。
【解決手段】乾燥・焼付炉１の上部を区画し、この部分に揮発性有機化合物を含むガスやヤニ類を、触媒と接触させて無害化する浄化装置１９を設け、触媒の加熱及び反応熱を使って乾燥・焼付部７の吸気を加熱することで、乾燥・焼付部７と浄化装置１９を一体とする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから吐出された液滴に変質等が生じないように吐出空間の雰囲気を置換することが可能なデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 デバイスの製造方法は、基板をチャンバ内に搬入して載置台に載置する工程と、待機位置において封止部材により液滴吐出ノズルを隔離した状態で、チャンバの内部を減圧する減圧工程と、ガス供給機構からチャンバ内にパージガスを導入してチャンバ内部の雰囲気を置換するとともに大気圧状態に戻す雰囲気置換工程と、封止部材による液滴吐出ノズルの隔離を解除し、液滴吐出ノズルを吐出位置に移動させて被処理体へ向けて前記液滴を吐出する吐出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】均一なインク乾燥を実現するとともに、装置周りの外部環境を良好に保つインク乾燥装置、を提供する。
【解決手段】インク乾燥装置は、ポリイミド溶液が塗布された基板２１が設置される乾燥炉１２と、基板２１上に配置され、乾燥炉１２内に空気を送る送風機４１と、乾燥炉１２内に設けられ、基板２１と送風機４１との間に配置されるパンチング板５１とを備える。パンチング板５１は、基板２１を平面的に見た場合のその外周領域６１に向けて空気を供給可能なように設けられる。 （もっと読む）

【課題】有機溶媒蒸気を速やかに炉外に排出することができ、塗膜を効率的に乾燥させることができるバッチ式塗膜乾燥炉を提供する。
【解決手段】塗膜が形成された平面状のワーク３が載せられるステージ２と、その上方の天井部に配置されワーク３を加熱する赤外線加熱装置５と、ステージ２を挟んで設置された送風手段１１及び排気手段１２とを備える。この構成により、赤外線加熱装置５とワーク３との間の空間内にワーク３の上面から離隔した高さの横風を形成し、塗膜から発生する有機溶媒蒸気を速やかに炉外に排出する。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、乾燥工程における円筒状塗布物の長手方向の温度ムラを抑制し、品種による設備の切替えのない円筒状塗布物の乾燥装置及び乾燥方法を提供する。
【解決手段】円筒状基体の外周面に所定の塗布液が塗布されてなるワークＷを内部に保持する加熱室１０ｈと、加熱室１０ｈのワークＷの長手方向における一方の端部側に設けられ、所定温度の熱風Ｈ１をワークＷに供給する熱風供給手段１と、加熱室１０ｈのワークＷの長手方向における他方の端部側に設けられ、ワークＷの円筒外部及び円筒内部を通過した熱風Ｈ３を外部に排気する熱風排気手段３と、ワークＷの円筒内部であって前記他方の端部側に配置され、該円筒内部の熱風Ｈ２ｂについてワークＷの略内径中心領域を遮り、前記円筒内壁側を通過させるようにする円柱形状のセンターコア部材３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明では、電気機器ケースの塗装乾燥時において、ケース本体と付属部材との温度差（温度勾配）を極力抑えることにより、塗装乾燥の効率化を図り、さらには設備コストも抑えた電気機器ケースの塗装乾燥装置を提供することにある。
【解決手段】 塗装が施されているケース本体１２と、ケース本体に取り付けられて塗装が施されている各付属部材１１とを加熱することで塗装を乾燥させる電気機器ケースの塗装乾燥装置において、電気機器ケースの内部に設けられた高周波誘導加熱コイルから成る誘導加熱器２０と、電源に接続され前記各付属部材１１を覆うように設けられた高周波誘導加熱コイルから成る部材誘導加熱器３０とを具備し、誘導加熱器及び部材誘導加熱器の高周波誘導加熱により、前記ケース本体と前記付属部材との塗装を乾燥させることを特徴とする電気機器ケースの塗装乾燥装置である。 （もっと読む）

【課題】装置の稼動を停止させずに、設備の不稼動及び故障を未然に察知できる乾燥装置を提供すること。
【解決手段】乾燥装置１は、乾燥装置において使用されるエネルギ量を算出する算出部１０１と、乾燥装置１において使用されたエネルギ量を測定する測定部１０２と、算出部１０１により算出されたエネルギ量と、測定部１０２により測定されたエネルギ量との差異に基づいて、乾燥装置１に異常が発生しているか否かを判定する異常判定部１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板に対して反射防止膜を形成する工程、レジスト膜を形成する工程、露光後の基板に対して現像を行う工程を実施する塗布、現像装置において、装置の奥行き寸法を抑えること。
【解決手段】基板にレジスト膜を形成するためのＣＯＴ層Ｂ４と、レジスト膜の下側に反射防止膜を形成するためのＢＣＴ層Ｂ５と、レジスト膜の上に反射防止膜を形成するためのＴＣＴ層Ｂ３と、現像処理を行うためのＤＥＶ層Ｂ１，Ｂ２とを互に積層する。これら積層体の前後に各層に対応する受け渡しステージを積層した受け渡しステージ群を設け、受け渡しステージを介して各層の間で基板の受け渡しができる。またレジスト液を基板に塗布するユニットなどの薬液ユニットについては、横並びの３連カップを共通の処理容器内に配置し、これらカップ内でレジスト塗布などの液処理を行う。 （もっと読む）

【課題】低出力のモータでも車体を昇降できる車体用乾燥装置を提供すること。
【解決手段】車体用加熱乾燥装置は、高フロアに設けられたコンベヤに沿って車体を搬送し乾燥させる乾燥ラインと、乾燥ラインに搬入又は搬出される車体を高フロアと低フロアとの間で昇降するドロップリフタ２と、を備える。乾燥ラインの入口６１および出口６２は隣接して設けられる。ドロップリフタ２は、入口６１に搬入される車体Ｗを保持する保持台３１が昇降可能に支持された第１昇降装置３と、この第１昇降装置３に隣接して設けられ、出口６２から搬出された車体Ｗ´を保持する保持台４１が昇降可能に支持された第２昇降装置４と、保持台３１，４１を昇降するための動力を発生するモータ５１と、モータ５１で発生する動力と保持台４１を車体Ｗ´とともに自重下降させる力との合力により、保持台３１を上昇させる動力伝達機構５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】インクジェット法により塗工した直後の未乾燥インク中の溶剤除去を溶剤雰囲気をリッチ状態にして行っても、天板に付着した溶剤が基板上に落下しない加熱乾燥装置を提供する。
【解決手段】密閉可能なチャンバー２７、チャンバー内に設けられた基板を載置する加熱部２０、加熱部の上方に設けられた天板３０で構成され、加熱により蒸発し、天板下面に付着した溶剤を除去する手段を設けたこと。密閉可能なチャンバー内の溶剤蒸気を排出する排気手段２１を設けたこと。溶剤を除去する手段が傾斜をもたせた天板、天板下面を覆うウイック状材料３３、或いは多孔質材料４０からなる天板である。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化にも影響されることなく、塗布基板を生産するのに必要なタクトタイムを短縮させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、塗布工程において前記ステージに載置された基板に塗布液を吐出して基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、乾燥工程において前記ステージに載置された基板に形成された塗布膜を乾燥させる乾燥ユニットと、を備えており、前記塗布工程における基板を載置するステージと、前記乾燥工程における基板を載置するステージとが共通のステージとした。 （もっと読む）

【課題】塗料の評価試験用の塗り板を対象として、この塗り板を誘導加熱により所望する温度まで上昇可能とした塗料乾燥装置を提供すること。
【解決手段】筐体２と、筐体２の上面に装備したトッププレート３と、筐体２の内部においてトッププレート３の下方に配設したワークコイル７と、ワークコイル７に電流を供給するための制御手段８とを具備し、トッププレート３は、塗り板を載置するための載置凹部４を有するとともに、載置凹部４の底部分に、カバー用ガラス１１で塞いだセンサー用の小窓５を形成し、ワークコイル７は筐体２内において載置凹部４の下方に配置し、ワークコイル７の下方で、かつ小窓５の下方に、載置凹部４内に配置した塗り板の温度を検知するための温度センサー６を配置し、載置凹部４内に配置した塗り板の温度を温度センサー６で検知しながら、制御手段８によりワークコイル７に供給する電流を制御することとした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、結露がなく、乾燥条件の経時変動が少ない加熱減圧乾燥装置を提供することを主目的とするものである。
【解決手段】本発明は、被乾燥体の下方に配置され、下方から上記被乾燥体を加熱する下部加熱手段と、上記被乾燥体の上方に配置され、上方から上記被乾燥体を加熱する上部加熱手段と、上記下部加熱手段および上部加熱手段を収納するチャンバーと、上記チャンバー内を減圧する減圧手段と、上記チャンバーを加熱するチャンバー加熱手段と、を有することを特徴とする加熱減圧乾燥装置を提供することにより上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】乾燥工程時に熱風の循環方式を改善して乾燥效率を高めることができるし、これと併せてブース設備の規模縮小及び燃料節減によるエネルギー效率を極大化させることができる塗装ブースを提供する。
【解決手段】ブース本体１１の一側に給気チャンバ１７を配置して、乾燥工程時に給気チャンバ内で１次加熱した熱風をブース本体の上部で電気ヒーター２７で再び加熱することで、ブース内に供給される熱風の温度を均一にさせて、給気チャンバ内にダンパ２５，２６及び循環ファン１５を設置して流速を遅く調節することによって、ブース本体を通じて循環されて来る熱風だけではなく、加熱室２３の熱風を再び循環させながらこれを電気ヒーターで２次加熱して供給するようにすることで、熱損失を最大限減らしてブース本体内に供給される熱風の熱量を短時間に高めて均一に供給でき、熱風の安定的な流れを誘導して燃料節減によるエネルギー效率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】周囲の環境を損なうことなく、レジスト膜の膜厚のばらつきが発生することを抑制するレジスト膜乾燥装置を提供する。
【解決手段】レジスト膜乾燥装置は、基板９に塗布された溶媒成分を含むレジスト膜１０を加熱する加熱プレート２を有している。また、レジスト膜乾燥装置は、レジスト膜１０の表面に近接するように、下面がレジスト膜１０の表面に対向する位置に配置された対流抑制板３と、対流抑制板３の下面の外周の外側上方に排気口５ａが形成された外装排気カバー５と、を有している。 （もっと読む）

【課題】熱エネルギーの利用効率の良い加熱装置を実現する。
【解決手段】加熱装置は、下部に加熱対象物の出し入れをするための開口部６ａを有する加熱容器６と、この加熱容器６の温風の出口８に温風を供給する加熱手段７と、加熱容器６の下方に昇降自在に設けた作業台１とを有し、作業台１には、その上昇時に、加熱容器６の温風の出口８と連結する温風入口９と、この温風入口９から入った温風を上方に吹出す温風吹出口１０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥装置を構成する加熱乾燥室内において有機溶剤を含む塗液からなる塗膜の加熱乾燥を行うに際し、乾燥過程で塗膜から蒸発する有機溶剤のガスの加熱乾燥室内における濃度を低く保つことにより、有機溶剤のガスが凝着して有機溶剤が塗膜に付着し難く、かつ有機溶剤が塗膜内に吸収され難いようにし、塗膜中の残留有機溶剤濃度が高くならないようにして塗膜の加熱乾燥が行えるようにした、加熱乾燥装置の提供を目的とする。
【解決手段】基板やフィルム基材等の上に塗布されている、有機溶剤を含む塗液の塗膜を加熱乾燥するための加熱乾燥装置であって、塗膜を乾燥させるための加熱乾燥室内のいずれかには酸化触媒を含む酸化触媒膜が設けられている部材が配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成および制御によって、チャンバ内部や排気管内部に結露の原因となり得る低温部が発生することを防止することにより処理時間を短縮することが可能な減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１０は、チャンバ上・下部１２，１４、排気管３２、減圧ポンプ２８、仕切りシート材１６、熱風発生器２０、および熱風導入管３４を備える。排気管３２は、チャンバ上・下部１２，１４内部に連通するように構成される。減圧ポンプ２８は、排気管３２を介してチャンバ上・下部１２，１４内部を減圧するように構成される。仕切りシート材１６は、少なくともチャンバ上・下部１２，１４における排気管３２との接続箇所と排気管３２とを囲んで閉空間を形成する。熱風発生器２０および熱風導入管３４は、仕切りシート材１６によって閉じられた空間内に所定温度の熱風を供給させるように構成される。 （もっと読む）

【目的】 乾燥エリア内における基板へのパーティクルの付着を抑止した上で、塗布膜用乾燥装置の上下方向の短尺化を図ると共に、乾燥エリアの多数段化を図る。
【構成】 加熱手段（ホットプレート）３により加熱乾燥を行う乾燥エリア２内に、上面に塗布液が塗布された基板４を配置すると共に、基板支持用の２つの支持手段５、６を駆動手段７が相対移動させることにより、一方の支持手段５が基板４の下面を複数の点で支持する形態と、他方の支持手段６が基板４の下面を一方の支持手段５とは異なる複数の点で支持する形態とに切り換えるように構成し、且つ、駆動手段７を、平面視で乾燥エリア２の周縁部よりも外方側領域Ｓに配備する。 （もっと読む）

【課題】小さな設置面積で効率よくウェブを略均一に加熱、冷却できる加熱冷却装置を提供する。
【解決手段】本発明のウェブの加熱冷却装置１は、所定の速度で搬送されるウェブの搬送経路中でその上流側に加熱手段１ａと下流側に冷却手段１ｂとを相互に隣接させて備える。冷却手段１ｂは、ウェブＲＬの片面に向かって気体を吹き出す吹き出しノズル１７を有し、この吹き出しノズル１７は、前記ウェブの下流側方向またはウェブに対し直角方向からウェブに近接させ、その先端部をウェブの搬送方向下流側を指向するように曲げたものである。 （もっと読む）