【課題】有機溶媒蒸気を速やかに炉外に排出することができ、塗膜を効率的に乾燥させることができるバッチ式塗膜乾燥炉を提供する。
【解決手段】塗膜が形成された平面状のワーク３が載せられるステージ２と、その上方の天井部に配置されワーク３を加熱する赤外線加熱装置５と、ステージ２を挟んで設置された送風手段１１及び排気手段１２とを備える。この構成により、赤外線加熱装置５とワーク３との間の空間内にワーク３の上面から離隔した高さの横風を形成し、塗膜から発生する有機溶媒蒸気を速やかに炉外に排出する。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムの生産工程において、樹脂フィルムに塗布された塗膜を乾燥させる際、塗膜が塗布されていない樹脂フィルム端部の過加熱を防止することが可能な、塗膜乾燥装置を提供すること。
【解決手段】樹脂フィルムの片面側または両面側から熱風を介して前記樹脂フィルムを加熱する第一の加熱機構と、前記樹脂フィルムの搬送経路方向であって前記第一の加熱機構の上流側または下流側に隣接して設けられ、前記熱風を回収し排出する熱風排出機構と、前記熱風排出機構の回収する熱風の進入口に、赤外線により前記樹脂フィルムを加熱する第二の加熱機構を有し、前記樹脂フィルムの幅方向両端部において、前記加熱機構２と樹脂フィルムとの間に、空孔を有する遮蔽板および遮蔽カーテンを設ける。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなく効果的に乾燥むらの発生を抑制できる塗布物乾燥装置を提供する。
【解決手段】基材１２の表面１２ａに塗布された塗布物を乾燥空間６１で乾燥させる。表面と略直交する第１方向Ｚに沿って乾燥空間に乾燥用気体Ｗ１を給気する第１給気部６４と、表面と略平行な第２方向Ｘに沿って乾燥空間に乾燥用気体Ｗ２を給気する第２給気部６９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】熱風消費量の増大を抑制しつつ、塗布膜を効率良く乾燥させることができる乾燥装置および該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムを提供する。
【解決手段】塗布処理によって塗布膜が形成された基材５が予熱部２０から乾燥部４０へと搬送されて乾燥される。予熱部２０は、塗布直後の塗布膜が形成されている基材５の上方から直接熱風を吹き付けるのではなく、赤外線放射および下方からの間接的な熱風吹き付けによって塗布膜を予熱している。乾燥部４０は、予熱後の基材５に対して上下の双方から直接熱風を吹き付けることによって溶剤の蒸発を促進している。また、予熱部２０にて３つの通気ボックス２５を順次に通過した熱風を導風管３５によって乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に導き、予熱部２０にてセラミックプレートを加熱するのに使用された熱風を乾燥部４０にて再利用している。 （もっと読む）

【課題】乾燥初期段階の熱風乾燥によるバタ付きを熱風の送風力により阻止して支承ローラとの接触・離間による品質の劣化を防止でき、搬送高さや装置の高さが高くなってしまうことも防止でき、メンテナンスも容易で装置の高額化も抑えることも可能となるなど画期的な膜塗工機を提供すること。
【解決手段】膜塗工装置Ａに塗工を終えたフィルム状の被塗工体４の塗工膜５を乾燥する乾燥装置Ｂを設けた膜塗工機であって、熱風送風部８から送風される熱風が支承ローラ７間のフィルム状の被塗工体４を送風圧により押圧して、支承ローラ７にこのフィルム状の被塗工体４が常に押圧接触保持されるように乾燥装置Ｂを構成した膜塗工機。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で、乾燥工程における円筒状塗布物の長手方向の温度ムラを抑制し、品種による設備の切替えのない円筒状塗布物の乾燥装置及び乾燥方法を提供する。
【解決手段】円筒状基体の外周面に所定の塗布液が塗布されてなるワークＷを内部に保持する加熱室１０ｈと、加熱室１０ｈのワークＷの長手方向における一方の端部側に設けられ、所定温度の熱風Ｈ１をワークＷに供給する熱風供給手段１と、加熱室１０ｈのワークＷの長手方向における他方の端部側に設けられ、ワークＷの円筒外部及び円筒内部を通過した熱風Ｈ３を外部に排気する熱風排気手段３と、ワークＷの円筒内部であって前記他方の端部側に配置され、該円筒内部の熱風Ｈ２ｂについてワークＷの略内径中心領域を遮り、前記円筒内壁側を通過させるようにする円柱形状のセンターコア部材３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一な厚膜の塗布膜を形成する方法を含む半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】高粘度のレジスト３塗布によって形成された半導体ウェハ外周部分の盛り上がり部を有する第一の塗布膜上にダイナミックディスペンスにて低粘度のレジストを高回転で塗布し、盛り上がり部の膜厚を第一の塗布膜の膜厚と第二の塗布膜の膜厚の和と同程度にする。 （もっと読む）

【課題】極めてエネルギー効率の良い塗装乾燥装置を提供する。
【解決手段】塗装乾燥装置１は、排温水Ｘを生ずる自動車製造工場に設置されており、塗装されたボディーに温風を作用させて当該塗装を乾燥させる乾燥炉２と、ボディーに冷風を作用させて前記塗装を冷却する冷却炉４と、この温風を生成するためにエアを加熱する温水を加熱すると共に、この冷風を生成するためにエアを冷却する冷水を冷却するヒートポンプ１０と、この冷水と排温水Ｘとを導入し熱交換することで当該冷水を当該排温水Ｘにより加熱する熱交換機３０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板面内での熱処理温度のばらつきを抑制し、基板面内における配線パターンの線幅を均一化する。
【解決手段】基板搬送路２を形成し、被処理基板Ｇを基板搬送路に沿って平流し搬送する基板搬送手段２０と、被処理基板に対する熱処理空間を形成する第一のチャンバ８Ａと、第一のチャンバ内を加熱または冷却可能な第一の加熱・冷却手段１７，１８と、第一のチャンバの前段に設けられ、基板搬送路を搬送される被処理基板を検出する基板検出手段４５と、基板検出手段の検出信号が供給されると共に、基板搬送手段による基板搬送速度を制御可能な制御手段４０とを備え、制御手段は、基板検出手段の検出信号により被処理基板の搬送位置を取得し、基板搬送方向に沿って複数に分けられた被処理基板の領域ごとに、基板搬送手段による基板搬送速度を切り換え、第一のチャンバ内における滞在時間を制御する。 （もっと読む）

【課題】被乾燥物中の暖まり易い部位に対して与えていた余分な熱量を削減できる乾燥技術を提供することを課題とする。
【解決手段】乾燥炉にて、（ｂ）に示される時間Ｔａの間、車体のサイドシルに、加熱手段から出る放射熱を加える。
【効果】サイドシルに放射熱を加えることで、サイドシルの温度を車体のドアアウタパネルの温度に確実に近似させることができる。サイドシルとドアアウタパネルを略同一に昇温させることができるので、ドアアウタパネルに対して余分な熱を与えることがない。したがって、ドアアウタパネル（被乾燥物中の暖まり易い部位）に対して与えていた余分な熱量を削減できる乾燥技術を提供できる。 （もっと読む）

【課題】局所加熱による加熱回数を少なくして、タクトタイムの短縮を実現することができる局所加熱装置および局所加熱方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る局所加熱装置７０は、処理基板１３上に散在する加熱対象点のなかから一括加熱が可能な加熱対象点を複数個抽出して、抽出した加熱対象点を一括加熱するように、加熱手段３を制御する温度調整部５および一括加熱制御部６を備えている。 （もっと読む）

【課題】設備費をより低減すると共に、各別の塗工工程において、最適条件により塗工を行うことができる電極製造方法、及び電極製造装置を提供すること。
【解決手段】帯状の電極箔２に塗工材４１を塗工する塗工材塗工工程と、塗工材塗工工程で塗工を受けた電極箔２をその長手方向に搬送しつつ塗工層３を乾燥させる乾燥工程とを有する電極製造方法において、電極箔２の進行方向を反転させると共に、電極箔２の表裏を反転させる反転工程を有し、塗工材塗工工程では、電極箔２の一面Ａに塗工材４１を塗工する第１塗工材塗工部４５と、電極箔２の他面Ｂに塗工材４１を塗工する第２塗工材塗工部４６とを備える１つの塗工材グラビアロール４３により、電極箔２における一面Ａの塗工と他面Ｂの塗工とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】 印刷機等に用いられる乾燥オーブンにおいて、短いコンパクトな乾燥ゾーンで、油性の塗布液剤はもちろん水性化された塗布液剤においても、走行スピード（１２０ｍ／ｍｉｎ以上）を落さず乾燥することができるようにする。
【解決手段】 第１印刷ユニット２００の乾燥部２２０には熱風噴出しノズル２２２が多数設けられている。熱風噴出しノズル２２２に対応するように、前段には加熱ガイドロール２２３ａ、後段には冷却ガイドロール２２３ｂが設けられている。加熱ガイドロール２２３ａには、温水を注入するための送液管２２４ａが連結され、冷却ガイドロール２２３ｂには、冷却水を注入するための送液管２２４ｂが連結されている。導入された原反１は加熱ガイドロール２２３ａで溶剤の沸点以上にまで加熱される。 （もっと読む）

【課題】連続走行する帯状可撓性支持体に各種液状組成物を塗布して形成した塗布膜面の乾燥において、乾燥ムラを抑制し、且つ効率良く乾燥する。
【解決手段】連続走行する帯状可撓性支持体１２に塗布手段１６で各種液状組成物を塗布した塗布直後の走行位置の塗布面側に、塗布液中の溶媒を凝縮、回収させるドライヤ１８を配設し、該ドライヤ１８の後の走行位置に通風乾燥手段を配設して、塗布膜を乾燥させるようにした。凝縮された溶媒を塗布面より上側で回収する。 （もっと読む）

【課題】複数コートを必要とするワークの塗装に際して、塗装ラインを小型化可能であるとともに、塗装時間の短縮を図ることを可能とする。
【解決手段】塗装領域４ａ又はセッティング領域４ｂに成り得る作業領域４を有した塗装テーブル３と複数の塗料噴射手段５を具備した塗装エリア２と、塗装後のワークを誘導加熱で乾燥する複数の乾燥エリア１８、１９と、ワークを移動する移動手段２８と、を具備し、未塗装のワークを塗装テーブル３に移動して一次塗装し、一次塗装後のワークを乾燥エリア１８で一次乾燥し、一次乾燥後のワークを塗装テーブル３に移動して二次塗装し、二次塗装後のワークを乾燥エリア１９で二次乾燥し、以後、ワークの塗装と乾燥を、必要数の塗装及び乾燥が終了するまで繰り返し、必要数の塗装及び乾燥が終了したワークをラインより取り外すことを可能にしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自動車ボデー等の塗装補修する際にその補修箇所に塗料、特に水性塗料を塗布し、この塗装面を乾燥処理するのに好適な乾燥装置を提供すること。
【解決手段】送風機と、流入口及び流出口を有する容器に、加熱ヒータ及び該加熱ヒータからの熱を蓄熱する蓄熱部材を収容し、前記送風機から該流入口を通して送風された気体を熱風に変換して該流出口から噴出する熱風発生器と、この熱風発生器に接続されて該熱風発生器からの熱風を噴射する吹付け手段と、前記送風機及び前記加熱ヒータを制御し、吹付け手段２０から噴射する熱風の温度及び風量を所定範囲内に調整する制御手段と、を備え、制御手段は、吹付け手段の熱風噴射時には高速運転を行い、熱風の噴射を行わない蓄熱時には低速運転を行うように前記送風機を制御する送風機制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂フィルムの製造工程中において、乾燥装置内部に析出した昇華物質起因による異物欠点が極めて少なく、高速かつ高品質で安価に乾燥することが可能な、乾燥装置を提供すること。
【解決手段】被加熱物の片面側または両面側から熱風を介して被加熱物を加熱する第１の加熱機構と、前記被加熱物の搬送経路方向であって前記第１の加熱機構の上流側または下流側に設けられ輻射熱により前記被加熱物を加熱する第２の加熱機構と、前記被加熱物の搬送経路方向であって前記第１の加熱機構の上流側または下流側に設けられ前記熱風を回収し排出する排出機構とを有する乾燥装置であって、前記第２の加熱機構を前記排出機構の内部に設け、かつ前記第２の加熱機構の排気下流側に整流手段を設けた構成を有する。 （もっと読む）

車体および／または車体部品の形態をなす被塗装対象物を一時的に格納するため、かつ／または車体および／または車体部品の形態をなす被塗装対象物を塗装施設（１００）の１つの処理区域から他の処理区域に移送するための一時格納ユニット（１０７）において、被塗装対象物の塗装の質を損ねることなく、被塗装対象物を中間格納ユニット内に長期間にわたって、例えばシフト変更の間、一晩中または週末にわたって格納可能である一時格納ユニット（１０７）を提供するために、クリーンルーム領域として構成された一時格納ユニットが提案される。
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【課題】本発明は、装置の小型化が可能で、また、加熱効率が良く、イニシャル・ランニングコストが安くすることを課題とする。
【解決手段】本発明は、回転自在に設けられた筒状のシリンダ５の外周面に接触している布等の被乾燥物３０を搬送させながら乾燥させる近赤外線を用いたシリンダ乾燥装置であって、前記シリンダに近赤外線を照射して該シリンダを昇温させる近赤外線照射手段１０を設けている。 （もっと読む）

【課題】成膜雰囲気を良好にすることができる成膜装置および成膜方法を提供する。また、当該装置および方法により、特性の良好な膜を形成する。
【解決手段】本発明の成膜装置は、処理室(11)内の基板(S1)上に配置された液体材料(3)に熱処理を施すことにより液体材料を固化する成膜装置であって、処理室内に、基板が搭載されるステージ(15)と、基板を加熱する加熱手段(15a)と、基板を覆うカバー(17)と、を有し、カバーの内部に不活性ガス（Ｎ₂）を供給する第１供給手段(19)と、カバーの内部に不活性ガス以外の他のガスを供給する第２供給手段(40)と、を有する。かかる装置によれば、カバーにより基板上の液体材料が接触し得る雰囲気ガスを制限しつつ加熱処理を行うことができるため、膜中に取り込まれる不純物（例えば、酸素など）を低減することができる。また、他のガスを供給することで他の処理（例えば、酸化処理やドーパントの混入処理）などを同一の装置内で行うことができる。 （もっと読む）