【課題】樹脂の溶融状態及び混練状態を正確に確認することができる樹脂成形機を提供する。
【解決手段】樹脂成形機１は、シリンダ３と、シリンダ３に連接して設けられた管状のダイ５４と、シリンダ３内部に設けられたスクリュ２と、シリンダ３又はダイ５４の内部の溶融樹脂が視認できるようにシリンダ３又はダイ５４の外表面に設けられた窓８と、を有している。そして、窓８は、ＣａＦ₂の単結晶、ＣｅＦ₃の単結晶、Ｇｄ₂ＳｉＯ₅の単結晶、又は、Ｙ₃Ａｌ₅Ｏ₁₂の単結晶、で構成されている。 （もっと読む）

【課題】ウエハレンズの製造コストを低減する。
【解決手段】ガラス基板３に対し硬化性樹脂製のレンズ部５が設けられたウエハレンズ１の製造方法は、レンズ部５の光学面形状に対応したポジ形状の成形面を複数有するマスター１０から、前記光学面形状に対応したネガ形状の成形面を複数有するサブマスター成形部２２を硬化性樹脂によって成形するとともに、当該サブマスター成形部２２をサブマスター基板２６で裏打ちすることによってサブマスター２０を形成し、サブマスター２０と、ガラス基板３との間に硬化性樹脂を充填して硬化させレンズ部５成形する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減することができ、かつ、低温で容易に製造することができるウエハレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板３に対し第１の硬化性樹脂５Ａ製のレンズ部５が設けられたウエハレンズ１の製造方法であって、レンズ部５の光学面形状に対応したポジ形状の成形面を複数有するマスター１０から、光学面形状に対応したネガ形状の成形面を複数有するサブマスター成形部２２を第２の硬化性樹脂２２Ａによって成形するとともに、サブマスター成形部２２をサブマスター基板２６で裏打ちすることによってサブマスター２０を形成し、サブマスター２０と、ガラス基板３との間に第１の硬化性樹脂５Ａを充填して硬化させレンズ部５を成形する場合に、マスター１０のモールド成形用材料として低融点ガラス又は金属ガラスを使用する。 （もっと読む）

【課題】転写された微細構造体と設計寸法との間を好適に見積もれるインプリントモールドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明によれば、凹凸パターン幅が小さくなるに従って凹部の側壁角度が傾斜が大きくなることにより、硬化収縮による傾斜変化とインプリントモールドの凹部の傾斜形状とが互いに相殺されるため、凹凸パターン幅の異なる凹凸パターンが転写された微細構造体の側壁角度のバラツキを抑制することが出来る。よって、側壁角度のバラツキを抑制されることから、転写された微細構造体と設計寸法との間を好適に見積もることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来は剥離困難であった密着状態にある２つの基板の剥離が容易になり、特にナノインプリントにおいてパターン欠け等の欠陥の生じないインプリント用モールドと基板との剥離に用いられる基板剥離装置及び基板剥離方法の提供。
【解決手段】密着状態にある２つの基板を剥離する基板剥離装置であって、近接した２片の断面くさび状の刃の間に高圧エアー吐出口を有する剥離開始手段と、前記２つの基板のうち一方の基板を固定する基板固定手段と、固定されていない他方の基板を保持する基板保持手段と、前記２つの基板の間隙に高圧エアーを吐出する高圧エアー吐出手段と、を有することを特徴とする基板剥離装置である。 （もっと読む）

【課題】親モールドの破損が抑えられ、微細パターンの転写精度が高く、転写の際の圧力を低くでき、かつ硬化性樹脂の使用量が抑えられる、微細パターンを有する物品の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】親モールド１００の表面に形成された微細パターンを一旦、転写基材１０４に転写して反転パターンを有するレプリカモールドを製造し、ついでレプリカモールドの表面に形成された反転パターンを物品本体１０２の表面に転写して微細パターンを有する物品を製造するに際し、親モールド１００の微細パターンが形成された表面に、第１の供給手段１７から第１の硬化性樹脂を供給し、該第１の硬化性樹脂を、親モールド１００の微細パターンの転写基材１０４への転写に用いる。 （もっと読む）

【課題】マスターから基板に微視的パターンを複製する方法を提供する。
【解決手段】本発明では、マスター上のトポグラフィ構造の複製物が形成され、必要とされるときに、種々の印刷技術又はインプリント技術の１つを用いて、受け基板上に転写され、次いで溶解される。ナノ構造、マイクロデバイス又はその一部の形成を含む付加的な処理工程もまた、転写前に、複製物を用いて行うことができる。次いで、これらの構造もまた、複製物が転写されるときに基板上に転写され、該複製物が溶解されるときには基板に残る。これは、集積回路その他のマイクロデバイスの製造における種々のリソグラフィ処理工程の相補的な工程として、又は置換工程として適用することができる技術である。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内に樹脂硬化用のエネルギー線を照射することで硬化を行う成形装置において、金型設計の自由度を損なうことなく、樹脂硬化用のエネルギー線を照射可能とする。
【解決手段】成形品をキャビティ１４から突き出すエジェクタピン１７は中実構造を呈しており、エジェクタピンとしての強度を担保するパイプ状部材１７ａと、その内側に挿通される導光部材１７ｂと、を備えて構成されている。導光部材１７ｂは、キャビティ１４内に充填された紫外線硬化型樹脂を硬化させる為に必要な紫外光を効率よく伝播させる部材（例えば、石英ファイバー素線）が用いられ、これによりエジェクタピン１７それ自体が、ライトガイドとして機能するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】針状体の比表面積を増大させるという特徴を有した針状体の作製方法を提供する。
【解決手段】針状体を具備する金型を転写して複製版を作製する工程と、前記複製版を用いて転写成型加工を行って針状体を得る工程とを具備する針状体の製造方法において、
前記転写成型前に前記複製版の構成材料に添加物を加え、前記複製版を用いて転写成型することにより、凸部を有する針状体を形成することを特徴とする針状体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細ガラスパターンを高いパターン精度で形成することができるインプリントモールド用マスクブランクを提供する。
【解決手段】ガラス基板１と該基板上に形成された薄膜２とを有するインプリントモールド用マスクブランク１０であって、上記薄膜２は、Ｃｒ又は酸素を実質的に含まないＣｒ化合物を材料とし、酸素を実質的に含まない塩素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な厚さに形成された上層５と、Ｔａ又は酸素を実質的に含まないＴａ化合物であって、酸素を実質的に含まない塩素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成された中間層４と、Ｃｒ又はＣｒ化合物で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント回数に伴う離型性の劣を改善し、離型性の効果をナノインプリント回数によらず一定にするナノインプリント用金型を提供する。
【解決手段】ナノオーダの凹凸構造からなる転写用パターンｐ１を有し、樹脂からなる被転写材料に押し当てて転写用パターンｐ１を転写するためのナノインプリント用金型１において、金型用基板２上にフッ素化Ｓｉ酸化膜３が形成され、そのフッ素化Ｓｉ酸化膜３に転写用パターンｐ１が形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】微細ガラスパターンを高いパターン精度で形成することができるインプリントモールド用マスクブランクを提供する。
【解決手段】ガラス基板１と該基板上に形成された薄膜２とを有するインプリントモールド用マスクブランク１０であって、上記薄膜２は、Ｔａ又はＴａ化合物、或いはＳｉまたはＳｉ化合物の何れかを主成分とし、フッ素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成された上層４と、Ｃｒ又はＣｒ化合物で形成された下層３との積層膜からなる。 （もっと読む）

【課題】エッチング深さの基板面内分布および再現性を改善したナノインプリント用金型及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ナノオーダの凹凸構造からなる転写用パターンｐ１を有し、樹脂からなる被転写材料に押し当てて転写用パターンｐ１を転写するためのナノインプリント用金型１において、金型用基板２上に金属酸化物層３が形成され、その金属酸化物層３上にＳｉ膜あるいはＳｉＯ₂膜４からなる転写用パターンｐ１が形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 ブレード前縁部外周端の成形を安定化させ、ファン性能の向上およびファン騒音の低減を図ることができる軸流ファンとその成形方法および成形金型を提供することを目的とする。
【解決手段】 ディスク１１の周りに複数枚の翼型ブレード１２が一体に成形されている樹脂製の軸流ファン１０において、翼型ブレード１２の前縁部１４における厚さが後縁部１５の厚さの１．５〜１．８倍とされている。 （もっと読む）

【課題】モールドと被加工物間に光硬化樹脂を介在させた状態でも、モールドと被加工物とを精度高く位置あわせができるモールドを提供する。
【解決手段】モールドであって、
第１の材料を含み構成される基板と、
該基板上に設けられており、且つ該第１の材料とは異なる第２の材料を含み構成されているアライメントマークと、
を備え、
波長６３３ｎｍの可視光に対する前記第２の材料の屈折率は、１．７以上である構成とする。 （もっと読む）

【課題】 モールドや被加工物の変形が少なく、形状を精度よく転写する加工を可能にする。
【解決手段】 被加工物をモールドにより加工するための加工装置であって、前記モールドを支持し、加圧するための第１の支持部材と、前記第１の支持部材と対向して配置された第２の支持部材と、前記支持部材により前記モールドと前記被加工物とを加圧することにより、前記被加工物を加工するための手段とを備え、前記モールドの前記第１の支持部側の面、前記第２の支持部の前記被加工物側の面の内、少なくとも一つに凹部を有し、該凹部は、前記モールドの前記加工面の凹部と対応することを特徴とする加工装置を提供するものである。
【選択図】 図２
（もっと読む）

【課題】形状が均質な針状体を製造するのに好適な針状体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体の製造方法は、基板に柱状体アレイを形成し、該柱状体アレイに等方性ドライエッチング処理を行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、等方性ドライエッチングを用いることにより、柱状体の上部から根元部にかけて段階的にエッチングレートが変化するため、柱状体アレイを自己整合的に柱状体の上部から根元部にかけ段階的に太くなったテーパー形状に加工することが出来る。 （もっと読む）

【課題】耐久性、及び基板に対する転写性が高く、ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアに高品質なパターンを転写形成するモールド構造体の提供。
【解決手段】厚みが０．３ｍｍ〜２．０ｍｍであり、表面にインプリントレジスト層が形成された基板に対し、表面に凹凸パターンが形成され、該凹凸パターンを前記インプリントレジスト層に対向させて該インプリントレジストに前記凹凸パターンを転写するモールド構造体であって、該モールド構造体の厚み（Ｄｍ）と、前記基板の厚み（Ｄｓ）と、該モールド構造体のカール量（Ｃ）とが、数式：０．０１≦１０，０００×（Ｄｍ^３／Ｄｓ^３）^１／２×Ｃ^２≦２５０を満たすことを特徴とするモールド構造体等である。 （もっと読む）

【課題】黄変が防止され、色相が良好なポリカーボネート樹脂成形体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ポリカーボネート樹脂組成物を押出成形してペレットとし、これを射出成形して透明ポリカーボネート樹脂成形体を製造する。成形機のスクリュ等に、酸化開始温度が７００℃以上の皮膜を設ける。得られた透明ポリカーボネート樹脂成形体を、加熱してアニール処理してもよい。 （もっと読む）

【課題】断熱性並びに耐久性に優れた発泡樹脂成形機の蒸気室構成部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】フレーム５、６とバックプレート３、４と金型７、８とからなる発泡樹脂成形機の蒸気室構成部材において、フレーム５、６を、断熱を目的とした多孔質体５０に、消失模型鋳造法により形成された金属製の壁面５１、６１が鋳ぐるみで接合されたものとする。蒸気室構成部材の製造方法は、フレーム５、６の壁面５１、６１を形成するための消失模型を多孔質体５０に接合した後、溶湯を前記消失模型に流し込んで、フレーム５、６の壁面５１、６１を多孔質体５０に鋳ぐるむことを特徴とする。 （もっと読む）