【課題】
本発明は、局所的な突起による凸部を有する被転写部材に微細パターンを高精度で転写できるインプリント用スタンパを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、表面に凹凸形状が形成されたインプリント用スタンパであって、前記凹凸形状が形成されたパターン部と、前記パターン部の裏面に配置されたスタンパ裏面部とを有し、前記パターン部のヤング率が５００ＭＰａ以上から１０Ｇｐａ以下の範囲であり、前記スタンパ裏面部のヤング率が前記パターン部のヤング率よりも小さいインプリント用スタンパを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成形タクトを短くすることができるナノインプリント装置を提供する。
【解決手段】モールドホルダと、ゴムシートと、表面に微細パターンを有するモールドと、基板ホルダと、第１熱源金型と、第２熱源金型とを備え、前記モールドホルダと、前記ゴムシートと、前記モールドと、熱可塑性プラスチック基板と、前記基板ホルダとを、この順で、前記モールドの微細パターンが前記熱可塑性プラスチック基板と向かい合うように積層したものを、前記基板ホルダ側から前記第１熱源金型、前記モールドホルダ側から前記第２熱源金型によって挟み込んで加熱プレスすることによって、前記モールドの微細パターンを前記熱可塑性プラスチック基板に転写するナノインプリント装置であって、加熱プレス時に、前記第１熱源金型は前記熱可塑性プラスチック基板をそのガラス点移転温度より高温に加熱する。 （もっと読む）

【課題】ロールの外周面の凹凸パターンを高い精度で樹脂シートに転写でき、特に凹凸パターンのピッチがサブミクロン領域のナノインプリントシートを高い生産性で製造できるナノインプリントシートの製造装置を提供する。
【解決手段】本発明のナノインプリントシートの製造装置１は、凹凸パターン１０ｂが形成された外周面１０ａの一部に樹脂シートＡが巻き付けられて密着するインプリントロール１０と、樹脂シートＡのインプリントロール１０に密着し始める部分を加熱するための加熱機２０と、インプリントロール１０の外周面１０ａに密着した樹脂シートＡを剥離させる剥離ロール４０とを具備し、インプリントロール１０の外周面１０ａに密着した樹脂シートＡに、外側から冷風または冷水を吹き付ける冷却機３０をさらに具備する。 （もっと読む）

【課題】熱ナノインプリントに用いられるインプリント治具において、所定のパターンが形成されたスタンパと、スタンパに形成されたパターンが転写されるプラスチックシートとを容易に剥離しうるインプリント治具を提供する。
【解決手段】インプリント治具は、熱可塑性シートにパターンを転写するために表面に転写用パターンが形成された第一金型と、前記第一金型を固定する金型ホルダと、前記第一金型と前記金型ホルダとの間に弾性部材を設け、前記第一金型に接触する該弾性部材の面と反対の面に前記シートを配置し、前記第一金型の該シートに対して反対側に、第二金型を設けたインプリント治具において、該弾性部材と前記第一金型の間、もしくは弾性部材と前記金型ホルダの間に密着性低減手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価にして微細な凹凸パターンが高精度に転写されたプレス成形体を高能率に製造可能なプレス成形装置及びプレス成形方法を提供する。
【解決手段】下金型５の上面に素材シート８を載置する（手順Ｓ１）。上金型２を下降して素材シート８に所要の押圧力を負荷する（手順Ｓ２）。上ステージ３及び下ステージ６の背面に上ヒータ４及び下ヒータ７を密着し、ヒータ４，７の熱で素材シート８の表面を軟化する（手順Ｓ３）。上ヒータ４及び下ヒータ７を上ステージ３及び下ステージ６から離隔してプレス成形品を材料である可塑性プラスチックのガラス転移温度以下の所定温度まで放冷し（手順Ｓ４）。上金型２と下金型５とを型開きし（手順Ｓ５）、上金型２又は下金型５からプレス成形品を剥がし取る（手順Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】大型の大容量の真空ポンプを必要とすることなく、ロール配置部の真空度を、転写率向上効果が得られる所要値まで高め、高い転写率による転写成形をウエブ状の樹脂フィルムに連続して行えるようにすること。
【解決手段】所定の真空圧に減圧されてモールドロール２１とバックアップロール２２とを収容する減圧主室３２の樹脂フィルム入口３６に連続して入口側準減圧室４１を設けると共に、減圧主室３２の樹脂フィルム出口３７に連続して出口側準減圧室５１を設け、入口側準減圧室４１、出口側準減圧室５１を、減圧主室３２の真空圧より絶対圧で見て高い真空圧に減圧する。 （もっと読む）

【課題】ロール状のフィルムをプレス装置に配設した金型の表面から離型するだけでなく、離型動作を高精度に制御してフィルムの成形面間ピッチのばらつきを大幅に抑制する。
【解決手段】微細凹凸形状が表面に形成された金型３と、該金型の表面にフィルムを押圧するプレス装置と、該フィルムを搬送するための搬送装置と、該金型の表面からフィルムを離型するための離型装置とを、少なくとも含む間欠式フィルム成形装置１で、剥離ロール２１と、剥離ロール回転手段２３と、補助ロール２２と、剥離ロール周辺で補助ロールを移動させる補助ロール移動手段と、前記剥離ロールと前記補助ロールがフィルムを剥離ロールに抱きつかせる相対位置関係を保持したまま金型表面近傍を該表面に平行に直動させる案内ガイドと、前記両ロールの直動距離を制御する直動制御装置とを少なくとも備えた間欠式フィルム成形装置。 （もっと読む）

【課題】凸凹構造を有する金型をフィルム表面に押圧する間欠式フィルム成形方法と成形装置。
【解決手段】微細凹凸が表面に形成された金型にフィルムを押圧して微細凹凸を成形後、剥離ロール補助ロールを回転させながら、該両ロールに該フィルムを抱きつかせた状態下で、該両ロールを前記金型表面近傍で該金型表面と略平行にかつフィルム搬送下流側から上流側に移動させることによって該金型表面から該フィルムを離型処理を行う。その後該両ロールの相対位置関係を保持させて該両ロールの回転を停止し、フィルムを該両ロールに抱きつかせ、該両ロールを前記金型表面近傍で該表面と略平行に、フィルム搬送上流側から下流側へ移動させて、金型表面近傍に新たな被加工フィルム面を供給し、しかる後、次の微細凹凸成形を行うように構成し、かつ、前記成形加工と離型処理と新たな被加工フィルム面の供給の一連の処理を繰り返し行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】薄型基板へのパターン転写を高速に行うことができる微小パターン転写装置を提供する。
【解決手段】スタンパと熱可塑性シートを重ね、第１冶具及び第２冶具で挟んだ積層体を、２枚の平行平板で挟んで加熱及び加圧し、前記スタンパに刻まれた微小パターンを前記熱可塑性シート上に転写する微小パターン転写装置であって、前記２枚の平行平板による加熱及び加圧の前に、加熱した第３冶具及び第４冶具で前記積層体を積層方向に挟み前加熱する。 （もっと読む）

【課題】加工精度の良好なマイクロデバイスを簡便に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】金型１の表面に設けられた凹部１１付近に熱可塑性樹脂シート２を配置し、熱可塑性樹脂シート２を減圧条件下において加熱する減圧加熱工程と、加熱された熱可塑性樹脂シート２に対し、減圧条件からの昇圧に伴う押圧力を用いて熱可塑性樹脂シート２を凹部１１に押し込んで成形する凹形状転写工程と、を有することを特徴とする凹凸面を有する成形体２１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、両面の離型性が異なる場合でも、微細構造を樹脂部材の両面に同時に効率的に転写することができ、且つ離型も容易に行うことのできる転写装置及び転写方法を提供することを課題とする。
【解決手段】転写装置は、転写部材３０の表面に微細構造１３Ａ，２３Ａを転写する。転写装置は、転写部材３０を間に挟むよう構成された第１及び第２の型１０，２０を有する。第１及び第２の型１０，２０の夫々に、微細構造１３Ａ，２３Ａが形成された第１及び第２のスタンパ１３，２３が取り付けられる。第１及び第２の型１０，２０の少なくとも一方は、第１又は第２のスタンパを保持する内型１１とその周囲に配置された外型１２とを含む。内型１１と外型１２は互いに移動可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】表面に微細な凹凸パターンを有する基板の品質の安定化を図り、さらなる薄型化、小型化も可能とする。
【解決手段】少なくとも片面に平滑な樹脂面を備えた平板状の被加工物を用いる。この被加工物を所定の形状に打ち抜く金型が初期位置から打ち抜き位置を経て初期位置に戻るまでの型作動工程中に、表面に凹凸模様が形成された転写部材または被加工物の少なくとも一方が加熱により昇温した状態で、転写部材の凹凸模様を被加工物の樹脂面に対し加圧して、凹凸模様を所定の打ち抜き形状に対して位置決めされた所に転写する転写工程を行う。 （もっと読む）

【課題】凹凸形状の段差が小さい樹脂シートを製造した際に、所望の断面形状を得ることができ、特に、各種表示装置の背面に配される導光板や各種光学素子に使用するのに好適な樹脂シートの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ１２より押し出した状態でガラス転移温度Ｔｇ＋５０〜Ｔｇ＋１００°Ｃの温度にあるシート状の樹脂材料１４を型ローラ１６と型ローラに対向配置されるニップローラ１８とで挟圧し、型ローラ表面の凹凸形状を樹脂材料に転写し、転写後の樹脂材料を型ローラより剥離する （もっと読む）

【課題】原反の合成樹脂層側表面にエンボスを深く成形することができるエンボス成形方法およびエンボス成形装置を提供する。
【解決手段】エンボス成形方法において、まず少なくとも一方の面に配置された合成樹脂層１１ａを含む原反１１を準備して供給する。次に、供給されてきた原反１１の合成樹脂層１１ａ側に対して、溶剤１３ａを塗布して、原反１１の合成樹脂層１１ａ側表面１１ｃを軟化させる。その後、合成樹脂層１１ａ側を向くエンボスロール１４と、バックアップロール１５との間で原反１１を挟圧し、溶剤１３ａにより軟化した原反１１の合成樹脂層１１ａ側表面１１ｃにエンボスロール１４によりエンボス１１ｄを成形する。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性樹脂からなる被スタンパー部材中に分散する高架橋有機ポリマー超微細粒子のレオロジー特性が活かされ、優れたインプリント性、転写性を発揮させる熱圧着転写プロセス用被スタンパー部材及び各種の光学素子部材として有用な微細構造転写の機能性樹脂成形体を提供する。
【解決手段】熱ナノインプリント時に形成される厚さ５０ｎｍ〜５００μｍに及ぶ被スタンパー部材の樹脂相の熱可塑性樹脂（Ａ）１００質量部当たり、一次分散性を表す再分散分布指数（ＲＤＮ）値＝ＣＶ（ＩＩ）／ＣＶ（Ｉ）＝１〜３．０で、且つ熱ナノインプリント下にある被スタンパー部材の熱可塑性樹脂（Ａ）中に不溶融状態にある体積基準で表す平均粒子径が５〜８０ｎｍの高架橋有機ポリマー超微細粒子（Ｂ）が０．５〜１５質量部の範囲で含有している。 （もっと読む）

【課題】熱転写後の樹脂製基板との離型性が向上し、長寿命なホットエンボス成形用鏡面板を提供すること
【解決手段】ステンレス（ＳＵＳ４３０）で形成された金属製基材１ａ，１ｂと、金属製基材１ａ，１ｂ表面を被覆する高硬度離型層２ａ，２ｂと、好ましくはチタンＴｉを含む中間層３ｂを有し、高硬度離型層２ａ，２ｂは、ビッカース硬さ（ＪＩＳ Ｂ７７２５）が２０００（Ｈｖ）以上で窒化チタンＴｉＮ等のチタン化合物から形成され、厚さ０．３ｍｍ以下の光記録媒体用基板の成形に適したホットエンボス成形用鏡面板。 （もっと読む）

【課題】反射偏光機能フィルムの上側に一体化された状態においても、高輝度及び広い視野角特性を有するプリズムシートを得ることができ、プリズムシートの複数のレンズ単位の頂部の形状の均一性を高めることができるプリズムシートの製造方法を提供する。
【解決手段】横断面が略三角形状の複数のＶ溝３１，３１が該横断面と直交する方向に並べられており、Ｖ溝３１，３１の最深部３１ａ，３１ａが丸みを帯びている転写版１２を用意する工程と、転写版１２のＶ溝３１，３１の形状を樹脂シートに樹脂を転写することにより、横断面が略三角形状であり、該横断面と直交する方向に延びる稜線を有する複数のレンズ単位が少なくとも一面に並べられており、レンズ単位の頂部が丸みを帯びているプリズムシートを得る工程とを備える、プリズムシートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】マスターモールドを用いて被転写基材に転写加工成形を行ってマイクロニードルを作製するマイクロニードルの製造方法において、形状再現性に優れたマイクロニードルの製造方法及びマイクロニードルを提供することを目的とする。
【解決手段】加工基材５１にＶ字型の溝５２が少なくとも１個以上形成されたマスターモールド５０を用いて被転写基材１１に転写加工成形を行ってマイクロニードルを作製するマイクロニードルの製造方法であって、前記Ｖ字型の溝５２の角度を変えて前記被転写基材１１に複数回転写加工成形を行うことを特徴とするマイクロニードルの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】シートの変形が生じにくい熱可塑性プラスチックシートの製造方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性プラスチックシートよりも剛性の大きい台座１１に熱可塑性プラスチックシートを載せた状態で、微細凹凸パターンの転写を行うプレス成型工程と、その後のスパッタリング成膜や塗布形成などの表面処理工程とを連続的に行う。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸構造を有する構造体を高精細に安定して製造することができる方法を提供する。
【解決手段】反射防止凹凸構造２に対応した形状の成形部１２と成形部１２よりも突出した突出部１５とが一方の面１１に形成された成形型１０に対して、突出部１５と接する一方、成形部１２からは離間するように被成形物４０を配置する。配置した被成形物４０を軟化させた後、被成形物４０を成形型１０の成形部１２でもってプレス成形することにより反射防止凹凸構造体１を得る。 （もっと読む）