【課題】 離型性の良好な加工対象物保持具およびこれを具備する微細加工装置、微細加工用の加工対象物を提供すること
【解決手段】 所定のパターンを有する型１００と加工対象物２００とを押圧して、型１００のパターンを加工対象物２００に転写する微細加工装置において、加工対象物２００を保持する加工対象物保持具１２であって、加工対象物２００を保持する側に、Ｓｉの表面エネルギーより低い材料、例えば離型剤からなる、あるいは酸化膜処理又は窒化膜処理により形成された表面処理層１２２を具備する。 （もっと読む）

【課題】高精細、高アスペクト比などの多種多様な賦形形状に対しても、その形状を良好に賦形可能で、また賦形形状の長期安定性に優れたシートを形成可能な易表面賦形性シート用組成物、及びそれを用いて形成される易表面賦形性シート、易表面賦形性シート積層体、それを用いた表面賦形方法を提供する。
【解決手段】走査粘弾性顕微鏡を用いて、測定される位相差増大開始温度Ｔｓが２５℃以上である組成物、及び該樹脂組成物をシート状に加工してなる易表面賦形性シート。さらには、支持体となる基材層と上記易表面賦形性シート層とを少なくとも含む複数の層からなる積層体であって、かつ、該積層体の少なくとも片側の表面層に該易表面賦形性シート層が配置されている積層体。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント法によるパターン転写を高速に行うことができる方法及び装置を提供する。
【解決手段】表面が軟質性を有する基板材料に対して、表面にパターンが形成されたスタンパを当接し、所定温度で加圧することにより、前記基板材料の表面にパターンを転写する方法であって、複数組の基板材料及びスタンパを加圧方向に重ねて配置し、温度調整手段を有する１対の板状部材により挟み込んで加圧する工程を含むパターン転写方法。 （もっと読む）

【課題】 ゴミの付着によるウェハの変形と、パターン転写時の加重によるウェハの変形や破損を同時に回避できるパターン転写方法を提供する。
【解決手段】 基板１を複数の突起３を有するステージ２により支持し、突起３間に流体８を導入し、かつ導入した流体８を加圧した状態で原盤７を転写層５に押し付ける。 （もっと読む）

本明細書では、ポリマーおよび微細化表面を有する微細構造化層を有する微細構造化ツールが開示され、ニッケル層は前記微細構造化表面の反対側にある微細構造化層に隣接して配置され、前記基材層は微細構造化層の反対側にあるニッケル層に隣接して配置される。その微細構造化表面は約１０００μｍまでに至る最高深さを有する少なくとも１つの形状を有してよい。また、レーザーアブレーションを用いた微細構造化ツールの製造方法が、本明細書で開示される。微細構造化ツールは光学的用途に好適に使用される物品の製造に使用できる。
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【課題】 表面性や転写性を確保しつつ、フラット性に優れ、横スジの発生がなくかつ位相差の低いエンボスシートを提供する。
【解決手段】 ダイ1から押し出された溶融状態の熱可塑性樹脂Mを、軸支点が固定されかつ表面にエンボス加工用の凹凸形状が施された固定ロール2と、軸支点が可動な２本以上のロール41,42に渡された金属製ベルト3とで挟圧することによって、厚み５０〜１３０μｍのエンボスシートを成形する方法において、固定ロール2に対するベルト3の抱き角を、固定ロール2の表面に０．５ＭＰａ以上の面圧で接触するベルト3の接触部31の円弧長が１０〜２０ｍｍとなるように設定する。特に、円弧長が１５〜２０ｍｍとなるように抱き角を設定した場合、横スジの発生がなく、光学用途に適したエンボスシートが得られる。 （もっと読む）

【課題】基板の破損や劣化、およびスループットの低下を招くことなく、樹脂層に対して凹凸パターンを高精度でしかも容易に転写する。
【解決手段】スタンパー側凹凸パターンが形成されたスタンパー２０を加工対象体１０（基材）上の樹脂層３０に押し付ける押し付け処理と、押し付け処理によってスタンパー側凹凸パターンの凸部２６ａを樹脂層３０に押し込んだスタンパー２０を樹脂層３０から剥離する剥離処理とをこの順で実行することでスタンパー側凹凸パターンを樹脂層３０に転写して加工対象体１０の上に凹凸パターンを形成する際に、押し付け処理時に凸部２６ａが樹脂層３０に接した時点ｔ２における樹脂層３０の周囲の圧力（真空チャンバ内の圧力）よりも、凸部２６ａの押し込みを完了した状態（時点ｔ４から時点ｔ５までの間の所定の時点）における樹脂層３０の周囲の圧力の方が低圧となるように減圧処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】複数の微細な凹部又は凸部が２次元的に配列された樹脂成形品を簡単にかつ安価に製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】複数の微細な凹部又は凸部に対応した凹凸パターンを有する金型を、加熱した樹脂基板に所定のプレス条件でプレス加工することによって樹脂製部品を製造する際に、金型の温度、樹脂材料の温度、及び、金型を樹脂材料に所定量押し付けたときに金型が樹脂材料から受ける抵抗力の少なくとも一つを検出して、検出された値に基づいてプレス条件を修正しながら金型を加熱した樹脂材料に押し付ける。 （もっと読む）

【課題】成形時の幅方向の厚さ分布が大きい樹脂シートを製造した際に、欠陥なく所望の断面形状を得ることができ、特に、各種表示装置の背面に配される導光板や各種光学素子に使用するのに好適な樹脂シートの製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】ダイ１２より押し出したシート状の樹脂材料１４とこの樹脂材料の片面側に供給されるバックアップシート２０とを樹脂材料が型ローラ１６側に、バックアップシートがニップローラ１８側になるようにして、型ローラと型ローラに対向配置されるニップローラとで挟圧し、 型ローラ表面の凹凸形状を樹脂材料に転写し、転写後の樹脂材料とバックアップシートとの積層体を型ローラに対向配置される剥離ローラ２４に巻き掛けることにより型ローラより剥離する樹脂シートの製造方法である。ダイ１２の吐出口を、型ローラとニップローラとの共通接線に対し型ローラ側に設けることにより欠陥を低減できる。 （もっと読む）

【課題】 表面性や転写性を確保しつつ、フラット性に優れた熱可塑性樹脂シートを製造する。
【解決手段】 本発明による熱可塑性樹脂シートの製造装置は、軸支点が固定された固定ロール2と、軸支点が可動な２本の可動ロール51,52に巻き掛けられかつダイ1から押し出された溶融状態の熱可塑性樹脂Mを固定ロールの表面に押し付ける金属製の賦形用ベルト3と、軸支点が可動な２本の可動ロール61,62に巻き掛けられかつ固定ロールと賦形用ベルトとによってシート状に賦形された熱可塑性樹脂を更に固定ロールの表面に押し付ける金属製の冷却用ベルト4とを備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的厚肉の樹脂シートの場合であっても、成形後の板反りが小さく、所望の断面形状を得ることができ、特に、各種表示装置の背面に配される導光板や各種光学素子に使用するのに好適な樹脂シートの製造方法を提供する。
【解決手段】ダイ１２より押し出したシート状の樹脂材料１４を型ローラ１６と型ローラに対向配置されるニップローラ１８とで挟圧し、型ローラ表面の凹凸形状を前記樹脂材料に転写し、転写後の樹脂材料を型ローラに対向配置される剥離ローラ２４に巻き掛けることにより型ローラより剥離し、樹脂材料を該樹脂材料のガラス転移温度に対して（Ｔｇ−３０）〜（Ｔｇ＋４０）°Ｃの温度に制御した状態で剥離ローラより剥離する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、易廃棄性や環境負荷の点で優れる紙基材を主体とする、反りの発生を制御した、表面平滑性に優れる光ディスク用紙製基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】紙基材もしくはプラスチックフィルム基材に接着剤を塗布する工程と、前記紙基材とプラスチックフィルム基材を貼り合わせる工程と、前記紙基材とプラスチックフィルム基材からなる積層体の表面を平滑化する工程とからなる光ディスク用紙製基板の製造方法であって、前記平滑化する工程が、金属製無端プレスバンドを備えるダブルバンドプレス機により連続して平滑化を行うことを特徴とする光ディスク用紙製基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】表面にシボ模様を有する成形体を効率良く製造する。
【解決手段】熱可塑性プラスチック材からなるものであって表面側にシボパターン面１１を有し、裏面側には模様層１２を有するシボ付きシート１と離型フィルム３との重合わせにて形成されるラミネート材３０を、所定の温度に加熱する予熱工程（Ａ）と、予熱されたラミネート材３０を真空引き手段９９を有する凹型９１のところに密閉状態を保って設置するセッティング工程（Ｂ）と、凹型９１側から真空引きを行ないラミネート材３０を成形加工する真空成形工程（Ｃ）と、ラミネート材３０を形成するシボ付きシート１の裏面側に熱可塑性プラスチック材を注入するインジェクション成形工程（Ｄ）と、両型９１、９２を開いて成形加工物５を取出すとともに、取出された成形加工物５の表面側に存在する離型フィルム３を引き剥がす離型フィルム除去工程（Ｅ）と、からなる。 （もっと読む）

【課題】短い成形サイクルで成形時の消費エネルギーが少なく、転写性に優れ、且つ内部歪みの少ないプラスチック光学素子等のプラスチック成形品を成形することができるように、その製造方法及び製造装置について工夫すること。
【解決手段】少なくとも１つ以上の転写面(６)を有する金型(９)における一定容積のキャビティ(１１)内に、プラスチック部材を挿入し、次いで該プラスチック部材に加圧気体又は超臨界流体を膨潤させて、該プラスチック部材をガラス転移温度より低い温度で軟化させることにより、上記金型の転写面(６)を該プラスチック部材に転写するプラスチック成形品の製造方法である。
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【課題】ハニカム状に整列した微細な孔からなる周期構造を任意のパターンで有する薄膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】非水溶性ポリマーからなるハニカム状多孔質体にレリーフ及び／又はスリットからなるパターンを有する鋳型を接触させて該パターンをハニカム状多孔質体に転写することを含む、パターン化されたハニカム状多孔質体の製造方法。本発明の製造法は、ハニカム状に整列した微細な孔からなる周期構造を任意の部分で破壊することができ、製造されるパターン化ハニカム状多孔質体は、フォトニック結晶や細胞培養用の基板として利用可能である。 （もっと読む）

【課題】
樹脂組成物を溶融押出した後、シート状押出物を幾何学的模様が付された型付ロールと冷却ロールとの間に挟持することにより幾何学模様が付与された樹脂シートにおいて、ロールに付された幾何学模様の樹脂シート表面への転写再現性が向上された樹脂シートを提供する。
【解決手段】
ポリカーボネート樹脂、あるいはポリカーボネート樹脂とポリエステル樹脂との混合樹脂１００重量部に対し、メタクリル酸エステル・アクリル酸エステル共重合体を０．０５〜１．０重量部含有せしめた樹脂組成物を溶融押出した後、シート状押出物を幾何学模様が付された型付ロールと冷却ロールとの間に挟持する。 （もっと読む）

ナノインプリンティングにより物品上に階層パターンを形成する方法を開示する。本方法は、第１の成形型を用いて第１の温度および第１の圧力で物品上に一次パターンを形成することと（ただし、第１の温度および第１の圧力は、物品の弾性率を減少させることが可能である）、第２の成形型を用いて物品のガラス転移温度未満の第２の温度で一次パターン上に二次パターンを形成することと（ただし、二次パターンの形成は、第２の圧力で行われる）、を含む。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの転写性および離型性を両立できるようにする。
【解決手段】Ｔダイ１２より押し出したポリカーボネート樹脂のフィルム１０を、表面に彫刻形状が設けられ温度設定された成形ロール１３と、温度設定された弾性ロール１４との間に挟み、彫刻形状をフィルム１０に転写した後、彫刻形状を転写したフィルム１０を成形ロール１３上に巡らせ、成形ロール１３から剥離する。フィルム１０のガラス転移温度をＴｇとしたとき、成形ロール１３の表面温度の設定値をＴｇ＋２０℃〜Ｔｇ＋４５℃の温度範囲とし、弾性ロール１４の表面温度の設定値を２０℃以上Ｔｇ以下の温度範囲とする。 （もっと読む）

【課題】 ＰＭＭＡやＰＣなどポリマー材料に、底面が平滑である溝や孔、もしくは底面に極微細な柱状構造を形成可能とするプラズマエッチング方法を提供する。
【解決手段】 真空容器内で所定間隔開けて互いに対向して設けられた一対の電極２２，２４を備え、真空容器１２にマイクロ波を放射し、真空容器１２を共振器としてその内で電子サイクロトロン共鳴によるプラズマを発生させるプラズマ処理装置１０を設ける。真空容器１２内の一方の電極２４側に設けられた被エッチング材料３０をプラズマによりドライエッチングする。被エッチング材料３０はポリマー材料とし、酸素もしくは酸素を主体とした不活性ガスやハロゲン含有ガスとの混合ガスを用いて、これら混合ガスのプロセス圧力を、０．０１Ｐａ以上０．２Ｐａ以下の条件で、プラズマ処理装置１０の電極間に高周波の電力を印加してエッチングを行い、ポリマー材料に平滑加工面を形成する。 （もっと読む）

【課題】
材料選択の幅が広く、低コストで、かつ環境への影響も少なく、金属特有の質感や光沢を視認しやすい金属調多層成形体を提供する。
【解決手段】
透明樹脂シート２と、その透明樹脂シート２より内部にあってその透明樹脂シート２から視認されるように配置される金属装飾層５と、を少なくとも含む金属調多層成形体１であって、透明樹脂シート２における金属装飾層５側の面に金属調の加工溝６を備え、加工溝６の溝内に空気層７が存在する金属調多層成形体１とする。 （もっと読む）