【課題】その表面が超硬材料からなり、高温でも変形しにくいため寿命の長いナノインプリント用スタンパとその製造方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが形成されたそのスタンプ面が、ダイヤモンドにより構成されているナノインプリント用スタンパ。とくにスタンプ面のダイヤモンドが、平均結晶粒径１μｍ以下の微細結晶からなる上記のスタンパ。また、基板上にリソグラフィーによりマザーモールドとなる微細パターンを形成するステップと、該微細パターンの表面に化学的気相成長法によりダイヤモンド膜を形成するステップと、このダイヤモンド膜が形成されたマザーモールドからダイヤモンド膜を分離するステップとを具備するナノインプリント用スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】任意の画像データを用いてエンボス版を製造するエンボス版製造システム等を提供する。
【解決手段】コンピュータ３は、建材画像データ２５、スキャンデータ２６、描画データ２７等の任意の画像データを画像データ２３として保持している。コンピュータ３は、画像データ２３をグレースケール画像に変換後、必要に応じてトーンカーブ調整、レベル補正、リピート処理等の編集を行う。また、グレースケール画像を３次元化して形状を確認し、３次元ＣＧソフト等を用いて形状を編集し、グレースケール画像に変換して彫刻用データ２４とする。彫刻用データ２４を彫刻機５に送り、エンボス版を製造する。 （もっと読む）

【課題】残存する余分な離型剤および溶媒が少ないインプリント用モールドを、低環境負荷で、かつ低コストで製造できる方法を提供する。
【解決手段】モールド本体１２の表面に離型剤を塗布し、化学結合によって定着させて被覆層１４を形成し、モールド１０を得る工程と、モールド１０を超臨界二酸化炭素で洗浄する工程とを有するインプリント用モールドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント用金型のコストを低減するナノインプリント用金型の製造方法を提供する。
【解決手段】金型用基板２上に金型用樹脂膜３が形成され、該金型用樹脂膜３にはナノオーダの凹凸からなる金型パターンが形成されたナノインプリント用金型４において、電子ビーム描画法によって作製されたナノオーダの凹凸からなるマザーパターンを有するマザー金型原盤１を上記金型用樹脂膜３に押し付けてマザーパターンを反転して転写させることにより、上記金型パターンが形成される。 （もっと読む）

【課題】 微細成形モールドの成形面の凹凸を微細化する
【解決手段】 微細成形モールドの製造方法は、犠牲体の凹凸を有する表面上に成形面の凸部を形成するための遮光性膜を前記凹凸の凹部の側面と平行な部分の膜厚が前記凸部の対応する部分の幅に等しくなるように形成し、前記遮光性膜の前記凹凸の前記凹部の側面と平行な部分以外を除去し、前記遮光性膜の残存部の端面に接合された透光性基板を形成する、ことを含む。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント技術を用いて、ディスクリートトラックメディアや、パターンドメディアに高品質なパターンを効率よく転写形成することができるモールド構造体の提供。
【解決手段】基板の一方の表面上に、所定間隔を有して複数の凸部が同心円状に形成されたモールド構造体であって、前記同心円の半径方向における前記凸部の断面形状は、該凸部の高さ方向の半値幅Ｍが、前記同心円の半径方向における前記凸部の頂部の幅Ｔよりも大である形状である。 （もっと読む）

【課題】 被加工基板上に形成されるパターンの寸法精度の低下を抑制できるナノインプリント用モールドを提供すること。
【解決手段】 ナノインプリント用モールド１０は、形成するべきパターンに対応した凸部７が表面に設けられた透明基板１１と、前記凸部７上に設けられた半透明膜１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、モールドを用いてモールド表面の微細なパターンを樹脂膜等の被転写体に転写する際に、事前にモールド表面が離型作用を受けるに十分な量の離型剤で被覆されているか否かを迅速且つ簡便に知る方法、離型剤濃度を評価可能なモールド並びにモールドの離型処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】表面に凹凸パターンが形成されたパターン形成用モールドであり、該パターン形成用モールドを被転写体に対して凹凸パターン面を押し付けて該凹凸パターンを転写するためのパターン形成用モールドにおいて、少なくとも前記凹凸パターン面に離型作用を持つ物質および所定の検出手法に対して標識となる物質が付着されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】折目となる罫線用の筋目の輪郭を明瞭にし、包装容器として組み立てるときの折目部位で確実容易に折曲できるようにする。
【解決手段】切断刃１１、罫線刃１２を配設した抜型１０と、面版本体１を固着したダイ型２０との間で挟持した合成樹脂シート材Ｐに対して、包装容器に対応した展開形態の外形で打ち抜き分離し、折目となる罫線を筋状に形成する。面版本体１は合成樹脂シート材Ｐの素材と同効材あるいは合成樹脂シート材Ｐの素材の硬さに比し硬い素材にて形成する。面版本体１には、罫線刃１２位置に対応し、罫線刃１２の合成樹脂シート材Ｐに対する押圧によって合成樹脂シート材Ｐにおける折目線となる筋目部位を押し込ませる罫線溝２を形成する。面版本体１は、切断刃１１位置に対応する側脇部に、切断刃１１に至るに伴い次第に肉薄になる退避傾斜面３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 離型性の良好な加工対象物保持具およびこれを具備する微細加工装置、微細加工用の加工対象物を提供すること
【解決手段】 所定のパターンを有する型１００と加工対象物２００とを押圧して、型１００のパターンを加工対象物２００に転写する微細加工装置において、加工対象物２００を保持する加工対象物保持具１２であって、加工対象物２００を保持する側に、Ｓｉの表面エネルギーより低い材料、例えば離型剤からなる、あるいは酸化膜処理又は窒化膜処理により形成された表面処理層１２２を具備する。 （もっと読む）

【課題】 インプリント法において、モールドの離型性を向上し、転写パターンの品位を向上する。
【解決手段】 インプリント法において、凹凸パターンを形成したモールドのパターン表面に炭素膜を成膜した後、フッ素プラズマ処理により離型層を形成する。あるいはモールド支持基板の圧着面に炭素膜を成膜し、この炭素膜に凹凸パターンを形成した後、フッ素プラズマ処理により離型層を形成する。これにより、樹脂パターン破壊や欠陥の低減、モールドの長寿命化が可能となり、インプリント法における良好な転写パターン形成と大幅なコストダウンが期待できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スタンパの微細な凹凸を有する型面に放射線硬化型樹脂を塗布もしくは充填し、基材を積層した後、放射線を照射して、前記放射線硬化型樹脂の硬化物と前記基材とを重合接着させる工程を含む光学物品の製造方法において、スタンパの凹凸型面から容易に剥離でき、光学物品の微細な凹凸パターン形状の歪みを抑制すると共に、紫外線による劣化を防止する光学物品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】スタンパの微細な凹凸を有する型面に放射線硬化型樹脂を塗布もしくは充填し、基材を積層した後、放射線を照射して、前記放射線硬化型樹脂の硬化物と前記基材とを重合接着させる工程を含む光学物品の製造方法であって、前記スタンパが放射線透過性を有しており、放射線の照射はスタンパ側から行うことを特徴とする光学物品の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】凹凸模様に対するデザインの自由度が高く、しかも不要な突起の除去を後加工によって行う必要の無いポリオレフィン発泡体製品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】加熱した金型でポリオレフィン発泡体を押圧して賦形する熱圧成形によりポリオレフィン発泡体製品を製造する方法において、前記金型２０の内面に凹凸模様を設け、前記金型２０の内面と前記ポリオレフィン発泡体１０Ａの間に布地４０を挟み込んで熱圧成形を行い、前記布地４０を介して前記金型２０の内面の凹凸模様を前記ポリオレフィン発泡体１０Ａの表面に反転形成し、前記凹凸模様が反転形成された表面を意匠面として有するポリオレフィン発泡体製品を前記布地４０及び金型２０から分離する。 （もっと読む）

【課題】製造工程を容易とし、製造コストを低減し、且つ高い精度で成型パターンを形成することが可能な光学シート部品成形用金型及びその金型の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の金属シリンダー１の全周に合成樹脂製の父型レジストパターン層２が積層形成されたコア金型部Ａと、該コア金型部Ａを装填可能な円筒状の金属シリンダー１１によるキャビティー金型部Ｂと、該キャビティー金型部Ｂ内に装填可能な円筒状の第２の金属シリンダー２１による金型回転軸部Ｃとから構成された光学シート部品成形用金型を製造する金型であって、前記コア金型部Ａの父型レジストパターン層２外面とキャビティー金型部Ｂ内面とにより形成される父型内にシリコーン樹脂を充填して母型樹脂層４を形成し、前記コア金型部Ａをキャビティー金型部Ｂ内より除去し、第２の金属シリンダー２１による金型回転軸部Ｃを装填した後、その母型内にて成形用金型３１を成形する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの製造工程において、微細な形状の構造体を形成するためのパターン転写技術である光ナノプリント法に関し、基板からスタンパを剥離する工程を高精度かつ容易に行うことができるスタンパおよびこれを用いた製造方法を提供する。
【解決手段】紫外線に対して透過率５０％以上の透明体からなり、主面に凹部及び凸部を有する光インプリント用スタンパにおいて、前記凸部の少なくとも最表面が紫外線に対して透過率１０％以下の不透明部であること。 （もっと読む）

【課題】高精度の微細パターンを有するインプリント用テンプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板１１にシリコン系の薄膜１５を形成する。薄膜１５の表面に感光性樹脂層１７を形成する。透明基板１１に光Ａを照射し、透明基板１１の表面にレジストパターン２１を形成する。レジストパターン２１をマスクとして、薄膜１５にエッチングを行い、シリコンパターン２３を形成する。シリコンパターン２３を酸化処理し、透明基板１１の表面に酸化シリコンパターン１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】繊細な凹凸形状を有し、高級感のある緻密な賦型をすることができ、かつ離型性にも優れた賦型シートおよび該賦型シートにより賦型された化粧板を提供すること。
【解決手段】基材上に少なくとも、全面にわたって設けられたインキ層と、該インキ層上に存在してこれと接触すると共に、全面にわたって被覆する表面賦型層を有する賦型シートであって、該表面賦型層が硬化性樹脂組成物の架橋硬化したものであり、かつ該表面賦型層の表面が凹凸形状を有する賦型シートである。繊細な凹凸形状を有し、高級感があり緻密な賦型をすることができ、かつ離型性にも優れた賦型シートである。 （もっと読む）

【課題】 エンボス加工用離型紙を用いてシート状材料にエンボス模様を施すにあたり、エンボス加工用離型紙を繰り返し使用した場合であっても当該エンボス加工用離型紙のエンボス形状の凹凸が平坦化されることを抑制することができ、エンボス模様が施されたシート状材料の意匠性を良好に保つことができるようなエンボス加工装置および加工方法を提供すること。
【解決手段】 エンボス加工装置１０は、熱硬化性樹脂層形成手段２０と、エンボス加工手段３０とを備えている。熱硬化性樹脂層形成手段２０は、離型紙の紙層１の表面のうち離型層２が積層されていない側の表面に、紙層１のエンボス形状を維持するための熱硬化性樹脂層３を形成する。エンボス加工手段３０は、熱硬化性樹脂層３が形成されたエンボス加工用離型紙上にシート状材料を積層し、当該シート状材料をエンボス加工用離型紙側に押圧することによりシート状材料にエンボス模様を施す。 （もっと読む）

【課題】 安価で簡便な設備で様々なパターンを有するゴム膜を容易に成形することができるゴム膜の製造方法を提供する。
【解決手段】押出機から供給されたリボン状の未加硫ゴムをマンドレルに巻き付け、この際、押出機のノズル位置に対するマンドレルの軸方向への相対的な移動速度、マンドレルの回転方向および回転速度のうち少なくとも一つを制御することによって、厚みの異なる円筒状の未加硫ゴム膜を成形し、この円筒状の未加硫ゴム膜をマンドレルの軸に沿って切断して平板状の成形体を得た後、これを加硫成形する。ゴムをマンドレルの正逆回転およびマンドレルの軸方向の移動のみを制御することによって厚みの変動するゴム膜の成形が可能となり、安価で簡便な設備で様々なパターンのゴム膜を成形することができる。また、リボン状の未加硫ゴムを押出し、これをマンドレルに巻き付けることにより、全長に亘って厚み精度の高いゴム膜を成形することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来のホットエンボス法、射出成形法、圧縮成形法、ナノインプリント法に比べて格段に優れた製品を高い生産性で生産可能な微細転写方法および装置を提供すること。
【解決手段】 微細な凹凸形状１Ｌｃを有する下型スタンパー１Ｌの表面１Ｌａ上にプラスチック基材２を装着し、加圧手段６により、上型１２Ｕをプラスチック基材２に向けて加圧し、プラスチック基材２を下型スタンパー１Ｌに押圧する。下型スタンパー支持体５Ｌには幅方向７に長いスリット状の開口部８を設け、そこを通して炭酸ガスレーザ１３によりビーム状の赤外線３を照射し長手方向４に移動させ下型スタンパー１Ｌの微細な凹凸形状と反転する凹凸形状をプラスチック基材２に形成し、冷却し、プラスチック基材２を離型する。 （もっと読む）