【課題】テンプレートと基板との間において、気泡を発生させずに塗布液を適切に塗布する。
【解決手段】テンプレートＴをウェハＷ側に下降させて所定の位置に配置する（図６（ａ））。第１の距離Ｈ_１は、第１の端部Ｅ_１とウェハＷとの間にレジスト液の毛細管現象を発生させる距離である。第２の距離Ｈ_２は、第２の端部Ｅ_２とウェハＷとの間にレジスト液の毛細管現象を発生させない距離である。その後、第１の端部Ｅ_１の外側からレジスト液Ｒを供給する（図６（ｂ））。このとき、レジスト液Ｒは、毛細管現象によってテンプレートＴの内側を第１の端部Ｅ_１に沿って拡散する。その後、第２の距離Ｈ_２を第１の距離Ｈ_１に等しくするように、第２の端部Ｅ_２をウェハＷ側に移動させる（図６（ｃ））。このとき、レジスト液Ｒは、毛細管現象によって第２の端部Ｅ_２側に拡散し、テンプレートＴとウェハＷとの間に塗布される。 （もっと読む）

【課題】シート状のモールドに形成されている微細な転写パターンを、被成型品に転写するための転写装置において、簡素な構成や工程で、前記被成型品での気泡の発生を防いだ転写をする。
【解決手段】シート状のモールドＭに形成されている微細な転写パターンを、被成型品Ｗに転写するための転写装置１において、転写をするときに、被成型品Ｗと、被成型品Ｗと協働してシート状のモールドＭを挟み込んで押圧する押圧体５とが内部に位置する真空成型室１７であって、被成型品が設置される真空成型室１７と、押圧体５が位置する真空成型室とに、シート状のモールドＭによって仕切られる真空成型室１７を形成する真空成型室形成手段と、前記真空成型室を仕切るシート状のモールドに貫通孔を形成する貫通孔形成手段９と、前記真空成型室を減圧する減圧手段１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗と強度のバランスがとれた摺動部材を提供すること。
【解決手段】多孔質フッ素樹脂膜を含む摺動部材であって、多孔質フッ素樹脂膜の孔に熱硬化性樹脂および潤滑剤を保持させたものを構成する。多孔質フッ素樹脂膜にエンボス加工を施してもよい。 （もっと読む）

【課題】 テンプレートを用いることなく基板に凹凸状のパターンを形成することができるパターン形成装置を提供することを目的とする。
【解決装置】 パターン形成装置（１０）は、基板（ＦＢ）の表面に凹凸状のパターンを形成する。そして、パターン形成装置（１０）は所定のエネルギーに応じて硬化する硬化性材料（ＬＲ）を基板（ＦＢ）の表面に接触させる接触装置（１２）と、パターンに対応するパターン情報に基づいて基板（ＦＢ）の表面と接触した硬化性材料（ＬＲ）に所定のエネルギーを付与し該硬化性材料（ＬＲ）を硬化させる硬化装置（１１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板上に塗布する樹脂量が少なく、しかも得られるパターン形成層に厚みむらが生じるのを防止することができる微細構造転写方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の微細構造転写方法は、基板１の表面を海として光硬化性樹脂８を島状に離散的に複数塗布する樹脂塗布工程であって、島状の各光硬化性樹脂８の中央部８ａが薄膜状に平坦であり、かつその周辺部８ｂが中央部８ａよりも盛り上がった形状となるように基板１上に光硬化性樹脂８を塗布する樹脂塗布工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高精細なエンボスパターンを有する大判の高品質のシート状成形物を連続的かつ安価にて製造できる方法を提供することを目的としている。
【解決手段】凹凸パターンを有する樹脂層を熱可塑性樹脂シート上に備えてなるシート状成形物の製造方法であって、前記凹凸パターンの反転パターンを有する型上に、熱可塑性樹脂を可塑剤に分散させてなる樹脂ペーストを印刷する工程と、前記樹脂ペーストを硬化させて樹脂層とする工程と、前記樹脂層上に熱可塑性樹脂シートを載置し、前記樹脂層または前記熱可塑性樹脂シートの少なくとも一方が溶融する温度以上で加熱し、該樹脂層と該熱可塑性樹脂シートとを融着して一体化する工程と、一体化された前記樹脂層と前記熱可塑性樹脂シートとを冷却する工程と、前記樹脂層を前記型から分離する工程と、を有する。 （もっと読む）

本発明は、１つまたは２つ以上の微粒子の位置及び／または配向を固定させ得る第１の陰刻または、第１の陽刻が表面に形成された第１の基材を準備する第１の段階；及び前記第１の基材上に、複数の微粒子を置いた後、物理的圧力によって微粒子の一部または全部を第１の陰刻または第１の陽刻によって形成された孔隙に挿入させる第２の段階を含み；微粒子を基材上に配置させる方法を提供する。また、本発明は、少なくとも表面の一部が粘着性を帯びる第１の基材を準備する第１の段階；及び平坦な面(flat facet)なしに連続的な曲面のみに形状がなされた２つ以上の複数の微粒子などを前記第１の基材のうち、粘着性を帯びる表面上に置いた後、物理的圧力によって第１の基材上に整列させる第２の段階を含み、微粒子を基材上に配置させる方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来利用されてきた、外周面に模様のあるローラーを塗面上に転がして、模様を形成する方法は、利用できる離型剤や離型剤の使用方法に制約があり、精細な模様の形成が困難であり、又作業者への健康影響があった。
【解決手段】建材又は建築物の塗装基材面に塗剤を塗布し、塗剤が乾燥する前に塗剤上にシリコン系離型剤を噴霧した後、外周面に模様のあるローラーを塗剤の上に転がし、塗剤上に模様を形成する方法であり、精細な模様を作業者への健康影響なしに形成出来る。 （もっと読む）

【課題】粒状物を用いなくても表面に凹凸を形成できる賦形シートの製造方法を提供する。
【解決手段】
基材上に電離放射線硬化樹脂を塗布して電離放射線硬化樹脂層を形成する（Ｓ１）。続いて、電離放射線硬化樹脂が形成された面と反対側の基材面に複数の開口部を有するマスクを敷設し、マスク側から電離放射線を照射する（Ｓ２）。このとき、電離放射線硬化樹脂層のうち、マスク開口部に対応する部分が硬化する。マスクを除いた後、電離放射線硬化樹脂側から電離放射線を照射する（Ｓ３）。このとき、電離放射線硬化樹脂の未硬化部分が硬化し、表面に凹凸が形成される。 （もっと読む）

【課題】インプリント用金型について、微細パターンが複数の段部をから構成されるような場合や微細パターンが曲面や曲線で構成されるような３次元構造パターンであった場合にインプリント用金型を安価で大量に提供できる方法を提供する。
【解決手段】基板１上に塗布した感光性樹脂へのパターン露光、及び現像処理によりパターン形成し、パターン形成後の加熱によってパターン層６形成する。その後、フォトマスクを用いてＵＶ光照射による露光をおこなう。前記の形成方法にて繰り返し、一層目６ａ、二層目６ｂ、三層目６ｃとパターン層６の形成を行い、微細パターンを形成した金型原版７を作製した。その後、微細電鋳法を用いて、前記金型原版７からパターン形状の金型８を製造する。 （もっと読む）

【課題】スタンパや被転写体を破損することなく、同一のスタンパで繰り返し転写を可能とする微細構造転写装置を提供する。
【解決手段】微細な凹凸パターン６が形成されたスタンパ２を被転写体１に接触させ、前記被転写体１の表面に前記スタンパ２の微細な凹凸パターンＰを転写する微細構造転写装置Ａ１において、前記被転写体１の外周部の全周を保持する保持機構３を備え、前記被転写体１と前記スタンパ２との距離に対して、前記保持機構３と前記スタンパ２との距離が略等しくなるか、又は前記保持機構３よりも前記被転写体１の方が前記スタンパ２寄りに位置するように、前記保持機構３が前記被転写体１を保持している。 （もっと読む）

【課題】ポリマー表面に微細パターンを形成する際に必要なエネルギーを少なくし、凹凸パターンを有するポリマーシートをより簡単に低コストで作製する方法を提供する。
【解決手段】水系のポリマーラテックスを基材上に塗工する塗工工程、塗工したポリマーラテックスを乾燥させてポリマーシートを形成する乾燥工程、およびポリマーシートに凹凸型のパターンを有するモールドを押し当てる転写工程を含む、凹凸パターンを有するポリマーシートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリント装置におけるインプリント時のレジスト層の残渣を無くして、微細なパターンの形成、高密度なビットパターンド媒体を製作する。
【解決手段】レジストの表面に微小な凹凸パターンを有するモールド４１を押し当てることによって、モールド４１上の突起部４７で凹凸をレジストの表面に転写するナノインプリント装置において、モールド４１の突起部４７の頂面に連続する溝部４８を設けておき、モールド４１をレジストに押し当てる時に、レジストの一部がこの溝部４８内に収容されるようにして、レジスタの残渣が少なくなるようにしたナノインプリント装置である。 （もっと読む）

【課題】基板上における完全なインプリントに対して要求される十分な圧力を与え且つ低コストで、マイクロナノ製造工程において使用される耐久性のある均等プレス装置を提供する。
【解決手段】上方及び下方プレスユニット及びモールド３０を有する均等プレス装置。下方プレスユニット１０は、支持容器１１、該容器における上方向に開放する収容空間１１１内で受けられる均圧液体１２、及びピストン部材１４２を有する加圧機器１４を有する。該ピストン部材は、収容空間へと延在し、容器の環状上部表面１１２上に配置される基板１００に向かって軸方向において均圧液体を上方向に押し上げるよう作動可能である。上方プレスユニット２０は、モールドと基板との間の接触を可能にするよう可動である。その後ピストン部材は、モールドに対して基板をプレスするよう動かされる。 （もっと読む）

【課題】パターン精度および基板密着性に優れ、かつ、耐熱性に優れたナノインプリント用組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）重合性単量体および（Ｂ）光重合開始剤を含む硬化性組成物であって、該硬化性組成物を平均厚さが０．５μｍ以上３０μｍ未満の範囲のいずれかとなる硬化膜としたとき、波長３６５ｎｍの光線の透過率が８０％以下となる、光ナノインプリント用硬化性組成物を提供する。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィ・プロセスの分離プロセスにおける頑強層分離を改善するためのシステムおよび方法について述べる。この方法は、インプリントする基板とテンプレート間の歪みを一致させる段階、分離中にテンプレートおよび／または基板に印加される力を変更または修正する段階、または分離プロセスの動特性を変更または修正する段階を含む。
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【課題】優れた耐擦傷性が得られる光学フィルムの製造方法及び光学フィルムを提供する。
【解決手段】透明基材フィルム１０の一面側の最表面に光学機能層用硬化性樹脂組成物を塗布し、塗膜２０を形成する工程、前記塗膜２０の透明基材フィルム１０とは反対側の面に表面粗さＲａが１０ｎｍ以下の平滑面４０を接触させる工程、及び、前記塗膜２０に前記平滑面４０を接触させた状態で当該塗膜２０を硬化させた後、当該平滑面４０を剥離し、表面粗さＲａが１ｎｍ以下の光学機能層７０を形成する工程を含むことを特徴とする、光学フィルム１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムの製造方法において、フィルム端部の切断加工において、レーザー強度が多少変動しても、切断面が乱れず、また、フィルムの膜厚に応じて、エンボス部の凹凸の高さを変化させる調整に時間を要することのない光学フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】光学フィルムの製造方法において、レーザー光の波長を吸収する化合物を含有する光学フィルムに、前記レーザー光を照射して、前記光学フィルムを加工する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが形成された基板から、容易に他の基板等に正確なパターン転写を行うことができる微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも片側に凹凸パターンが形成された第一の基板１１上に、誘電体膜１５を形成する。第一の基板１１とパターン転写先の第二の基板１４とを、第一の基板１１側から順にフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２及びフッ素未含有の第二の紫外線硬化性樹脂１３を介して結合させる。第一の基板１１と第二の基板１４とを、誘電体膜１５とフッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２との境界で分離し、フッ素含有の第一の紫外線硬化性樹脂１２に凹凸パターンを転写する。 （もっと読む）

【課題】樹脂成形品の表面に樹脂組成物の樹脂色と異なる塗料を塗って塗膜を形成し、その塗膜の一部にレーザー光を照射して塗膜を除去してレーザーエッチング品を形成する工法では塗膜を除去した部分と除去しない部分の境界で凹部が生じてしまうが、レーザー光照射によっても、この凹部を生じさせないようにして、塗膜を除去した部分の鮮明な表示を維持でき、周囲が剥がれないレーザーエッチング品の製造方法を提供する。
【解決手段】レーザー光３照射によりレーザー光３が照射された領域が発泡する樹脂成形品１の上に加飾層２が積層された加飾成形品６に対し、表面に加飾層２が積層された側から加飾成形品６の一部にレーザー光３を照射して、レーザー光３が照射された領域の加飾層２を除去し、さらにレーザー光３の照射を継続してその領域の樹脂成形品１の表面を発泡させることにより発泡層４を形成する。 （もっと読む）