【課題】加熱冷却サイクルでクラックが発生し難く進展し難い高い耐久性をもったセラミックス基板と、これを用いたセラミックス回路基板及び半導体モジュールを提供する。
【解決手段】本発明は破壊靭性が６．０ＭＰａ・ｍ^１／２以上であり、曲げ弾性率が２３０ＧＰａ以上であるセラミックス基板である。セラミックス基板表面のビッカース硬度を１６００以上とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。又はセラミックス基板表面の残留応力を−４０ＭＰａ以下とすることにより曲げ弾性率２３０ＧＰａ以上とすることができる。 （もっと読む）

【課題】 緻密で導電性が高いカーボンナノチューブ分散窒化ケイ素焼結体を容易に安定して製造する。
【解決手段】 特定の焼結助剤を含有する窒化ケイ素組成物に配合するカーボンナノチューブとして、平均直径が７０ｎｍ以上、平均アスペクト比が２００以下であり、空気雰囲気下に６００℃で１時間放置後の減量率が１０％以下であるものを用いる。
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【課題】焼成雰囲気調整なく高い焼結性、高い緻密性及び大きな熱伝導性を有する窒化珪素焼結体、並びにそれを用いた放熱性の大きな放熱絶縁用セラミックス基板、放熱絶縁用セラミックス回路基板及び放熱絶縁用モジュールの提供。
【解決手段】Ｓi_３Ｎ_４と、軽希土類元素と、重希土類元素及び／又はＹと、Ｓrとを含有する窒化珪素焼結体であり、Ｓi_３Ｎ_４の含有割合が８５〜９０モル％、前記軽希土類元素の含有割合が酸化物換算で１〜５モル％、前記重希土類元素及び／又はＹの含有割合が酸化物換算で１〜５モル％、Ｓrの含有割合が酸化物換算で３〜１３モル％であり、ラマン分光分析における波数５２１±２ｃｍ^−１の珪素ピーク強度（Ｓ１）と２０６±２ｃｍ^−１付近の窒化珪素のピーク強度（Ｓ２）との比Ｓ１／Ｓ２が０．１未満であることを特徴とする窒化珪素焼結体、放熱絶縁用セラミックス基板、放熱絶縁用セラミックス回路基板、放熱絶縁用モジュール。 （もっと読む）

【課題】剛性が高く、軽量で、低コストで平滑な面を持つ、大型化のセラミック構造体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板等の被処理物を乗せた状態で加工処理を行うための架台として用いられるセラミック構造体であって、該架台は、剛節架構構造を有する複数のユニットが結合・一体化された構造を有している、上記架台の表面は、緻密な膜で被覆されている、上記架台を構成する固体部分は、反応焼結窒化ケイ素又は反応焼結炭化ケイ素を主成分とする材料で構成されている、上記架台の部分の応力の大きさに応じて異なる気孔率を有するユニットが配設されている、ことを特徴とするセラミック構造体。
【効果】半導体や液晶の露光装置に必要なステージやテーブル等について、剛性が高く、軽量で、平滑な面を持ち、大型化に対応できる製品を低コストで製造し、提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 金属の溶湯に対する耐磨耗性が十分高い、射出ポンプ用の内筒およびホットチャンバダイカストマシンを提供する。
【解決手段】 内面が窒化珪素質焼結体からなり、窒化珪素質焼結体が、組成式Ｓｉ_６−ＺＡｌ_ＺＯ_ＺＮ_８−Ｚ（ｚ＝0.1〜１）で表されるβ−サイアロンを主相とし、Ａｌ，Ｓｉ，ＲＥ（ＲＥは周期表第３族元素）の構成比率がそれぞれＡｌ_２Ｏ_３，ＳｉＯ_２，ＲＥ_２Ｏ_３換算でＡｌ_２Ｏ_３が５〜50質量％，ＳｉＯ_２が５〜20質量％，残部がＲＥ_２Ｏ_３およびＮであるＲＥ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｏ−Ｎからなる粒界相を、主相と粒界相とからなる焼結体に対して体積比率が４〜10体積％の範囲で含む射出ポンプ用の内筒２ｃを備えたホットチャンバダイカストマシンである。内筒２ｃの耐磨耗性が向上し、長期間使用を続けてもほとんど磨耗することがないため、内筒２ｃの交換頻度を下げることができ、高い信頼性が得られる。 （もっと読む）

本発明は、窒化物結合シリコン窒化物（ＮＢＳＮ）から作られる半導体グレードのシリコンのインゴットの製造用の再利用可能な坩堝に関する。この坩堝は、シリコン窒化物粉末をシリコン粉末と混合し、坩堝のグリーン体を形成し、次いで、窒素を含有する雰囲気において前記グリーン体を加熱し、前記シリコン粉末が窒化されてＮＢＳＮ坩堝を形成することによって形成されてもよい。前記坩堝は、正方形の断面の坩堝の下部（１）及び壁（３、５）であるＮＢＳＮ材料のプレート要素によって組み立てられてもよく、及び、シリコン粉末及び任意にシリコン窒化物粒子を含むペーストを付け、続いて窒素雰囲気で第２の熱処理を行うことによって任意に固定部を密閉することによって組み立てられてもよい。
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【課題】 高密度ＬＳＩ検査用のプローブガイドに適用可能な、薄肉で深い穴やスリットを精度よく形成できる快削性を持ち、かつ画像処理装置を使用して加工形状の検査や位置合わせが反射光で妨害されないように、均一に黒色化された、熱膨張係数の低いセラミックスを提供する。
【解決手段】 窒化珪素25〜60質量％および窒化硼素40〜75質量％を骨材とし、焼結助剤を添加した原料粉末に、ジルコニアを骨材の 0.1〜20質量％の量で添加し、還元性雰囲気で焼成する。焼成中のジルコニアの還元によりセラミックスが黒色化する。この黒色化は他のセラミックスの黒色化にも応用できる。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができ、特性のバラツキが抑制され信頼性に優れた窒化けい素焼結体からなる耐磨耗性部材を提供すること。
【解決手段】窒化けい素を主成分とするセラミックス焼結体からなる耐磨耗性部材であって、前記耐磨耗性部材はＦｅ成分の含有量が１０ｐｐｍ以上３５００ｐｐｍ以下かつＣａ成分の含有量が１０ｐｐｍ以上１０００ｐｐｍ以下であり、硬度および破壊靱性値のバラツキが±１０％以内であるもの。 （もっと読む）

【課題】 焼き上がり寸法精度が高く、焼き放し面での高い抗折強度を有する窒化珪素質セラミック製バルブを提供する。
【解決手段】 傘部１２と、該傘部１２の中央に一体的に形成された柱状のステム部１３とが、窒化珪素が８０〜９２．５重量％、希土類元素が酸化物換算で２〜１０重量％、アルミニウムが酸化アルミニウム換算で２〜５重量％、過剰酸素が酸化珪素換算で０．５〜５重量％の範囲で含有されており、かつ前記希土類元素の酸化物換算量に対するアルミニウムの酸化アルミニウム換算量の比及び前記希土類元素の酸化物換算量に対する過剰酸素の酸化珪素換算量の比が０．５〜０．８である窒化珪素質セラミックスからなり、前記ステム部１３の同軸度が０．１５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】加熱バーナー周囲の炉壁等の亀裂や剥落を防止でき、かつ、熱処理炉の立ち上げ、休止の時間を短縮できる鋼材の加熱式熱処理炉の提供。
【解決手段】熱処理炉は、少なくとも炉壁内側にセラミックファイバー３が配設された炉壁構造を具備し、炉壁に設けられた挿入孔にバーナー２が設置され、該バーナー２の炉内側に、Ｙ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相とＥｒ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相とＹｂ_２Ｓｉ_２Ｏ_７相の少なくとも１相を２．５〜４．８質量％、Ｓｉ_２Ｎ_２Ｏ相を２〜６．５質量％、平均粒径０．１μｍ以上０．７μｍ以下のＳｉＣ質粒子を２〜５質量％、及び、β-Ｓｉ_３Ｎ_４及び不可避的不純物を残部とする組成である窒化珪素質セラミックス焼結体で構成されたバーナーポート４が隣接して配置され、かつ、該バーナーポートの先端が炉内壁面より炉内側に突出して配置されている。 （もっと読む）

【課題】高強度、高靭性特性に加えて、特に転がり特性が優れた耐摩耗性部材の製造方法を提供する。
【解決手段】酸素を１．５質量％以下、α相型窒化けい素を９０質量％以上含有し、平均粒径が１．０μｍ以下の窒化けい素粉末に、希土類元素を酸化物に換算して２〜１０質量％，ＭｇＡｌ_２Ｏ_４スピネルを２〜７質量％，炭化けい素を１〜７質量％，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｚｒ，Ｗ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｎｂ，Ｃｒからなる群より選択される少なくとも１種を酸化物に換算して５質量％以下添加した原料混合体を成形して成形体を調製し、得られた成形体を非酸化性雰囲気中で温度１６００℃以下で焼結することにより粒界相に存在する凝集偏析の幅の最大値を５μｍ以下にすることを特徴とする窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法である。なお上記ＭｇＡｌ_２Ｏ_４スピネルに代えて、ＭｇＯとＡｌ_２Ｏ_３との混合物を用いても同様な作用効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高温腐食ガス雰囲気下にあって、耐熱性・耐摩耗性・耐腐食性に優れたセラミックス焼結体、および、この焼結体をブレードに用い安定かつ長期の使用が可能なロールクリーニング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のセラミックス焼結体は、Ｘｖｏｌ％のＳｉ_３Ｎ_４と、(１００−Ｘ)ｖｏｌ％のＴｉ_０．９Ｍｅ_０．１Ｃ_２（Ｍｅ＝Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｒ、Ｎｉの少なくとも１種以上）とからなり、Ｘ＝５〜３５となる組成を有することを特徴とする。本発明のロールクリーニング装置は、４００〜１５００℃の高温腐食性ガス雰囲気下で使用されるロールクリーニング装置において、前記セラミックス焼結体が耐熱鋼中に埋め込まれて構成されたブレードと、該ブレードを支持する支持体とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】導電性付与材を含有させて放電加工を可能とし、静電気の蓄積が無い窒化珪素焼結体とその効率的な製造方法、およびその窒化珪素焼結体を用いて静電気による不具合などを改善した耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】導電性付与材としてカーボンナノチューブ６と、炭化珪素および窒化チタンの導電性粒子５とをそれぞれ含有し、電気抵抗値が１０^−２〜１０^３Ω・ｃｍの範囲であることを特徴とする窒化珪素焼結体である。 （もっと読む）

【解決課題】耐食性が高く且つ強度及び耐久性が高い無機繊維質断熱材及び該無機繊維質断熱材を製造することができる無機繊維質断熱材組成物を提供すること。
【解決手段】溶融アルミニウム又はアルミニウム合金の溶湯との接触用途を目的とする断熱材を形成させるために用いられる無機繊維質断熱材組成物であって、無機繊維、窒化珪素粉末、シラノール基を有する無機バインダー及び水を含有することを特徴とする無機繊維質断熱材組成物。該無機繊維質断熱材組成物を乾燥又は焼成して得られることを特徴とする無機繊維質断熱材。 （もっと読む）

【課題】
従来の希土類付活サイアロン蛍光体より緑色の輝度が高く、従来の酸化物蛍光体よりも耐久性に優れる緑色蛍光体を用いた照明器具および画像表示装置を提供する。
【解決手段】
発光光源と蛍光体とを含む照明器具、又は、励起源と蛍光体とを含む画像表示装置において、前記蛍光体は、β型Ｓｉ_３Ｎ_４結晶構造を持つ窒化物または酸窒化物の結晶中に金属元素Ｍ（ただし、Ｍは、Ｍｎ、Ｃｅ、Ｅｕから選ばれる１種または２種以上の元素）が固溶してなるβ型Ｓｉ_３Ｎ_４結晶構造を持つ窒化物または酸窒化物の結晶相を含み、前記発光光源あるいは励起源を照射することにより波長５００ｎｍから６００ｎｍの範囲の波長にピークを持つ蛍光を発光することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
鋼の浸炭材，焼入れ材など高硬度鋼の高速切削、断続切削に最適なｃＢＮ基超高圧焼結体およびその製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】
ｃＢＮ：３０〜８０体積％と、残りが周期律表４ａ，５ａ，６ａ族元素の炭化物，窒化物，ホウ化物，酸化物、Ａｌの窒化物，酸化物、Ｓｉの炭化物，窒化物およびこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種からなる結合相と不可避不純物とでなるｃＢＮ基超高圧焼結体において、結合相は少なくとも（１）Ｖ，Ｎｂ，Ｔａの中の少なくとも１種とＴｉとからなる複合窒化物および複合炭窒化物の中の少なくとも１種の複合化合物と、（２）Ｖ，Ｎｂ，Ｔａの中の少なくとも１種の斜方晶ホウ化物と、（３）ＡｌＮと、（４）Ａｌ₂Ｏ₃とを含有するｃＢＮ基超高圧焼結体。 （もっと読む）

【課題】窒化珪素質焼結体全体に亘ってボラストナイトを含有し、さらには内部のボラストナイトの含有量が多くなるため、研磨加工時の研磨抵抗は小さくできるものの、研磨加工時にボラストナイトに生じる微細クラックが進展しやすくなり、加工面の表面粗さを優れたものとすることができない。
【解決手段】β−Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分とし、ボラストナイト（ＲＥＳｉＯ_２Ｎ、ＲＥは周期表第３族元素）を含有する焼結体であって、前記ボラストナイトのＣｕ−Ｋα線によるＸ線回折角２θが３２〜３３°にあるＸ線回折ピーク強度をＩ_Ｗとするとき、前記焼結体は内部にＩ_Ｗがゼロとなる部分を有することにより、研磨加工時に表面は研磨抵抗が小さく、且つ内部に研磨が及んだ際、β−Ｓｉ_３Ｎ_４とボラストナイトの研磨抵抗の違いにより生じる研磨加工面の表面粗さの増大が抑制され、研磨加工した面の表面粗さを小さくすることができる。 （もっと読む）

ケイ素金属間化合物、例えば金属ケイ化物を特徴とするケイ素金属溶浸法によって作製された複合体。これは、複合材料技術者に、得られる複合材料の物理的性質を設計又は調整するより大きな柔軟性を与えるばかりでなく、該溶浸材を、固化の際の膨張の量をはるかに減少して有するように組成的に設計することができ、それによってネットシェイプ作製能力を高めることができる。ケイ素溶浸によってなされる複合体の金属成分を設計することによるこれらの及びその他の結果は、複雑な形状の大きな構造物の製作を可能にする。 （もっと読む）

【課題】高温強度と耐食性がいずれも高くしかもこれらがバランスしている窒化珪素焼結体、それを用いた非鉄金属溶湯用部材、及びそれを製造するための窒化珪素粉末を提供する。
【解決手段】ｄ５０が０．９〜１．５μｍ、ｄ７５／ｄ２５が３〜８であり、エタノール吸液量が粉末５ｇ当たり２．０〜２．３ｍｌである窒化珪素粉末。ここで、ｄ５０とはレーザー回折散乱法で測定された粒度分布における累積５０体積％径、ｄ７５とは累積７５体積％径、ｄ２５とは累積２５体積％径のことである。また、本発明の窒化珪素粉末の焼結体からなる窒化珪素焼結体。さらに、本発明の窒化珪素焼結体で構成された非鉄金属の溶湯用部材。 （もっと読む）

【課題】多くの不純物酸素を含む低品位のケイ素粉末を出発原料として用いることができ、従来の成形、焼成プロセスを用いて、優れた機械特性と高熱伝導性を併せ持つ窒化ケイ素焼結体を製造し、パワーモジュール用基板に適した高熱伝導窒化ケイ素基板を提供する。
【解決手段】ケイ素粉末に、ケイ素を窒化ケイ素に換算した際の比率において、０．５〜７ｍｏｌ％の希土類元素の酸化物と、１〜７ｍｏｌ％のマグネシウム混合物とを、上記ケイ素粉末に含まれる不純物酸素とマグネシウム化合物からの酸素との総量が０．１〜１．８質量％となるように混合し、該混合物を成形して窒化し、得られた窒化体を０．１ＭＰａ以上の窒素中で加熱して相対密度が９５％以上になるように緻密化し、得られた板状の窒化ケイ素焼結体の少なくとも一方の面に、マグネシウム、チタン、ジルコニウムのうち少なくとも一種の金属元素を含むろう材を用いて金属板を接合する。 （もっと読む）