【課題】炭化硼素質焼結体の結晶粒径分布がほぼ均一であり、高い衝撃を受けた際のクラックの進展を抑制することができず、特に防護部材として用いた場合には圧縮強度が十分でないため、クラックが生じやすいという。
【解決手段】炭化硼素を主結晶相とする炭化硼素質焼結体であり、断面視における所定範囲内の炭化硼素の結晶のうち、結晶粒径１０μｍ以下の結晶を前記所定範囲に対して５０面積％以上有するととともに、結晶粒径２０μｍ以上の結晶を前記所定範囲に対して５面積％以上有する。 （もっと読む）

【課題】
静電チャック部材、半導体製造部材等として好適な高剛性で低熱膨張係数を有するアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体を提供する。
【解決手段】
炭化珪素粉及び珪素粉、或いは、炭化珪素粉、窒化珪素粉及び珪素粉を使用し、反応焼結により珪素粉を窒化させてセラミックス多孔体を作製し、アルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とし、未反応の残存珪素粉が、セラミックス多孔体中の１０質量％以下であることを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体の製造方法。炭化珪素粉及び窒化珪素粉を含み、相対密度が６０〜８５％であるセラミックス多孔体にアルミニウムを主成分とする金属を含浸することを特徴とするアルミニウム合金−炭化珪素窒化珪素質複合体。
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【課題】 汚染物質を含む排気ガス等を効率よく浄化する多孔質構造体フィルタとその製造方法の提供。
【解決手段】
汚染物質除去のための浄化に使用されるもので、ＳｉとＳｉＣからなるスポンジ状多孔質構造体の３次元微細セル構造体で構成されるフィルタである。３次元微細セル構造フィルタは、密度の異なる複数のスポンジ状多孔質構造体を重ね合わせ複数の層をなすフィルタとし、取り扱いの容易な炭化ケイ素系スポンジ状軽量多孔質構造体のフィルタである。このフィルタは外側を密度の高いフィルタ１とし、内側を密度の低いフィルタ２としている。汚染物質を含む排気ガスは密度の低い側のフィルタを通過した後、密度の高い側のフィルタを通過し浄化される。 （もっと読む）

【課題】引張強度の高い炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材を提供する。
【解決手段】炭素繊維強化炭素複合材に、金属Ｓｉを溶融含浸させて得られる炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材において、該炭素繊維強化炭素複合材に用いられる炭素繊維がピッチ系炭素短繊維であり、前記ピッチ系炭素短繊維の繊維が二次元ランダムに配向していることを特徴とする炭素繊維強化ＳｉＣ系複合材。炭素繊維強化炭素複合材は、嵩密度１．２〜１．７ｇ／ｃｍ^３、気孔率１５〜４０ｖｏｌ％、体積当たりの炭素繊維含有率２０〜５０ｖｏｌ％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】強度、靭性等の機械的特性や耐久性の改善された、高い信頼性と耐久性を有するシリコン／炭化ケイ素複合材料の製造方法を提供すること。
【解決手段】平均粒径０．１μｍから１０μｍの炭化ケイ素と平均粒径０．００５μｍから１μｍのカーボン粉末との混合粉末を、所定の形状の成形体に加圧成形し、成形体をシリコンの融点以上の温度に加熱し、シリコンの融点以上の温度に加熱されている成形体に溶融したシリコンを含浸させる。 （もっと読む）

【課題】ＳｉとＯとを主成分とする薄膜をスパッタ法で作製するにあたって、成膜時における割れやすさを改善すると共に、異常放電の発生を抑制することを可能にしたスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】主成分としてＳｉとＣとを含有するスパッタリングターゲットである。スパッタリングターゲット１は、ＳｉＣ結晶粒２の隙間にＳｉ相３がネットワーク状に連続して存在する組織を具備する。Ｓｉ相３は平均径が1000nm以下とされている。このようなスパッタリングターゲットを、酸素を含むガス中でスパッタリングすることによって、主成分としてＳｉとＯとを含有し、かつ主成分以外の第三元素を合計量で10〜2000ppmの範囲で含む光学薄膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】適正な通気性、強度を兼備した状態で、圧力損失が低く、熱応答性、放熱性の良好な珪素−炭化珪素複合部材を提供する。
【解決手段】複数の炭化珪素の結晶粒子１を３次元的に配置させるとともに、隣り合う炭化珪素の結晶粒子１間を珪素相３により接合した立体的な網目構造を形成した珪素−炭化珪素複合部材であって、珪素相３の間隙および気泡を非連結部とし、珪素−炭化珪素複合部材の断面を平面視したときの２２００μｍ×１７００μｍの範囲における非連結部の面積比率＝（非連結部の面積）／（珪素相３の面積＋非連結部の面積）×１００（％）が３．５％以下であること。 （もっと読む）

平坦な支持表面３ｂを有すると共に容易に大型化できかつ破壊靭性を向上させた定盤を提供する。支持表面３ｂを有する定盤３であって、セラミックスからなる主物質ａと、金属からなる補助物質ｂとの複合物質Ａによって形成される。
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【課題】 アルミニウム溶湯等への浸漬において珪素の溶出を抑えることができる被膜付き多孔質構造体および被膜付き多孔質構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 被膜付き多孔質構造体は、実質的に炭化珪素、炭素またはこれらのうち少なくとも一方と珪素とからなる複合材料により構成され、３次元的な網目構造を形成する骨格部と、実質的に窒化珪素により構成され、骨格部の表面を被覆する被膜と、を備える。表面が窒化珪素の被膜により被覆されているため、表面の金属への付着性（ぬれ性）を低くし、金属溶湯への珪素の溶出を低減することができる。たとえばアルミニウム等の溶湯へ浸漬したときに珪素の溶出を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 表面研削を施さなくても、単位面積１００×１００ｍｍ²当たりの厚み方向の反り量が１ｍｍ以内と反りの少ない厚さ０．５ｍｍ〜５ｍｍのＳｉＣ／Ｓｉ複合材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 黒鉛シートを切断する工程と、前記黒鉛シートと溶融Ｓｉを反応焼結させる工程とを含む複合材料の製造方法により、表面研削処理を施さなくても、該複合材料の焼結後の厚みが０．５ｍｍ〜５ｍｍであり、かつ、該複合材料の焼結後の単位面積１００×１００ｍｍ²当たりの厚み方向の反り量が１ｍｍ以内となるＳｉＣ／Ｓｉ複合材料を得る。 （もっと読む）

【課題】 大型のセラミックハニカム構造部材を用いてなる、比剛性の分布の均一な軽量高剛性セラミックス系部材を提供する。
【解決手段】軽量高剛性セラミックス系部材１０は、実質的にＳｉＣ／Ｓｉ複合材料からなる隔壁１１により仕切られた多数の柱状空隙部１２を有するハニカム構造部材１３と、所定のセラミックス系材料からなり、ハニカム構造部材１３の少なくとも一方の開口面に取り付けられる板部材１４と、を有する。隔壁１１はその厚み方向にＳｉＣとＳｉとが層構造をなした微構造を有しており、１個のハニカム構造部材１３を用いることにより、比剛性の分布を均一とした。 （もっと読む）

【課題】 抵抗の温度依存性が小さいヒータ用部品としての炭化ケイ素焼結体及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】
炭化ケイ素粉末と炭素粉末とを溶媒中に分散してスラリー状の混合粉体を得る工程と、上記混合粉体を成形型に流し込み乾燥させてグリーン体を得る工程と、上記グリーン体を窒素雰囲気下１５００℃〜１９５０℃で仮焼して仮焼体を得る工程と、窒素雰囲気下１４５０℃〜２０００℃で、上記仮焼体に毛細管現象により溶融した金属ケイ素を含浸させ、上記仮焼体中の遊離炭素と毛細管現象により上記仮焼体中に吸い上げられたケイ素とを反応させて炭化ケイ素体を得る工程と、を有するヒータ用炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】
低速断続切削、湿式切削において長寿命を実現する立方晶窒化硼素焼結体の提供を目的とする。
【解決手段】
ｃＢＮ相：４５〜８０体積％と、周期律表４ａ、５ａ、６ａ族元素、Ａｌ、Ｓｉの金属、窒化物、硼素物、炭化物、酸化物およびこれらの相互固溶体の中から選ばれた少なくとも１種からなる結合相：残部とで構成される立方晶窒化硼素焼結体であって、金属Ｔｉを含有し、ＣｕＫα線を用いたＸ線回折測定における金属Ｔｉの２θ＝４０．２度付近の回折線強度をＩｔと表し、立方晶窒化硼素の最高回折線強度をＩｃと表したとき、Ｉｃに対するＩｔの割合を示す強度比（Ｉｔ／Ｉｃ）は０．０８〜０．３である立方晶窒化硼素焼結体は、低速断続切削、湿式切削において優れた切削性能を発揮する。 （もっと読む）

【課題】摩擦リングおよびハブプレートをセラミック材料によって一部品で形成する。
【解決手段】金属ハブプレートを用いることなく車軸に対して直接に固定できるカーボンセラミックブレーキディスクであって、炭素繊維で補強され且つ回転軸の近傍でハブプレートの形状を成すとともに外周の近傍で環状ディスクの形状を成すセラミックによって形成されているカーボンセラミックブレーキディスク。 （もっと読む）

本発明は、複合セラミック体およびその製造方法に関する。複合セラミック体は、炭素を含有する繊維強化された芯部領域と、ＳｉＣを含む表面領域とを有している。複合セラミック体の良好な長期挙動を得るために、芯部領域の内部を起点として表面領域の内部に至るまでＳｉＣの割合が連続的または実質的に連続的に変化するように、複合セラミック体がＳｉＣを含んでいることが提案される。 （もっと読む）

炭化ケイ素焼結体の断面研磨面の炭化ケイ素粒子とケイ素粒子の面積から、気孔率（％）＝（ケイ素粒子の面積／（ケイ素粒子の面積＋炭化ケイ素粒子の面積））×１００として求めた気孔率が１５％以上３０％以下であり、残留ケイ素の含有量が炭化ケイ素焼結体の全体積に対して４％以下である炭化ケイ素焼結体。
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【課題】 耐フッ酸性に優れた窒化アルミニウム焼結体、およびそれを用いた静電チャックを提供する。
【解決手段】 窒化アルミニウム焼結体は、IIIａ族元素から選択される少なくとも１種の元素の酸化物を０．５〜５質量％含有し、表面粗さがＲａ０．２μｍ以下に調整された面を備えている。また、この面に４６質量％フッ酸溶液を接触させて１時間放置した後のその接触面の表面粗さはＲａ０．２μｍ以下に維持される。このような窒化アルミニウム焼結体を誘電体層２として用い、その下に設けられた電極３に電圧を印加することにより半導体ウエハ１０を吸着する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セラミックマトリックス複合材構成部品、例えばタービン構成部品を形成する方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、（ａ）化学気相堆積によって繊維トウ（１０）に繊維被覆を施す段階と、（ｂ）高温及び低温バインダ、炭化ケイ素粉末、カーボンブラック並びに水で構成された水性スラリーを通して繊維トウ（１０）を引張り、それによってプリプレグテープを形成する段階と、（ｃ）プリプレグテープをドラム（１８）上に巻取る段階とを含み、さらに（ｄ）プリプレグテープを切断し、積重ねかつ積層して複合材予備成形物（２０）を形成する段階と、（ｅ）予備成形物を溶融ケイ素で溶融浸潤する段階とを含んでもよい。 （もっと読む）

多数の貫通孔が壁部を隔てて長手方向に並設され、これらの貫通孔のいずれか一方の端部を封止してなるセラミックブロックにて構成されたハニカム構造体である。このハニカム構造体は、それを構成するセラミックブロックが、セラミック粒子と非晶質シリコンとからなる複合材にて形成され、その気孔率を高くした場合であっても、優れた圧縮強度を有するとともに、高温に加熱された場合であっても機械的強度の低下が少なく、耐久性に優れている。
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多数の貫通孔が壁部を隔てて長手方向に並設され、これらの貫通孔のいずれか一方の端部を封止してなるセラミックブロックにて構成されたハニカム構造体である。このハニカム構造体は、それを構成するセラミックブロックが、熱伝導率に優れた、セラミック粒子と結晶質シリコンとからなる複合材にて形成され、熱拡散性に優れるだけでなく、比較的低温の温度分布が生じたり、長期間の冷熱サイクルが繰り返された場合であっても、熱応力の蓄積が極めて少なく、クラックが発生することがないので、耐熱衝撃性に優れている。
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