ベータ−窒化ケイ素含有量が窒化ケイ素粉末の０重量％〜約１．６重量％である窒化ケイ素粉末を含む出発粉末混合物から製造されるアルファプライム−ベータプライムサイアロンセラミック体（２０、３０）およびその作製方法。粉末混合物はさらに、アルミニウム、酸素、窒素、および２種の選択された希土類元素をサイアロンセラミック体に提供する１種以上の粉末を含む。選択された希土類元素は希土類元素の３つの特定の群のうちの少なくとも２つの群から選択される。
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【課題】 ウェハ全面に均一に成膜でき、且つパーティクルの発生の少ない半導体製造装置用ウェハ保持体およびそれを搭載した半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 本発明のウェハ保持体は、発熱体および高周波電極を埋設したセラミックス製のウェハ保持体であって、前記セラミックス中に埋設された高周波電極の直径が、高周波電極に対向する上部高周波電極の直径よりも大きいことを特徴とする。前記セラミックスの主成分は、窒化アルミニウムであることが好ましく、また、前記高周波電極が、膜形状であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した、大型、大面積で薄肉のセラミック体の製造方法を提供する。
【解決手段】耐熱性を有する型にセラミック原料粉末スラリーを注入し、乾燥、固化させる工程と、型の内部あるいは表面に形成された成形体を脱型せず型ごと焼成炉内に配し、所定温度に加熱し、前記成形体を焼結せしめ、炉冷後、型から焼結体を取り出す工程から成る大型薄肉セラミック体の製造方法。
【効果】脱型することなく、成形後、そのまま焼成することにより成形体のハンドリングが不要となり、大型薄肉セラミック体を容易に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 強度や破壊靭性などの機械的特性及び耐熱衝撃性を向上させた弁部材を提供すること。
【解決手段】 窒化珪素質焼結体からなり、液体の流路の少なくとも一部を構成する溝または穴部を備えた液体用の弁部材であって、該弁部材を成す窒化珪素質焼結体は、窒化珪素を主成分とする結晶相と、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｔｉ、ＺｒおよびＣｕのうち少なくとも１種の第１の金属元素の珪化物からなる第１金属珪化物および上記第１の金属元素よりも融点の高い第２の金属元素の珪化物からなる第２金属珪化物を含む粒界相とを有し、且つ上記溝または穴部の表面における上記第１の金属珪化物および第２の金属珪化物のそれぞれの濃度が上記窒化硅素質焼結体の内部より低いことで耐熱衝撃性を向上させる。 （もっと読む）

立方晶窒化ホウ素成形体は、ＡｌＭｇＢ_１４のような少なくとも１種のホウ化アルミニウムマグネシウム化合物を含有する第２の硬質相を含有する。第２の硬質相中に存在するホウ化アルミニウムマグネシウムは、ＡｌＭｇＢ_１４のみから成るか、又は、ＡｌＭｇＢ_１４と他の１種以上のホウ化アルミニウムマグネシウム化合物との混合物から成る場合がある。更に、１種以上のホウ化アルミニウムマグネシウム化合物は、ケイ素、チタン、モリブデン、タングステン、ニッケル及び鉄のような単体；又は、それらのホウ化物、炭化物並びに窒化物；でドーピングすることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、耐反応性に優れたセラミックス部材および高温反応炉を提供することを目的とする。
【解決手段】 本質的に窒化珪素質相と第二相とSiC粒子相からなるセラミックス部材であって、第二相とSiC粒子相の合計が２質量％以下であり、第二相は、０．５〜１．３質量％の希土類酸化物と０．５〜１．３質量％の酸窒化アルミニウムポリタイプの固溶したものであり、その第二相の形状のアスペクト比が５以上の割合が１０％以下であり、または、その第二相の形状の短軸側の最大径が０．８μｍ以上の割合が３０％以下であり、かつ、SiC粒子相は、平均粒径０．０５μｍ以下で０．２〜０．４質量％の球状SiC微粒子からなることを特徴とする耐反応性に優れたセラミックス部材、および、この部材を用いてなる高温反応炉である。 （もっと読む）

【課題】 緻密かつ高剛性・高熱伝導率の窒化ケイ素焼結体とその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 窒化ケイ素80〜99質量%と、粒界相がIVa族元素の窒化物のうち少なくとも1種の窒化物0.1〜5質量%、残部がMg、SiおよびIVa族元素の少なくとも1種を含む酸化物もしくは酸窒化物からなり、かつIVa族元素とMgのモル比が酸化物換算で1:1〜1:10の範囲内であり、密度が3.1g/cm³以上、ヤング率が300GPa以上かつ熱伝導率が50W/mK以上であることを特徴とする窒化ケイ素材料。 （もっと読む）

【課題】
高い硬度を有するセラミックス焼結体を提供すること。
【解決手段】
ＣｒＢ₂粉末と、Ｃｒ₃Ｃ₂粉末とを含有する原料混合物を焼結して得られることを特徴
とするセラミックス焼結体、およびその製造方法。
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高温の煙道ガス（２２）を発生させるため燃料・空気混合体を燃焼させるための多孔性バーナであって、ハウジング（１２）を含み、ハウジング内に多孔性で耐高温性の炭化ケイ素（SiC）からなる多孔性材料（１６）が燃焼のために設けられている多孔性バーナ（１０）において、多孔質体がケイ化された炭素織物を含み、この織物が秩序正しい、規則的な構造を有する。炭化ケイ素からなる織物（１６）は、平らな面から外れた形状、例えば波形を有してもよく、複数の織物部分（２８、３０）が層をなして重なり合うようになっていてよい。
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【課題】使用時に熱衝撃による破壊が防止されるように高耐熱衝撃性を有するとともに、めっき鋼板とのすべりを低減して、めっき鋼板の走行速度の変化に追従しやすい溶融金属めっき浴用のセラミックスロールを提供する。
【解決手段】鋼板と接触する中空状胴部１０と、前記胴部に接合された軸部２０，２１とからなる溶融金属めっき浴用ロールであって、少なくとも前記胴部が常温における熱伝導率が50W/(m・K)以上の窒化珪素系セラミックスからなり、前記胴部の平均表面粗さRaが0.2μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アルミニウム溶湯等への浸漬において珪素の溶出を抑えることができる被膜付き多孔質構造体および被膜付き多孔質構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 被膜付き多孔質構造体は、実質的に炭化珪素、炭素またはこれらのうち少なくとも一方と珪素とからなる複合材料により構成され、３次元的な網目構造を形成する骨格部と、実質的に窒化珪素により構成され、骨格部の表面を被覆する被膜と、を備える。表面が窒化珪素の被膜により被覆されているため、表面の金属への付着性（ぬれ性）を低くし、金属溶湯への珪素の溶出を低減することができる。たとえばアルミニウム等の溶湯へ浸漬したときに珪素の溶出を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、不純物が少なく優れた熱伝導率とシャープな粒度分布を有すると共に、焼結時の熱収縮率が低い窒化アルミニウム粉末を安価に得ることのできる、窒化アルミニウム粉末の製造法を提供する。
【解決手段】 還元窒化法における窒化アルミニウム粉末の製造法において、出発原料としてアルミナ粒子粉末の粒子表面が表面改質剤によって被覆されていると共に該表面改質剤被覆アルミナ粒子表面に炭素粉末が付着している複合粒子粉末を用いる窒化アルミニウム粉末の製造法である。 （もっと読む）

【課題】 シリコンウェーハの研削加工に際して大量に発生し、産業廃棄物として処理されてきた廃スラリーを有効し、併せて炭化珪素焼結体用の原料を安価に供給に利用する。
【解決手段】 本発明の炭化珪素焼結体用原料は、シリコンインゴットの研削加工工程から副正成する廃スラリーを遠心分離器で処理するか、ろ過器でろ過した後のコンクなスラッジを処理して得られる。また、本発明の炭化珪素焼結体は、炭化珪素及びシリコンともシリコンインゴットの切削加工工程から副正成するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 炭化ケイ素表面リッチ層を簡易に設けることができる炭化ケイ素焼結体の製造方法を提供する。
【解決手段】
炭化ケイ素粉末を含むスラリーを鋳型に流し込みグリーン体を得る工程と、上記グリーン体を圧縮して仮成形体を得る工程と、上記仮成形体の表面に炭素源をコーティングし表面炭素層を形成する工程と、上記表面炭素層にケイ素蒸気を暴露し、上記炭素源とケイ素を反応させて炭化ケイ素表面リッチ層を形成する工程と、を備えることを特徴とする炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置、液晶デバイス製造装置用の絶縁性部材等として好適に用いることができ、また、前記部材等の大型化、高精度化、複雑化にも対応することができる高比抵抗炭化ケイ素焼結体を提供する。
【解決手段】 常圧焼結法により、窒素含有量が０．４ｗｔ％以上０．５ｗｔ％以下であり、前記窒素の一部が炭化ケイ素結晶に固溶しており、残部が炭化ケイ素結晶粒界に窒化ホウ素結晶として存在し、かつ、比抵抗が０．１ＧΩ・ｃｍ以上である高比抵抗の炭化ケイ素焼結体を得る。 （もっと読む）

【課題】 高硬度と高靭性とを両立できる複合焼結体を提供する。
【解決手段】Ａｌ_２Ｏ_３と、ＴｉＣ、ＴｉＮまたはＴｉＣＮの群から選ばれる少なくとも１種の化合物とで構成された長尺状の芯材４の外周を、Ｍｇを含有したＳｉ_３Ｎ_４質焼結体からなる表皮材８にて被覆した繊維状構造からなる複合焼結体１である。
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【課題】溶融金属による浸食を軽減することにより長寿命化を達成することができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。また、溶融金属のスプラッシュを低減させることができるセラミックス焼結体及びこのセラミックス焼結体で構成された金属蒸着発熱体（ボート）を提供する。
【解決手段】二硼化チタン（ＴｉＢ_２）及び／又は二硼化ジルコニウム（ＺｒＢ_２）と、窒化硼素（ＢＮ）と、必要に応じて窒化アルミニウム（ＡｌＮ）とを含有してなるセラミックス焼結体であって、これらの成分から選ばれた少なくとも一種の成分の濃度が、厚み方向において、有位に異なっている部分があることを特徴とするセラミックス焼結体。このセラミックス焼結体からなる金属蒸着発熱体（ボート）。 （もっと読む）

【課題】強度、耐摩耗性、耐腐食性、耐熱衝撃性に優れ、金属溶湯に対して飛躍的に濡れ難く、かつその経済性、耐久性、品質の安定したセラミック製の金属溶湯用部材を提供する。
【解決手段】吸水性を有する多孔質型に、難濡れ性を有する成分を含有しないスラリーを注入し、該多孔質型の気孔に水分を吸収させることにより着肉固化させた後、所定時間経過後に排泥して基材層を形成する第１の工程と、該基材層内に難濡れ性を有する成分を含有するスラリーを流し入れた後、所定時間経過後に排出して基材層内面に内層を形成する第２の工程と、乾燥後、所定の温度にて焼成し焼結・緻密化と同時に基材層と内層を一体化せしめる第３の工程からなることを特徴とする。 （もっと読む）

セラミック体（２０）、ならびにセラミック体（２０）を作るためのホットプレス法または完全密度までの焼結法。ホットプレスされたセラミック体（２０）は約１５から約３５体積パーセントの間の炭化ホウ素相、および少なくとも約５０体積パーセントのアルミナを含有する。完全密度まで焼結されたセラミック体（２０）は約１５から約５０体積パーセントの間の炭化ホウ素相および少なくとも５０体積パーセントのアルミナを含有する。基体（２１）はさらに次の成分（ａ）〜（ｂ）の少なくとも１つを含み；ここで成分（ａ）および（ｂ）の合計量は完全稠密化を達成するために有効な量であり、ここで成分（ａ）および（ｂ）は、（ａ）アルミニウム、マグネシウムおよび亜鉛のうちの１以上を含む金属成分；および（ｂ）炭素を含有する還元成分を含む。
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【課題】太陽電池等に用いられる高純度シリコンの製造において、アルカリ金属塩又はアルカリ金属炭酸塩を含むスラグを用いる精錬を行うための溶損や汚染の少ない精錬用ルツボを提供する。
【解決手段】アルカリ金属塩又はアルカリ金属炭酸塩を含むスラグ４を用いるシリコン精錬用ルツボは、ルツボの少なくともスラグが接触する部分８に溶損の少ないアルミナ材質を用い、スラグと接触しない部分および／またはルツボの外側７は割れが生じ難いアルミナとＣを主成分とする材質、または、ＳｉＣとＣを主成分とする材質から構成される。 （もっと読む）