Array ( [0] => 塗料、除去剤 [1] => Nを含みC、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 [2] => 異項原子として窒素を有する複素環式化合物 ) 塗料、除去剤 | Nを含みC、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 | 異項原子として窒素を有する複素環式化合物
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Fターム[4J038JB25]の内容

塗料、除去剤 (182,219) | Nを含みC、H、O又はハロゲン以外の元素を含まない有機添加剤 (4,313) | 異項原子として窒素を有する複素環式化合物 (1,354)

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【課題】反射防止塗膜層上にパターン形成されたフォトレジスト像の解像度を増大できるコーティング組成物を提供する。
【解決手段】上塗りフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物が提供され、当該コーティング組成物は、シアヌラート基およびヒドロキシ基又はエーテル基を含む樹脂であり、シアヌラート基含有樹脂は、カルボキシおよび/またはカルボキシエステル基による、複数のシアヌラート窒素環原子の置換を含むシアヌラート化合物から製造される。 (もっと読む)



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