【課題】電流密度の低下をより確実に抑制できる技術を提供すること。
【解決手段】炭素電極１０は炭素基材２０と、ダイヤモンド層３０とを含んでいる。ダイヤモンド層３０は、ダイヤモンド種結晶３１と、このダイヤモンド種結晶３１から成長するとともに炭素基材２０表面を被覆する成長層３２とを含んで構成される。成長層３２は、ダイヤモンド種結晶３１の下方に、ダイヤモンド種結晶３１から成長し、炭素基材２０と接する成長領域３２１を含む。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスの頻度が低減されるとともに動作不良の発生が防止された電解装置を提供する。
【解決手段】電解装置１０は電解槽１１を備える。ＨＦを含む電解浴１２が電解槽１１に収容される。電解槽１１内で電解浴１２の上部に形成される空間ＳＰにＨＦ供給管１８ａの供給口１８ｄから気体状のＨＦが供給される。ＨＦ供給管１８ａからのＨＦの供給時には、電解槽１１内の空間ＳＰの圧力が制御部２３によりＨＦの蒸気圧よりも高く制御される。 （もっと読む）

【課題】気体の混合を防止しつつ電解反応を安定に進行させることが可能な気体発生装置を提供する。
【解決手段】液体隔壁１３ｂには複数の円形の貫通孔Ｈが形成される。各貫通孔Ｈは、陽極室１４ａ側の端部から陰極室１４ｂ側の端部まで斜め上方に延びる上面Ｌ１を有する。貫通孔Ｈの陽極側端の上下方向の径Ｄ１は、電解液が通過可能でかつフッ素ガスおよび水素ガスの泡が通過しないような大きさに設定される。貫通孔Ｈの陰極側端の上下方向の径Ｄ２は、径Ｄ１よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスのコストの低減およびメンテナンスの作業効率の向上が可能な電解装置を提供する。
【解決手段】電解装置１０の電解槽１１においては、電解槽本体１１ａの上部の開口Ｈ１がシール部材１１ｃを挟んで第１の蓋体１１ｂにより閉塞される。第１の蓋体１１ｂの開口Ｈ２は、シール部材１１ｅを挟んで第２の蓋体１１ｄにより閉塞される。開口Ｈ２は開口Ｈ１よりも小さい。第２の蓋体１１ｄの下面には、電解槽本体１１ａ内を陽極室１４ａと陰極室１４ｂとに分離する隔壁１３が一体的に設けられる。陽極室１４ａは、シール部材１１ｅの内側の領域に配置される。陽極１５ａは陽極室１４ａ内において第２の蓋体１１ｄに取り付けられ、電解槽本体１１ａの内面には陰極１５ｂが形成される。電解槽１１内の電解浴１２が電気分解されることにより、陽極室１４ａにおいてフッ素ガスが発生する。 （もっと読む）

【課題】吸着剤を無駄なく効率的に使用可能なフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】主生ガスを流通させる筒状部材３１ａと、筒状部材３１ａに前記主生ガスを導入するガス導入口５１ａと、筒状部材３１ａから主生ガスを導出するガス導出口５２ａと、筒状部材３１ａを流通する主生ガスの流路を確保する空間を形成するように配置された吸着剤保持具２０１と、ガス導入口５１ａから流入した主生ガスを攪拌するための攪拌羽根２０２と、主生ガスを筒状部材３１ａ内の空間に循環又は拡散させるためのガス流案内筒２０３と、を有することを特徴とするフッ素ガス生成装置１００。 （もっと読む）

【課題】電極表面でのフッ化黒鉛層の生成を抑制し、電極の有効電解面積の減少を防ぎ、安定的に電解可能なフッ素化合物の電解合成用電極を提供する。
【解決手段】フッ化水素を含む溶融塩電解浴を用いてフッ素化合物を合成するための電解用電極であって、前記電解用電極は、少なくともその表面が導電性炭素材料から成る電極基材と、前記電極基材表面の一部に被覆された導電性ダイヤモンド層と、を有し、前記導電性ダイヤモンド層が被覆されていない前記電極基材の露出部に金属フッ化物含有膜を被覆させたことを特徴とする電解用電極。 （もっと読む）

【課題】無水フッ化水素を含有する電解浴での電解などに於いて、陽極効果が発生せず、電極溶解による著しいスラッジの発生がなく、ＣＦ₄の発生を抑制でき、且つ電極崩壊を起こすことなく安定に電解を継続できる陽極材料を提供する。
【解決手段】グラッシーカーボンから成る導電性材料基体の少なくとも一部を導電性ダイヤモンド膜で被覆した電解用電極を用いて、無水フッ化水素、または無水フッ化水素に被フッ素化物を添加した電解浴を電解してフッ素またはフッ素含有化合物を電解合成する。 （もっと読む）

【課題】発生ガスの滞留を防止して、所望のガスを効率良く生成することが可能な電気分解電極及び電気分解装置を提供する。
【解決手段】接液面に間隙７を介して対向して配置され、電解液１８を透過させずに発生ガスを気体流路の側へ選択的に透過させる多孔質膜６と、前記間隙７に電解液１８を導くことで、間隙７に電解液１８を含浸させる電解液流路と、を備える。前記接液面で発生し気泡状となった前記発生ガスが、多孔質膜６に接触するように間隙７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】液圧による気体流路側への溶融塩浸入を防ぎ、電解液と気体流路を安定に保ち、気液分離性能を向上させることができる電気分解電極及び電気分解装置を提供する。
【解決手段】貫通孔２ａが形成された導電性基板２と、貫通孔２ａが開口する導電性基板２の表面に沿って配置され、電解液を透過させずに気泡５を貫通孔２ａから気体流路の側へ選択的に透過させる多孔質膜３を備えた。多孔質膜３により、導電性基板２の接液面にて発生した気泡５を貫通孔２ａを通じて気体流路へ選択的に透過させる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド層を表面に形成したフッ素ガス生成用の炭素電極において、高い電流密度を得ることのできる技術を提供する。
【解決手段】炭素電極１０は、炭素材料からなり複数の凹穴２４が主面２１に形成された炭素基材２０と、凹穴２４が形成された主面２１から凹穴２４の内壁面２５の少なくとも一部の深さ位置に亘って炭素基材２０の表面に形成された導電性のダイヤモンド層３０と、を含んでいる。また、フッ素ガス生成装置は、炭素電極１０と、炭素電極１０に電流を供給する給電手段と、を備え、ダイヤモンド層３０に接して供給されたフッ素系の電解液を電気分解して炭素電極１０でフッ素ガスを生成する。 （もっと読む）

【課題】電解槽の液面レベル制御を安定して行うことができるフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】陽極７にて生成されたフッ素ガスが導かれる第１気室１１ａと陰極８にて生成された水素ガスが導かれる第２気室１２ａとが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽１と、陽極７にて生成されたフッ素ガスを外部装置４へと供給するための第１メイン通路１５と、第１気室１１ａからフッ素ガスを導出して搬送する第１搬送機器１７と、第１搬送機器１７の上流側の圧力を検出する第１圧力検出器１３と、第１搬送機器１７から吐出されたフッ素ガスを第１搬送機器１７の吸込側へと戻すための第１圧力調整弁１９と、第１圧力検出器１３の検出圧力が第１設定値となるように第１圧力調整弁１９の開度を制御する制御装置１０とを備え、制御装置１０は、第１気室１１ａと第２気室１２ａとの圧力差が設定範囲内となるように第１設定値を変更する。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガス生成装置の起動時において電解槽の液面レベルの変動を抑制すること。
【解決手段】電解槽１の第１気室１１ａに接続されフッ素ガスを外部装置４へと供給するための第１メイン通路１５と、第１気室１１ａからフッ素ガスを導出して搬送する第１搬送機器１７と、第１搬送機器１７の上流側の圧力を検出する第１圧力検出器１３と、第１搬送機器１７から吐出されたフッ素ガスを第１搬送機器１７の吸込側へと戻すための第１圧力調整弁１９と、第１圧力検出器１３の検出圧力が第１設定値となるように第１圧力調整弁１９の開度を制御する制御装置１０と、圧力検出器１３の上流側に設けられる起動弁７０と、閉弁状態での起動弁７０の前後差圧を検出する差圧検出器７１とを備え、フッ素ガス生成装置の起動時には、制御装置１０は、起動弁７０の前後差圧が設定範囲内となるように設定値を変更し、前後差圧が設定範囲内となった場合に起動弁７０を開弁する。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガスを安定して自動供給すること。
【解決手段】陽極７にて生成されたフッ素ガスが導かれる第１気室１１ａと陰極８にて生成された水素ガスが導かれる第２気室１２ａとが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽１と、電解槽１の陽極７にて生成されたフッ素ガスを外部装置４へと供給するための第１メイン通路１５と、フッ素ガスを貯留するためのバッファタンク２１と、バッファタンク２１の圧力を検出する圧力検出器２４と、陽極７と陰極８の間に電流を供給する電源９と、電源９から陽極７と陰極８の間に供給される電流を制御する制御装置１０とを備え、制御装置１０は、外部装置４へのフッ素ガスの供給流量に基づいて電流値を演算し、演算された電流値を圧力検出器２４の検出結果に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】電解浴の液面高さの変動を抑制しつつメンテナンスコストを低減することが可能な気体発生装置および気体発生方法を提供する
【解決手段】制御装置９０には、陽極室４に設けられた液面センサ４０から出力信号が与えられる。この出力信号は、陽極室４内の電解浴５の液面高さが基準高さよりも高いか否かを示す。制御装置９０は、陽極室４内の電解浴５の液面高さが基準高さよりも高い場合に、インバータ回路２２Ｉにおいて発生されるコンプレッサ２２の駆動電圧の周波数を所定値分上昇させる。これにより、コンプレッサ２２が備えるモータの回転速度が上昇し、コンプレッサ２２から排出される水素ガスの排出圧が上昇し、陰極室３内の圧力が低下する。その結果、陰極室３内の電解浴５の液面高さが上昇するとともに陽極室４内の電解浴５の液面高さが基準高さよりも低くなる。 （もっと読む）

【課題】フッ化水素を吸着除去する精製装置の閉塞を防止し、安定して、高純度なフッ素ガスを供給可能なフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】電解槽１の溶融塩から気化して陽極７から生成されたフッ素ガスに混入したフッ化水素を吸着剤によって吸着除去する精製装置２０を備え、精製装置２０は、電解槽１にて発生したフッ素ガスを含む主生ガスを通過させる筒状部材と、前記筒状部材の温度を調節する温度調節器と、前記筒状部材内に設けられた吸着剤保持具と、を備え、前記吸着剤保持具は、前記筒状部材内に前記主生ガス流路を確保するための空隙を形成するように設けられていることを特徴とするフッ素ガス生成装置。 （もっと読む）

【課題】作業負担およびコストの低減が可能な気体発生装置を提供する。
【解決手段】フッ素ガス発生装置１００は、電解槽１を備える。電解槽１内には電解浴１ａが形成されている。陰極室３内に陰極５が設けられ、陽極室４内に陽極６が設けられる。陰極５および陽極６の間に電圧が印加されることにより、ＨＦ（フッ化水素）の電気分解が行われる。電解槽１の陰極５から主として水素ガスが発生し、陽極６から主としてフッ素ガスが発生する。ＨＦ吸着塔６０〜６３に充填されたＮａＦペレットを加熱するための加熱炉８０，８１が設けられる。加熱炉８０内にＨＦ吸着塔６０，６２が設けられ、加熱炉８１内にＨＦ吸着塔６１，６３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】安定して電解可能なフッ素ガス生成装置を提供すること。
【解決手段】溶融塩に浸漬された陽極７にて生成されたフッ素ガスを主成分とする主生ガスが導かれる第１気室１１ａと、溶融塩に浸漬された陰極８にて生成された水素ガスを主成分とする副生ガスが導かれる第２気室１２ａとが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽１と、陽極７と陰極８との間に電流を供給する電源９と、電解槽１の溶融塩中の水分濃度を測定する水分濃度測定装置５０と、水分濃度測定装置５０によって測定された水分濃度が予め定められた基準値よりも高いと判定した場合には、陽極７と陰極８との間に供給される電流が低下するように電源９を制御する制御装置６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】緊急停止時に安全に停止させることができ、かつ速やかに再起動させることができるフッ素ガス生成装置を提供する。
【解決手段】フッ素ガス生成装置１００の緊急停止時に作動する緊急停止設備を備え、緊急停止設備は、フッ素ガス生成装置１００の緊急停止に伴う駆動源の喪失に伴って同伴ガス遮断弁４７が閉弁されることによって遮断される同伴ガスに代わり、精製装置１６の冷媒を代替ガスとして供給可能な代替ガス供給設備２０１と、代替ガスのフッ化水素供給通路４１への供給と遮断を切り替える代替同伴ガス遮断弁２０９と、フッ素ガス生成装置１００の緊急停止に伴う駆動源の喪失に伴って開弁して計装ガスが供給可能となる計装ガス遮断弁を有する緊急停止用計装ガス供給設備とを備え、フッ素ガス生成装置１００の緊急停止時には、計装ガスの供給を受けて代替同伴ガス遮断弁２０９が開弁し代替ガスがフッ化水素供給通路４１へと供給される。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガスの精製に使用される冷媒を有効利用するフッ素ガス精製装置を提供する。
【解決手段】溶融塩に浸漬された陽極７にて生成されたフッ素ガスを主成分とする主生ガスが導かれる第１気室１１ａと、溶融塩に浸漬された陰極８にて生成された水素ガスを主成分とする副生ガスが導かれる第２気室１２ａとが溶融塩液面上に分離して区画された電解槽１と、電解槽１の溶融塩から気化して陽極７から生成された主生ガスに混入したフッ化水素ガスを冷媒を使用して凝固させて捕集してフッ素ガスを精製する精製装置１６とを備え、精製装置１６にてフッ化水素ガスの凝固のために使用され排出された冷媒をフッ素ガス生成装置１００の各所で使用されるユーティリティガスとして再利用する。 （もっと読む）