【課題】 複数のマスク部２を有するメタルマスク１にテンションを加えた状態で枠状のフレームに固定するに際し、各マスク部の位置を正確に位置決めする技術を提供する。
【解決手段】 メタルマスク１の各辺を、複数のテンションユニット１３で把持して引っ張り、メタルマスク１にテンションを加えると共に、そのメタルマスク１にガラススケール２５を重ね合わせ、メタルマスク１に形成した十字マーク６ａ〜６ｄが、ガラススケール２５に形成した基準マークに一致するように、テンション調整することで各マスク部２の位置を正確に位置決めする構成とし、更にガラススケール２５の４隅を連結部材４１を介して支持フレーム４０で支持してガラススケール２５の４隅の自重による撓みを無くし、ガラススケール２５とメタルマスク１の間のギャップ寸法を均一とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マスクシートをフレームに固定した後においても開口部の位置を修正することができ、またマスクシートの張力のバラツキを抑えることが可能なメタルマスクの製造方法およびメタルマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明のメタルマスク１０の製造方法は、複数の開口部を有するマスクシート１２およびマスクシート１２を取り付けるフレーム１４を準備する。（２）マスクシート１２の端部をフレーム１４に固定する。（３）マスクシート１２の開口部が所望の位置にあるか否かを確認する。（４）開口部の位置がずれていれば、例えばマスクシート１２にレーザー１８を照射する等の手段により、マスクシート１２を収縮させて開口部の位置を移動させる。 （もっと読む）

【課題】 蒸着によって有機機能層を形成する際の蒸着材料の使用効率を高め、特に均一
な膜厚で有機機能層を形成することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の製造方法は、有機機能層形成工程において、画素領域３３のパタ
ーンに対応し且つ隔壁ＢＨにより凹状に区画形成されてなる材料配置部２０を備える蒸着
ボート１０を用いて蒸着を行うもので、蒸着ボート１０の材料配置部２０に有機材料１９
を配置する工程と、蒸着ボート１０と基板３０とを材料配置部２０と画素領域３３とが対
向するように重ね合わせる工程と、該重ね合わせた状態で発熱部５０により有機材料１９
を加熱し、該有機材料１９を基板３０側に蒸着させる工程とを有し、材料配置部２０には
、当該材料配置部２０の底面の中心部に形成され、且つ該底面から突出する凸部５１が具
備されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 シリコンマスクを形成するエッチング処理時に、エッチング処理を最適な時期に終了させることが容易なマスク、及びマスクの製造方法を提案する。
【解決手段】 被成膜基板に対して所定パターンを有する薄膜を形成するためのシリコンマスクＭが、シリコン基材Ｓ上に、所定パターンに対応する開口部２０と、開口部２０を形成する際の形成状態を検知可能な検知部１５と、を備える。
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【課題】 基板を平面に保って成膜を行える成膜装置における基板装着方法を提供する。
【解決手段】 成膜装置における基板装着方法は、成膜装置に蒸発源と、この蒸発源に対向させたチャック１４とを設け、前記チャック１４に基板を装着保持させる成膜装置における基板装着方法であって、前記チャック１４と前記蒸発源との間に配置したマスク２８上にガラス基板２６を載せ、ガラス基板２６とともに前記マスク２８を前記チャック１４に近づけて、ガラス基板２６を前記チャック１４に接触させ、ガラス基板２６を保持する構成である。 （もっと読む）

【課題】 マスクを基板に近づけても、マスクと基板との位置関係を維持するマスク保持機構および成膜装置を提供する。
【解決手段】 マスク保持機構は、成膜装置のチャック１４に装着保持されている基板に被せられるマスク２４のマスク保持機構であって、前記マスク２４は、磁性体で形成されてなり、前記チャック１４の前記基板を保持するチャック面と反対側に、磁石１６を点状に配設した構成である。そして前記磁石１６は、格子を形成する格子点に配設された構成にすることができる。 （もっと読む）

【課題】
簡便な方法で温度を正確に測定し制御できる昇華性材料用蒸着ボートを提供すること、さらにはその蒸着ボートと温度測定用のシース熱電対を用い簡便で再現性良く精度の高い温度制御を低コストで可能にすることを課題とした。
【解決手段】
蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、少なくとも２穴またはメッシュ状の穴の開いた中板と少なくとも１つ以上の穴の開いたカバーのうちの両方またはどちらかを備えた抵抗加熱式金属製昇華性材料用蒸着ボートにおいて、前記底板の蒸着材料が入る容器部の底部の外側に温度センサーを接触、保持させる機構を有する蒸着ボートを発明することにより上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】蒸着中に発生する蒸着源からの輻射熱の影響による蒸着位置精度の低下を抑制した蒸着マスク、およびこれを用いた有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】開口配列群を持つ蒸着マスクであって、蒸着マスクの少なくとも蒸着源側面の波長２μｍにおける光反射率が９０％以上であることを特徴とする蒸着マスク。 （もっと読む）

【課題】 マスクの位置合わせを容易にする成膜装置のマスク位置合わせ機構および成膜装置を提供する。
【解決手段】 成膜装置のマスク位置合わせ機構は、成膜装置内にマスククランプ２２を配設し、前記マスククランプ２２に前記マスク２６を載せるときの成膜装置のマスク２６位置合わせ機構であって、前記マスククランプ２２は、前記マスク２６の縁部に対応して前記マスク２６の側方から延設された延設部２２ａと、前記延設部２２ａの先端部に設けられた嵌合ピン２２ｂとを有し、前記マスク２６は、その前記縁部に前記マスククランプ２２の前記嵌合ピン２２ｂと嵌め合わされる嵌合穴２６ｃを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】 マスククランプの移動量を複数に分割するマスククランプの移動機構およびこの機構を備えた成膜装置を提供する。
【解決手段】 マスククランプ２０の移動機構は、有機ＥＬ素子を製造するための成膜装置におけるマスククランプ２０の移動機構であって、有機材料１２の蒸発源１４に対向して配設され、基板とマスク３４とが重ね合わされるチャック１６と、先端部２０ａを鉤型に形成してなるとともに、チャック１６に重ね合わされたマスク３４を前記先端部２０ａで保持するマスククランプ２０と、前記基板クランプ１８を移動させる伸縮手段２２とを備え、前記伸縮手段２２は、第１伸縮手段２４を装置本体１１に配設するとともに、伸縮動作をなす第１ロッドを板部材２３に接続し、第２伸縮手段２６を前記板部材２３に配設するとともに、伸縮動作をなす第２ロッドを前記基板クランプ１８の基端部に接続または接触させてなる構成である。 （もっと読む）

【課題】 自重による撓みを容易に防止することができるマスク、マスクの製造方法、またこれらのマスクを用いた成膜装置等を提案することを目的とする。
【解決手段】 被成膜基板に対して第一パターンを有する薄膜を形成するためのマスクＭであって、第一パターンに対応する開口部２２を有する非磁性体基板Ｓと、非磁性体基板Ｓ上に第二パターンを有して配置された磁性体膜２８と、を備える。
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【課題】十分な脱ガスができ、蒸発材料の蒸気の供給の完全停止を行うことができ、蒸発材料を所望の蒸気流量に高精度で制御できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料を気化又は昇華させて、蒸発材料の蒸気を発生させる蒸発室１ｂからの蒸気流量を制御するスプールシャッタ７に、所定間隔で配置された複数の貫通孔１３ａを有し、位置を固定された固定板１３と、同間隔で配置され、貫通孔１３ａと同等の開口面積を有する複数の貫通孔１４ａと、同間隔で配置され、貫通孔１４ａより小さい開口面積を有する複数の貫通孔１４ｂとを有し、貫通孔１４ａと貫通孔１４ｂが貫通孔１３ａの長手方向の長さより大きい間隔で配置された可動板１４と、可動板１４を固定板１３へ摺動可能に押し付ける押付機構２１と、可動板１４を固定板１３表面に沿って摺動させる移動機構とを設ける。 （もっと読む）

【課題】被蒸着体の被蒸着領域の拡大（長大）化や蒸着材料が少量である場合などに対して、容易且つ安価に対処することができる構成のるつぼを備えた真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】るつぼ２２Ａは蒸着室１６Ａ一面に広がる一体ものとし、その上面３１に、その一端から他端までの長さの１本又は複数本のスリット溝３２Ａを設け、このスリット溝３２Ａを蒸着材料（ドーパント材３０Ａなど）の収容部とする。または、るつぼを蒸着室１６Ａ一面に広がる一体ものとし、その上面に複数個の孔を設け、この孔を蒸着材料の収容部とする。更には、るつぼを複数の領域に分け、るつぼの下面側に前記領域ごとに個別の電気ヒータを配設することにより、前記領域ごとに個別に前記電気ヒータによる温度調節を可能とする。 （もっと読む）

【課題】蒸発量、蒸発温度が異なる蒸着材料であっても、蒸着材料の加熱温度の制御性が良く、蒸着材料の蒸気量を高精度に制御できる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】壁面が加熱されたチャンバ３の下方側に設けられ、異なる蒸着材料４ａ、４ｂを各々気化又は昇華させて、蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気を発生させる蒸発室１ａ、１ｂと、蒸発室１ａ、１ｂからの蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気量を各々制御する２つのスプールシャッタ６と、２つのスプールシャッタ６が面し、蒸着材料４ａ、４ｂの蒸気が混合される混合室７とを有し、上方側に配置された基板５に混合された蒸気を蒸着させる真空蒸着装置において、少ない蒸発量又は低い蒸発温度の蒸着材料４ｂ側のスプールシャッタ６と蒸発室１ｂとの間に、複数の孔１１ａを有する多孔板１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 簡易にシート状のマスクの平坦化を図ることができ、成膜作業時間の短縮化を可能にし、成膜工程を有する自発光素子の製造において、生産性の向上を図る。
【解決手段】 成膜用マスク１は、マスクシート２と支持部材３を備える。マスクシート２は、被成膜対象の成膜領域に対応した開口パターンが形成された開口パターン形成領域２Ａを有し、磁性体で形成されている。支持部材３は、マスクシート２の開口パターン形成領域２Ａに対応した開口部３Ａを有すると共に、マスクシート２を吸着して平坦化する磁化された平坦面３Ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】液化した有機材料が蓋体の下面に結露しても、この有機材料が坩堝の外部に漏れ出さない構造の蒸着装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ装置に用いられる基板の下方へ配され、有機材料を真空蒸着するための坩堝２２があり、坩堝２２は、貯留部２４と、蓋体２６と、ヒータを有し、また、蓋体２６には有機材料が吹出す吹出口２８が開口し、蓋体２６の外周部近傍の下面には、貯留部２４の開口部の内側に嵌合するひさし部３０が下方に突出している。 （もっと読む）

【課題】加熱や光照射による電力効率の低下が抑制される有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１０は、導電性の金属酸化物系材料で形成された陽極１２と、陰極１３と、有機発光層１４と、アミン系材料で形成された正孔注入輸送層１５とを備えている。陽極１２と陰極１３との間に有機発光層１４が設けられており、陽極１２はアルゴンの混合量を３０〜５９ｖｏｌ％とした酸素及びアルゴンの混合ガスを用いたプラズマ処理を受けている。プラズマ処理後の陽極１２上に正孔注入輸送層１５が形成される。有機ＥＬ素子１０は、温度８５℃の熱を１５０時間加えた後の電力効率の保持率が８０％以上であり、照度３０００ルクスの光を１００時間照射した後の電力効率の保持率が８０％以上である。 （もっと読む）

【課題】 被蒸着基板に精度良く所望の形状を蒸着可能なマスク及び有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 被処理基板上に蒸着成膜するパターンに対応して、蒸着材料を通過させるための開口部を設けた薄板状のマスク１０であって、一定の方向に沿って開口された複数の開口部１２ａと、被処理基板と対向する一方の面の反対側となる他方の面に一定の方向に沿って設けられた桟部１５とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】印刷、ラミネート、製袋などの各種後加工が施されても、ガスバリア性が低下しない透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】透明プラスチックフィルムからなる基材層１の少なくとも片面に、厚さ５ｎｍ〜３００ｎｍの酸化アルミニウム蒸着薄膜層２と、続いて、厚さ１ｎｍ〜５ｎｍのアルミニウム蒸着薄膜層３と、さらに続いて、その上に重合しうるアクリル系のモノマー、又はモノマーとオリゴマーの混合物からなる未硬化のフラッシュ蒸着被膜層を硬化させてなるガスバリア性被膜層４を真空中において連続して順次積層してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査精度のばらつきを無くすと共に、検査の作業速度を向上させることで表示パネルの生産性の向上を図る。
【解決手段】 基板上の表示領域に自発光素子の配置を特定すると同時に、表示領域以外の領域に基準マークを形成する前処理工程（Ｓ１）、成膜用マスクの開口パターンを介して発光材料を成膜して、表示領域に自発光素子の構成要素を成膜すると同時に、表示領域以外に成膜毎の位置検出マークを成膜する成膜工程（Ｓ２）、基準マークに可視光を照射すると共に位置検出マークにＵＶ光を照射し、基準マーク及び位置検出マークを撮像して得た画像データを画像処理することによって、基準マークに対する位置検出マークの位置を検出する位置検出工程（Ｓ３）、位置検出工程（Ｓ３）によって検出された基準マークに対する位置検出マークの位置に基づいて、自発光素子の配置に対する構成要素の成膜状態の良否を判定する検査工程（Ｓ４）を有する。 （もっと読む）