【課題】反射板を使用することによってノズルの熱を効果的に高め、ノズルでの蒸着物質の凝縮を防止することができる蒸発源を提供する。
【解決手段】蒸着物質が位置し、一部分が開口された蒸着物質貯蔵部と、前記蒸着物質貯蔵部の開口された部分に連結され、前記蒸着物質を噴射するための開口部を有するノズル部と、前記ノズル部の少なくとも一部の角部を取り囲む反射板と、前記蒸着物質貯蔵部を取り囲むハウジングと、前記ハウジングと前記蒸着物質貯蔵部との間に介在される加熱部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、基板上に薄膜を形成することができる薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】この方法は、被蒸着基板１０の薄膜形成面１１に膜材料２３を蒸着させることによって、薄膜形成面１１に薄膜１２を形成する。被蒸着基板１０の薄膜形成面１１と、膜材料２３を材料供給面２１に担持した供給基板２０の当該材料供給面２１とを近接対向配置させる。材料供給面２１には、所望のパターンの鏡像パターンの凹部２２が形成されており、この凹部２２内に膜材料２３が配置されている。凹部２２は、薄膜形成面１１との間に実質的な密閉空間を形成する。凹部２２内の膜材料２３を蒸発させると、これに対向する薄膜形成面１１上の各対向領域へと膜材料２３の気化物が輸送される。これにより、薄膜形成面１１上に薄膜１２が蒸着される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板上に略均一な厚さとなるよう再現性良く、蒸着膜を蒸着することのできる蒸着装置を提供することを課題とする。。
【解決手段】 蒸着材料を収容する収容部１０１と、収容部１０１を加熱する加熱手段１０３と、収容部１０１にキャリアガスを導入するためのガス導入口１０１Ａと、キャリアガスにより、気化又は昇華された蒸着材料を放出する放出口１０１Ｂと、放出口１０１Ｂに設置され、収容部１０１内の圧力を調整する圧力調整手段１０４と、収容部１０１を冷却する冷却部１０８とを備えた蒸着源を複数設け、複数の蒸着源を断熱部材１１０を介して供給用管路９２に接続した。 （もっと読む）

【課題】蒸着率が一定であり，再現性の良い蒸着ソースおよびそれを備えた蒸着装置を提供すること。
【解決手段】開口部を有する加熱容器１３，２３と，加熱容器１３，２３の開口部に結合される，加熱容器１３，２３の開口部の長手方向に沿って複数の孔１７，２７が形成されたカバー１５，２５と，を備え，加熱容器１３，２３の開口部の長手方向に沿って，カバー１５，２５に形成された互いに隣接した孔１７，２７間の距離が変わることを特徴とする蒸着ソースである。 （もっと読む）

【課題】 有機ＥＬディスプレイの発光層の形成に好適な蒸着用のメタルマスクを得る。
【解決手段】 メタルマスク３５を、ベース基板１９の導電性膜２０上に配設されたレジスト２２により傾斜側壁を有する略台形形状凸部２２ａが配設された電鋳用マスク原版２５を用い、導電性膜２０上に電気めっきで、レジスト２２の略台形形状凸部２２ａの傾斜側壁に倣わせつつその高さ方向に所望の金属３４を析出させてから剥離して、このメタルマスク３５の開孔３５ａの内側壁に傾斜を形成し、蒸着に用いたとき発光有機材料による蒸発源と被成膜基材との間に影を作らないようにして、被成膜基材上に発光有機材料による均一な厚さを有する発光層を形成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 パターン形成のためにマスクを用いた蒸着において、熱膨張によってメタルマスクがたるむのを防ぎ、高いパターン精度を維持でき、高い耐久性をもつ蒸着用マスク構造体を実現する。
【解決手段】 テンションがかかったマスクを第１のフレームに固定し第１のフレームの内側においてマスクの裏面と第２のフレームとを固定し、マスクを第１のフレームから切断して蒸着用マスク構造体の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】酸化アルミニウム層と１，３，５−トリアジン誘導体蒸着層の密着性を改善し、優れたガスバリア性フィルムを提供することにある。
【解決手段】プラスチック材料からなる基材１の少なくとも一方の面に、酸化アルミニウムと１，３，５−トリアジン誘導体の共蒸着層を厚さ５０〜３０００ｎｍで、好ましくは前記共蒸着層が、基材１に近い側からＡｌＯｘ層２／ＡｌＯｘ−１，３，５−トリアジン誘導体混合層３／１，３，５−トリアジン誘導体層４となる傾斜構造を持つこと特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ表示装置に適したアニール方法を提供する。
【解決手段】
成膜対象物７１上にマスク１０を配置し、孔１１を通過する有機薄膜材料の蒸気によって有機薄膜層を形成した後、マスク１０と成膜対象物７１との間の相対的な位置関係を変えずに、マスク１０のレーザ光２９を照射する。孔１１を通過したレーザ光２９は孔１１底面に露出する有機薄膜層に照射され、その有機薄膜層のアニールが行われる。アニール後、マスク１０と成膜対象物７１との相対的な位置関係を変えずに、孔１１を通過した有機蒸着材料の蒸気によって、アニール後の有機薄膜層表面に他の有機薄膜層を形成する。 （もっと読む）

【課題】波長純度の高い紫外光を得ることのできるＥＬ素子及びレーザ発光素子を提供する。
【解決手段】ポリシラン又はオリゴシラン等、Ｓｉ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂから選ばれた同種又は異種の元素が直接連結したポリマー又はオリゴマーからなる薄膜を発光層１３として透明電極１２と上部電極１４の間に配置してＥＬ素子１０を構成する。発光層としてポリ−ジ−ｎ−ヘキシルポリシリレン（ＰＤＨＳ）を用いた場合、両電極１２，１４間に直流電圧を印加することで約３７０ｎｍに鋭いピークを有するＥＬスペクトルが得られる。 （もっと読む）

本発明は、プラズマを用いて機能要素の化学的に官能化された表面および／または界面を製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 陰極形成による有機層へのダメージを防止するとともに陰極から有機層への電子注入効率を改善し、素子の発光特性を大幅に改善する。
【解決手段】 有機層と陰極の間に配置された緩衝層が、電子供与性を有するドーパント材が含有された透明導電性有機物で形成されている有機ＥＬ素子を提供する。 （もっと読む）

【課題】 高品質で性能ばらつきの少ない有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 一対の電極間に、少なくとも一層の有機層を有する有機電界発光素子の有機層の製造方法であって、３座以上の配位子を有する金属錯体を少なくとも一種含有する蒸着材料を脱ガス処理する工程と、該脱ガス処理後に該蒸着材料を加熱して蒸着する工程と、を有する有機電界発光素子の有機層の製造方法。 （もっと読む）

【課題】蒸着方法及びそのための蒸着装置を提供する。
【解決手段】薄膜が蒸着される基板を準備するステップと、蒸着材料を加熱して基板に蒸着させる複数個の加熱容器が一列に備えられたラインソースを準備するステップと、ラインソースを回転させつつ、蒸着材料を基板に蒸着させるステップと、を備えることを特徴とする蒸着方法及びそのための蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】 プラズマによる撥水処理層の成形手段に真空中の高密度プラズマ環境を形成することによって、効率よくかつ強固に撥水処理層を形成できるようにした、超撥水膜の製造方法および製造装置並びにその製品の提供。
【解決手段】 有機ケイ素モノマーをプラズマによって重合し基材２に膜形成させる方法において、高密度プラズマを用いる。 （もっと読む）

【課題】加熱容器とそれを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸着される物質が満たされる空間部と蒸着される物質が放出される開口部とを有するチタンから形成された本体と、本体を加熱する熱線と、本体を熱線と絶縁させる絶縁体と、を備えることを特徴とする蒸着装置の加熱容器及びそれを備えた蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】 マスクや真空槽内部に付着した有機物や無機物を、真空槽を開放することなくイオンビームを照射することにより容易に除去できる極めて生産性に秀れた成膜装置を提供することである。
【解決手段】 マスク１が積層される基板２と、この基板２上に前記マスク１を介して成膜材料を付着させることで所望のパターンの薄膜を成膜する材料蒸発源３とが設けられる真空槽４を有する成膜装置であって、前記基板２に積層されるマスク１若しくは真空槽４内部にイオンビームを照射することで、このマスク１若しくは真空槽４内部に付着した有機物若しくは無機物を除去するイオンビーム源５を備え、前記真空槽４を大気開放することなくマスク１若しくは真空槽４内部にイオンビームを照射し得るように構成したものである。 （もっと読む）

【課題】 蒸着工程における粉体材料の充填・仕込み工程を排して部品の着脱のみで済むようにし効率化すると共に、材料への汚染・吸湿等の影響を低減し、且つ、昇華工程における精製収率の向上をなし得る蒸着方法を提供する。
【解決手段】 昇華材料を昇華する昇華工程と、昇華した昇華材料を基板に蒸着する蒸着工程を少なくとも有する蒸着方法において、昇華工程は、昇華する前の昇華材料を収容する未昇華材料仕込み部品１３に連結する多段式且つ内部が連通している捕集部品１２の内部に昇華した昇華材料が付着する工程であり、蒸着工程は、昇華材料が内部に付着した捕集部品１２の一部をそのまま蒸発源として加熱することで基板に前記昇華材料を成膜する工程であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＯＬＥＤ表示パネルのダウンサイズ化を図れると共に高信頼性を確保でき、しかも装置の稼働率の向上を図れ、ランニングコストも削減できる極めて生産性・コスト性に秀れた有機ＥＬ素子の製造装置を提供ことである。
【解決手段】 基板11上に陽極12ａと、少なくとも一層以上の有機材料層を積層して成る有機発光層12ｂと、陰極12ｃとを順次積層して形成される発光部12上に、この発光部12を封止する封止膜13を形成して成る有機ＥＬ素子の製造装置であって、前記封止膜13を基板11の略全面に積層成膜する封止膜形成機構と、基板11上に積層された封止膜13若しくは有機材料層の一部にイオンビームを照射して、この基板11上の封止膜13若しくは有機材料層の一部を除去する薄膜除去機構とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高効率、即ち、発光効率が高く、駆動電圧が低くすることが可能な有機ＥＬ素子の製造方法ならびに該有機ＥＬ素子を得ることにある。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される化合物を０．５ｎｍ／ｓ以上の蒸着速度で蒸着した層を有することを特徴とする有機ＥＬ素子。
【化１】


〔式中、Ｚ₁は置換基を有していてもよい芳香族複素環を表し、Ｚ₂は、各々置換基を有していてもよい芳香族複素環または芳香族炭化水素環を表し、Ｚ₃は２価の連結基または単なる結合手を表す。Ｒ₁₀₁は水素原子または置換基を表す。〕 （もっと読む）

【課題】有機ＬＥＤの製造において蒸着処理を精度よく行う。
【解決手段】蒸着のための貫通孔５４，６０，．．．を備えた蒸着マスク１０の上面には、嵌合部として台形上の凸部１５０，１５２が設けられている。また、基板１００の下面には、対応する凹部１６０，１６２が設けられている。蒸着は両者を嵌合した状態で行う。これにより、熱膨張にともなう位置ずれを防止することができる。嵌合部は、基板１０に製作されるパネルの周囲に設置してもよいし、複数の有機発光素子からなるピクセルの周囲に設置してもよい。 （もっと読む）