【課題】印刷、ラミネート、製袋などの各種後加工が施されても、ガスバリア性が低下しない透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】透明プラスチックフィルムからなる基材層１の少なくとも片面に、厚さ５ｎｍ〜３００ｎｍの酸化アルミニウム蒸着薄膜層２と、続いて、厚さ１ｎｍ〜５ｎｍのアルミニウム蒸着薄膜層３と、さらに続いて、その上に重合しうるアクリル系のモノマー、又はモノマーとオリゴマーの混合物からなる未硬化のフラッシュ蒸着被膜層を硬化させてなるガスバリア性被膜層４を真空中において連続して順次積層してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低い温度で成膜が可能なので、高温の熱源を必要とせず、形成される薄膜の機械的、電気的特性を向上させることができる薄膜形成方法及び有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による薄膜形成方法は、蒸着物質と添加物質とを混合した成膜物質を蒸着させて薄膜を形成する段階を含み、前記添加物質は、前記蒸着物質と共融点を有する物質を使用する。これにより、従来、蒸着物質だけを使用して成膜する場合より、さらに低い温度で成膜が可能である。 （もっと読む）

【課題】 蒸着によって有機機能層を形成する際の、蒸着材料の使用効率を高め、膜厚の制御を容易とした、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 複数の画素領域３３を備える素子基板３０の画素領域３３に有機機能層を形成する工程で、複数の画素領域３３に対応して隔壁ＢＨにより区画され、ヒータ５０が設けられた複数の材料配置部２０を有する蒸着ボート１０を用いる。そして、蒸着ボート１０の材料配置部２０に有機機能層となる有機材料１９を配置し、蒸着ボート１０の材料配置部２０に素子基板３０の画素領域３３が対向するように、蒸着ボート１０と素子基板３０とを重ね合わせ、ヒータ５０を発熱させ、有機材料１９を素子基板３０の画素領域３３に蒸着することにより、有機機能層を形成する。 （もっと読む）

【課題】パターンマスクと基板の位置合わせを高精度で行うことのできる、高剛性かつ低摩擦でしかもコンパクトなステージを提供する。
【解決手段】マスクＭはチャンバー１に固定された固定ステージ２に保持され、基板Ｗは、第一の駆動装置６によってＸ、Ｙ方向に駆動される第一の移動ステージ３上のＺ方向案内装置１２に支持された第二の移動ステージ４に保持される。鋼球１３を介して第二の移動ステージ４を支持するステージ支持部５は、第二の駆動装置７の駆動によってＺ方向に移動し、基板ＷをマスクＭから離間させた状態で、画像検出装置１８による位置合わせを行ったのち、基板ＷをマスクＭに密着させて蒸着を行う。 （もっと読む）

粉末材料または粒子状材料を計量して加熱された表面に供給することによりその材料を気化させる方法は、少なくとも1つの成分を含む粉末材料または粒子状材料を容器に供給するステップと；その容器から粉末材料または粒子状材料を受け取る位置に配置された回転可能なスクリューを用意し、そのスクリューが回転することにより、その粉末材料または粒子状材料を供給路に沿って供給位置まで移動させるステップと；その供給位置に少なくとも1つの開口部を設け、その供給位置でスクリューが回転したときに発生する圧力によって上記の粉末材料または粒子状材料を制御された状態でその開口部から上記加熱された表面へと移動させるステップを含んでいる。
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【課題】 真空蒸着装置内に存在する微量の酸素が除去でき、駆動耐久性に優れ、しかも発光効率及び発光輝度の高い有機電界発光素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 一対の電極間に、少なくとも一層の発光層を含む有機化合物層を有する有機電界発光素子の製造方法であって、該電極及び／又は該有機化合物層を真空蒸着製膜する直前及び／又は真空蒸着製膜中に、酸素を吸着又は酸素と反応して二酸化炭素を放出する材料を真空蒸着機中で加熱することを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 加熱容器支持台及びそれを備えた蒸着装置を提供する。
【解決手段】 上面に複数個の孔が形成された支え台、そして支え台の各孔の入口に配置され、孔に対応する開口部と孔内壁に沿って延びる遮断部を備えた汚染防止板を備えることを特徴とする蒸着装置の加熱容器支持台である。これにより、加熱容器支持台の孔の縁部近傍への蒸着物質の付着が防止されて、維持、管理及び使用が容易である。 （もっと読む）

【課題】金属及びセラミックスなどの硬質基材のみならず、プラスチック及びゴムなどの軟質基材にも密着性が良く、弾性があり、成膜が容易で、該成膜時に溶剤などが不要であり、かつ、潤滑性、耐薬品性、及び耐熱性が良好なジケトン重合体及びその製造方法の提供。
【解決手段】ジケトンをプラズマ状態にして重合させてジケトン重合体を形成する。このジケトンのプラズマ状態は、ジケトンと、窒素、酸素、水素、二酸化炭素、亜酸化窒素、アルゴン、ヘリウム、キセノン、及びクリプトンから選択される少なくとも１種とが存在する空間に、電圧を印加することによって形成するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 蒸着によって有機機能層を形成する際の、蒸着材料の利用効率を高め、膜厚の制御を容易とした、有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 隔壁３２に囲まれた複数の画素領域３３を備える素子基板３０に、画素領域３３に有機機能層を蒸着によって形成する。このとき、ボート隔壁ＢＨに囲まれて平面視した状態で画素領域３３に対応した形状となる材料配置部２０が複数備えられ、材料配置部２０に有機機能層１８となる所定量の有機材料１９が設けられた蒸着ボート１０を用意する。そして、蒸着ボート１０の材料配置部２０に素子基板３０の画素領域３３が対向するように、蒸着ボート１０と素子基板３０とを重ね合わせる。その後、蒸着ボート１０を加熱することで、有機材料１９を素子基板１０の画素領域３３に蒸着させ、有機機能層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 工程がシンプルであって環境負荷物質を使用せず、かつ耐久性の高い物品の加飾方法、及びその加飾方法により加飾された自動車用部品を提供する。
【解決手段】 加飾方法は、基材の成形（Ｓ１）、基材表面の処理、脱脂洗浄及び除電ブローを含むスパッタリング前処理（Ｓ２）、光沢を有する材料の基材表面へのスパッタリング（Ｓ３）、基材表面への高分子例えば芳香族ポリユリアの蒸着重合（Ｓ４）、製品の取り出し（Ｓ５）及び製品の組付け（Ｓ６）を含む。Ｓ１〜Ｓ６のいずれの工程も、濃酸や６価クロム等の環境負荷の大きい物質を使用しない。さらに、Ｓ１〜Ｓ６の工程は物流が発生しない同期化生産とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの高騰を招くことなく、既存の成膜用マスクを用いて、成膜工程の処理当初から高品質の成膜パターンを形成する。
【解決手段】 製造装置１０は、基板上に成膜用マスクを用いて自発光素子の構成要素となる成膜パターンを形成する真空成膜室１１、成膜用マスクを真空成膜室１１に配備する前に加温するマスク加温室１２を備えており、ロボットアーム等の搬送手段を配備した真空作業室１３の周りに真空成膜室１１とマスク加温室１２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】所定のパターンが形成されたパターン形成部を有するマスクを，そのパターンに損傷を及ぼすことなくマスクフレームに固定する。
【解決手段】本発明は，パターン形成部と，パターン形成部を囲繞する枠部とを有するマスクを固定するマスクフレーム１５において：パターン形成部に対応する開口部１５ａと，枠部に対応する台部１５ｂとが設けられ，台部には，排気用の貫通孔１５ｃが設けられているマスクフレームを提供する。かかる構成によれば，マスクの枠部とマスクフレームの台部とが対向するようにマスクおよびマスクフレームを設置し，真空吸着方式を用いて枠部と台部との間の空気をマスクフレームの台部に設けられた貫通孔を通じて排気することにより，マスクとマスクフレームとが密着される。これにより，所定のパターンが形成されたパターン形成部を有するマスクを，そのパターンに損傷を及ぼすことなくマスクフレームに固定することができる。 （もっと読む）

【課題】連結ホールが形成された鉛直状態のトレイと、連結ホールと係合される連結アームが形成されたホルダープレートを具備し、トレイ及びトレイホルダーの曲がりが防止されたトレイ及びトレイホルダー用整列システムを提供する。
【解決手段】基板及びマスクが固着されることができ、連結突起を具備する複数の連結ホール１１０が形成されて鉛直状態で移送されるトレイ１００と、このトレイ１００と連結されるように前記連結ホール１１０に挿入され得る連結アーム２１０であって、前記連結ホール１１０に挿入された状態で前記連結突起に係合し得る連結溝が形成された連結アーム２１０、及び前記連結アーム２１０が設けられたホルダープレート２９０を含むトレイホルダー２００とを含んでなる。 （もっと読む）

【課題】熱可塑性支持体あるいは無機蒸着膜上に、分子量６００以上の有機物を原料とすることが可能で、しかも架橋度を上げることにより、酸素バリア性と擦傷耐性に優れた有機物被覆層を形成する方法および製造装置を提供する。
【解決手段】
真空中で単官能あるいは２官能の（メタ）アクリル基を持つ分子量６００以下又はそれ以上の有機物および／または１，３，５−トリアジン誘導体をプラズマを照射させて活性化させた後に電子銃を用いて、完全に硬化させることで被覆層形成時に発生する収縮を低減させ、支持体等との密着性と耐擦傷性を付与する。 （もっと読む）

有機材料（25）を堆積させるための蒸発源（10）は、有機材料を収容するキャビティ（15）を有するボート（30）と、互いに離れた複数の開口部（45）を持っていてそのボートを閉じさせる開口プレート（40）とを備えている。この蒸発源は、キャビティの中にあって開口プレートと有機材料の間に設けられた加熱素子（50）と、その加熱素子と接触していて、その加熱素子からのエネルギーを吸収する少なくとも3つの面（75、80、85、120、125）を備え、第1の面はエネルギーを開口プレートに向かわせ、第2の面（80）と第3の面（85）はエネルギーをボートの壁部と有機材料に向かわせるバッフル部材（70）も備えている。
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【課題】有機電界発光ディスプレイ装置の有機電界発光素子を製造するために有機物層を蒸着する時、使用されるマスクにパターンが形成されるうちに印加される張力が、マスクのパターン形成部に均一に作用してパターンが曲がったり歪んだりすることを防止することができるシャドウマスクパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】マスクフレームに引張力が印加された状態に固定される固定部と、パターンが形成されるパターン形成部でなるマスクシートにパターンを形成する方法において、前記マスクシートの下部に相対的に厚い厚さを持つ補助シートを位置させる段階と、前記マスクシートと補助シートに前記引張力に対応する張力を印加しながら前記マスクシートと補助シートを一緒に固定する段階と、固定されたマスクシートのパターン形成部にパターンを形成する段階とからなる。 （もっと読む）

【課題】 マスクにおける撓み発生を防止ないし抑制し、高精度な蒸着等のマスク成膜を容易に行うことができる成膜方法を提供する。
【解決手段】 本発明の成膜方法は、マスク１を介して被成膜基板４に膜パターンを形成する成膜方法であって、成膜材料の供給源１２側から、前記マスク１と、前記被成膜基板４と、該被成膜基板４との接面が平坦な第１部材５とを順に配設し、前記マスク１と前記第１部材４を磁力吸引しながらマスク成膜を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直上下方向に移動する蒸着源から噴射される有機気相物質の蒸着率から基板に形成される蒸着膜の厚さを正確に換算することができる蒸着膜厚測定方法及びこれを用いた蒸着システムを提供する。
【解決手段】蒸着率測定センサー２６が蒸着源２０から基板３０に噴射される物質の蒸着率を感知する段階と、感知された蒸着率を制御部に伝送する段階と、感知された蒸着率と蒸着率測定センサー２６のライフ数値を媒介変数とする変換式によって基板３０に形成される蒸着膜の厚さを換算する段階からなる。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化に対応するための垂直移動型有機物蒸着装置において、蒸着源から噴射される有機気相物質が真空チャンバ内で飛散して蒸着源を上下方向に移動させる駆動軸に付着することを防止することができる蒸着システム用蒸着源の駆動軸密閉装置及びこれを具備した蒸着システムを提供する。
【解決手段】蒸着システムの真空チャンバに設置された駆動軸に結合する結合部と、連結部を介して前記結合部に連結されて前記真空チャンバで有機気相物質を噴射する蒸着源を支持する支持板を有して前記連結部には貫通口が形成されている支持体；と、前記駆動軸を取り囲んで前記支持体が前記駆動軸にしたがって移動可能になるように一側面が開放されているビーム；と、前記貫通口を貫通する遮断板；とでなる蒸着システム用蒸着源の駆動軸及びこれを具備した蒸着システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】鉛直状態で移送されるトレイを安定かつ高速に移送し、トレイの進入及び排出を感知することができるトレイ移送装置を提供する。
【解決手段】基板及びマスクが固着され、下端に棒状の密着部材が設置された鉛直状態のトレイ１１２の移送のためにトレイ下部に密着して移送経路を形成し、駆動源によって回転される複数のプーリー１１４を備えた移送部と、前記トレイ１１２の移送路上にセンサーを備え、トレイ１１２の進入及び排出を感知できる感知部とを含んでなる移送装置１００。 （もっと読む）