【課題】 大型の被成膜基板に対してもマスクの反りや撓みが少ないマスク保持構造を提供する。
【解決手段】 本発明のマスク保持構造は、定盤４の下面に被成膜基板５を挟んでマスク１を保持する構造である。マスク１は、開口部２０を有するベース基板２と、ベース基板２の開口部２０に位置決めされる開口パターン３０を有するチップ３とを含み、定盤４に磁石７が配設されるとともに、その磁石７に磁気吸引されるプラグ８がベース基板２に配設されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の有機電界発光素子の劣化機構そのものに配慮し,特定の元素組成分布を有する金属酸化物電極を用いることによって、寿命を向上させた有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】有機電界発光素子を構成する金属酸化物からなる電極２の化合物組成比が、該電極２から電荷を注入される表面３から該電極２の深層部４まで、ほぼ一定であることにより、電極として化学量論的な安定な組成とし、電極物質の劣化、有機層への拡散を抑止することで、長寿命化を図る。 （もっと読む）

本発明は、インジウム錫酸化物（Indium Tin Oxide、ITO）を含むフィルムの表面に上記ＩＴＯの構成元素であるＩｎ、Ｓｎ、Ｏのうち少なくとも一種の元素と窒素が反応して生成された窒素化合物、または窒素原子を含有する蒸着された窒素化合物を含むＩＴＯフィルム、また、インジウム錫酸化物（Indium Tin Oxide、ITO）を含むフィルムの表面を窒素プラズマ処理することを特徴とするＩＴＯフィルムの製造方法を提供する。
本発明により製造されたＩＴＯフィルムを陽極として使用した有機発光素子は、低電圧、高効率、長寿命の特性を発揮する。
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フッ化ビニリデンオリゴマー又はフッ化ビニリデンコオリゴマーの強誘電性薄膜を形成するための方法において、オリゴマー材料が、真空室内で蒸着され且つ基板上に薄膜として堆積され、基板は、堆積されたＶＤＦオリゴマー又はコオリゴマー薄膜のプロセスパラメータ及び物理特性によって決定される範囲の温度に冷却される。強誘電性メモリセル又は強誘電性メモリデバイスを製造するための本発明の方法の適用において、強誘電性メモリ材料は、電極構造間に配置されるＶＤＦオリゴマー又はＶＤＦコオリゴマーの薄膜の形態で設けられる。この方法で製造される強誘電性メモリセル又は強誘電性メモリデバイスは、薄膜が、少なくとも１つの電極構造上に又は第１電極構造と第２電極構造との間に設けられるように、少なくとも１つの第１電極構造及び第２電極構造上に設けられたＶＤＦオリゴマー又はＶＤＦコオリゴマーの薄膜の形態のメモリ材料を有する。
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【課題】低分子型有機ＥＬ素子製造の真空蒸着工程においてマスクに付着する種々の有機材料を、１種類の洗浄液で除去することができる、洗浄液組成物および洗浄方法を提供すること。
【解決手段】低分子型有機ＥＬ素子製造時の真空蒸着工程において使用するマスクを、非プロトン性極性溶媒を含む洗浄液組成物を用いて浸漬またはジェット水流により洗浄後、ハイドロフルオロエーテルによってリンスする洗浄方法であって、低分子型有機ＥＬ素子構造が、Ｎ，Ｎ′−ジ（ナフタレン−１−イル）−Ｎ，Ｎ′−ジフェニル−ベンジジン、銅（ＩＩ）フタロシアニンおよびトリス（８−キノリノラト）アルミニウムを含み、前記非プロトン性極性溶媒が、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリジノン、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、１、４−ジオキサンおよびシクロヘキサノンからなる群から選択される１種または２種以上である、前記洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】光学部品の各被成膜面に形成される防汚膜の性能を同等にすることを目的とする。
【解決手段】支持装置８０、カバー８２及び基板４０のいずれかの部材を物体Ａと物体Ｂとした場合に、その物体Ａと物体Ｂとの隙間（距離）ＬがイオンシースＩｄの２倍以内の場合は、正イオンＩｃは、物体Ａと物体Ｂとが負に帯電している吸引力に負けて、物体Ａ又は物体Ｂに引き寄せられて、物体Ａと物体Ｂとの間を通過することができない。したがって、物体Ａと物体Ｂとの隙間（距離）ＬがイオンシースＩｄの０．１倍以上、且つ２倍以内の場合は、正イオンは物体Ａ及び物体Ｂの裏面に到達することができない。このことは、物体Ａ及び物体Ｂの裏面は、正イオンにスパッタされることなく、物体Ａ及び物体Ｂの裏面にある防汚膜或いは他の処理膜はこの処理を施す以前の状態を維持することができる。 （もっと読む）

本発明は、
（ｉ）化合物を固体又は気体状態でキャリアガス流に導入する工程、
（ｉｉ）化合物がキャリアガス流中で気体状態で存在する工程、
（ｉｉｉ）気体状の化合物を析出させる工程、
（ｉｖ）工程（ｉｉｉ）で析出した化合物を再度気体状態にする工程、及び、
（ｖ）その後、気体状態の化合物を担体上に析出させる工程、
を含む、１種以上の化合物を担体上に蒸着させる方法において、
気体状態の化合物を含むキャリアガス流を、気体流を導入することによって、化合物の昇華温度よりも低い温度まで冷却することを特徴とする、化合物を担体上に蒸着する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 可撓性があり、衝撃応力に強く、かつ、水分や酸素に対してより高い遮蔽性を有するパッシベーション膜を形成する。
【解決手段】 エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、パッシベーション膜は、ターゲット材料として炭素を用い、ＡｒガスとＯ_２ガスとＮ_２ガスとを含む混合ガスをスパッタガスとして真空チャンバーＷ内に供給し、スパッタ法により成膜するようにしてあり、そのスパッタ法によるパッシベーション膜の成膜条件を、Ａｒガスの供給流量を５〜１００ｓｃｃｍ（８．４５×１０^−３〜１．６９×１０^−１Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、Ｏ_２ガスの供給流量を０〜５０ｓｃｃｍ（０〜８．４５×１０^−２Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、Ｎ_２ガスの供給流量を０〜４０ｓｃｃｍ（０〜６．７６×１０^−２Ｐａ・ｍ^３／ｓ）、真空チャンバーＷ内の真空度を０．０１〜１０Ｐａとしてある。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料を蒸発源に連続的に供給し得る蒸着材料の蒸発装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を貯留するとともに真空ポンプ４に接続された材料貯留容器３と、この材料貯留容器に真空バルブ５を介して接続され且つ当該材料貯留容器から導かれた蒸着材料を予熱するとともに所定方向に移送し得る予熱手段６と、この予熱手段で予熱された蒸着材料を導き所定温度に加熱し蒸発させる加熱蒸発手段７とから構成し、且つ予熱手段を、一端側に蒸着材料の入口部１３ａが設けられるとともに他端側に出口部１３ｂが設けられ且つ水平方向で回転自在に配置された回転筒状体１３と、この回転筒状体を回転させる筒状側回転駆動装置１４と、上記回転筒状体の外周に配置された予熱用ヒータ１２とから構成したものである。 （もっと読む）

粉末材料または粒状材料を気化させる装置は、少なくとも1種類の成分を含む粉末材料または粒状材料を保持する容器と；気化構造部と；この気化構造部から離れていて、容器から粉末材料または粒状材料を受け取ってその粉末材料または粒状材料をその気化構造部に送るチェンバーを有する能動的移動機構とを備えており、この能動的移動機構の中には、そのチェンバーからその気化構造部に粉末材料または粒状材料を送るオリフィスと、第1の方向に移動してそのオリフィスの中に入り、第2の方向に移動してそのオリフィスから出ることができ、粉末材料または粒状材料をチェンバーからそのオリフィスを通じて気化構造部に供給する作動可能な部材と、チェンバーの中にある材料を作動可能な部材とオリフィスの間で流動化する振動板とが存在している。
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【課題】
本発明は、１５ｃｍ角程度の小さな基板から３０ｃｍ以上の大きな基板に対して、基板内の膜厚分布が良好であり、且つステップカバレッジの悪化によるピンホールが生じにくい蒸着膜を、蒸着材料の利用効率が高く形成することを課題としたものである。
【解決手段】
該蒸着ボートの蒸発孔を２つ以上の直径の異なる同心円の円周上に配置し、且つ、該蒸着ボートの両端の電極板部から通電し、容器部を加熱することにより該容器部内の蒸着材料を蒸発させ、基板上に薄膜形成を行なう蒸着方法であって、蒸発孔を配置した２つ以上の円周の少なくとも一つが基板に内接する円を垂直投影したときの円周上または円周内側にあり、且つ、少なくとも一つが基板に外接する円を垂直投影したときの円周上または円周外側にあることを特徴とする。 （もっと読む）

多層被膜を基板の上に堆積するツール。１つの構成では、本ツールは、圧力または温度が制御された環境の少なくとも一つの下で動作するインライン有機材料堆積ステーションを含む。別の構成では、それはさらに、インライン式およびクラスタツールの両方の特徴構造を組み込む複合設計である。この後者の構成では、堆積ステーションの少なくとも１つが無機層を堆積するように構成され、他方で、少なくとも１つの他の堆積ステーションが有機層を堆積するように構成される。本ツールは特に、多層被膜を個別基板の上に堆積することばかりでなく、フレキシブル基板の上に配置された環境に敏感なデバイスをカプセル封じすることにも適切である。安全システムが、本ツールに対する有機材料の分配を監視するために含まれ得る。
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真空蒸気蒸着チャンバ（１０）において、多孔性基材（１２）がプラズマ場（２０）で前処理され、機能化モノマーを直ちにフラッシュ蒸発させ（２２）、多孔性基材上で蒸着且つ硬化される（２４）。得られるポリマー被覆が、材料の細孔を横断しない非常に薄い層（概ね０．０２乃至３．０μｍ）で個別繊維の表面に付着するよう本工程を慎重に調節することで、繊維及び最終製品が所望の機能性を獲得する一方、多孔性基材（１０）の多孔度は実質的に影響を受けない。又、得られるポリマー層を使って、金属及びセラミック被覆の付着性及び耐久性を向上させる。
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【課題】 高い撥水撥油性を有する均一な膜を形成するための表面処理方法を提供する。
【解決手段】 炭素数１〜５のフルオロアルキル基または分子量3000以下のパーフルオロポリエーテル基を有するフッ素化合物を含んでなる表面処理剤を気相中で基板表面に堆積することを特徴とする、表面処理された撥水撥油性基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大型で極薄の蒸着マスクのアラインメント時における撓みを防ぎ、基体のサブピクセルと蒸着マスクの開口が、アラインメント時における精密な位置合わせ状態を保持して蒸着を行なう蒸着膜の形成方法及び蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の蒸着膜の形成方法は、基体と、外部領域及び内部領域を有し、該内部領域に多数の開口を配置した蒸着マスクと、該蒸着マスクを載置する支持体と、を準備する工程と、前記蒸着マスクを前記支持体に載置させ、該支持体で該蒸着マスクを前記内部領域における前記開口の非形成領域で支持する工程と、前記支持体に載置した前記蒸着マスクを前記基体に近接もしくは密着させる工程と、前記蒸着マスクを前記支持体より離間させる工程と、前記蒸着マスクの開口を介して前記基体上に蒸発物を蒸着させて膜形成を行なう工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 成膜開始時、成膜時、及び、成膜停止時における配管系、原料容器、及び、吹き出し容器に残留する有機分子等を迅速に吹き出すことにより、高品質で長寿命の膜、特に、有機ＥＬ膜を得ることである。
【解決手段】 吹き出し容器に有機ＥＬ分子ガスを吹き出す構成を備えた成膜装置において、複数の有機ＥＬ原料容器と、複数の有機ＥＬ原料容器と吹き出し容器とを接続する配管系を有し、複数の有機ＥＬ原料容器は選択的に有機ＥＬ分子供給状態となり、当該配管系は、各有機ＥＬ原料容器内に、成膜時と非成膜時において同じ圧力となるように、輸送ガスを供給するように構成されている。非成膜時、輸送ガスは有機ＥＬ原料容器の一つから他の原料容器に流される。 （もっと読む）

【課題】 従来の撥水膜に対し、滑り性を向上させ、かつ耐久性の特性を向上させた薄膜の製造方法、及びこれを用いた光学部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】 下記一般式(Ｉ)で示されるフッ素置換アルキル基含有有機ケイ素化合物を含む溶液を減圧下、加熱して、基材上に該有機ケイ素化合物を蒸着させる薄膜の製造方法であって、該有機ケイ素化合物は、電子銃にて加熱され、加熱温度が、該有機ケイ素化合物の蒸発開始温度から該有機ケイ素化合物の分解温度までの温度範囲であり、該有機ケイ素化合物の蒸発開始後、蒸着完了まで、該有機ケイ素化合物の温度が分解温度を超えることがなく、かつ、該有機ケイ素化合物の加熱開始から９０秒以内に該有機ケイ素化合物の加熱蒸発を完結させることを特徴とする薄膜の製造方法。
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【課題】 膜厚の制御が精度良く行えるとともに蒸着処理能力を向上し得ることができる蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸着用誘導管６に介在された第１ストップバルブ５と、蒸発用容器４から蒸着用容器３に接続されて蒸発材料の一部を調整用として取り出す調整用誘導管８と、調整用誘導管８に介在された第２ストップバルブとを具備し、ガラス基板１の交換作業を行う際、第２ストップバルブ７を開いて蒸発用容器４内の高濃度の蒸発材料を放出した後、第１ストップバルブ５を開いて蒸発用容器４から通常濃度となった蒸発材料を放出させることにより、蒸発用容器４内を短時間で定常状態とすることができるとともに通常濃度の蒸発材料をガラス基板１に付着させることができるため、蒸着処理能力を向上し得ることができるとともに膜厚の制御を精度良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 金属表面に形成された高分子薄膜の架橋膜形成を容易に行ない、かつ薄膜表面の機能性を維持しつつ薄膜を長時間の使用に耐えるようにする。
【解決手段】 分子内に少なくとも１つのアリル基を含有する、トリアジンジチオール誘導体を、金属表面に形成するものであり、トリアジンジチオール誘導体を金属表面に真空蒸着によって付着する蒸着工程（１）と、蒸着工程後に、大気中で紫外線を照射する大気中照射工程（２）と、大気中照射工程後に、真空中で紫外線照射あるいは電子線照射を行なう真空中照射工程（３）とを備えている。蒸着工程（１）では、トリアジンジチオール誘導体に光重合プレポリマーを混合して金属表面に真空蒸着によって付着することを行なう。あるいはまた、トリアジンジチオール誘導体と光重合プレポリマーとを積層して付着することを行なう。 （もっと読む）

【課題】 真空チャンバー内の基板以外の箇所に堆積した有機膜の剥がれを防止することができ、長時間の連続蒸着が可能な有機膜形成装置を得る。
【解決手段】 真空チャンバー内で蒸着源１から有機材料を蒸発させて真空蒸着法により基板２上に有機膜を堆積して形成する有機膜形成装置において、真空チャンバー内で有機膜が堆積する前記基板２以外の部分の少なくとも一部の上に、付着した有機材料７を保持するための多孔板６ａ〜６ｃが設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）