気化した有機材料の基板表面への堆積を制御する方法は、基板表面に堆積させるために気化した有機材料を通過させる少なくとも1つの開口部を有するマニホールドを用意し；ある体積の有機材料を供給し、第1の状態では、その有機材料の蒸気圧が、基板に層を有効に形成するのに必要であるよりも低い値になるようにその有機材料の温度を維持し、第2の状態では、加熱されたその有機材料の蒸気圧が、層を形成するのに十分な大きさになるようにその有機材料の初期体積の一部を加熱する操作を含んでいる。
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【課題】異なる化学構造を持つ複数種類のポリマーをターゲット材料とすることで、高周波スパッタ法による一つのプロセスによって、分子レベルで構造が混合された新たな複合ポリマー材料を提供する。
【解決手段】固体のポリマーＡの上に、Ａと異なる分子構造を有するポリマーＢ溶液を展開し乾燥させた複合材料をターゲットとして用い、高周波スパッタで基板上に、微細なグレインが高密度に凝縮した構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】電圧降下による消費電力の増大および表示性能の低下を抑制できるとともに高い発光効率を確保できる有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】透明電極１０および対向電極２０の間に有機発光層を含む有機物層３０が挟持された有機ＥＬ素子１において、透明電極１０を、半導体薄膜および絶縁体薄膜の少なくともいずれか一方と金属薄膜との積層体により構成し、半導体薄膜および絶縁体薄膜を、キャリア濃度が１０²⁰ｃｍ^-3未満でありかつエネルギーギャップが２．７ｅＶ以上のものとし、半導体薄膜または絶縁体薄膜を有機物層３０と隣接させる。これにより、透明電極１０の面抵抗を小さくできるとともに、高い発光効率を確保できる。 （もっと読む）

気化した有機材料の基板表面への堆積を制御する方法は、加熱装置を用意して有機材料を気化させ；基板表面に堆積させるために気化した有機材料を通過させる少なくとも1つの開口部を有するマニホールドを用意し；加熱装置とは独立に作動し、第1の状態では、開口部を気化した有機材料が通過するのを制限するのに有効で、第2の状態では、開口部を気化した有機材料が通過するのを容易にするのに有効な制御装置を用意し；加熱装置と制御装置の一方または両方をマニホールドと連続した状態にする操作を含んでいる。
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【課題】薄膜形成用のシャドーマスクを基板に対して平行に保持する。装置の設置面積をできるだけ小さくし、薄膜の膜厚を均一にする。
【解決手段】真空チャンバー１１０の上部に回転軸１２１を配置する。該回転軸１２１の内部に蒸発器１４０を設けて原料物質を気化させる。該回転軸１２１の下端にはガス注入器１１３を連結して、一体的に回転させる。ガス注入器１１３の下方には基板Ｓを配置し、該基板Ｓの上面にはシャドーマスク１１２を吸着させる。回転軸１２１の上部に供給されるキャリアガスは、気化された原料物質を運搬して基板Ｓの上面に付着させる。これにより、薄膜が形成される。本発明によれば、シャドーマスク１１２は基板Ｓに載置されるので、基板Ｓに対して平行に保持されることとなる。ガス注入器１１３は回転式であるため、装置の設置面積を小さくでき、かつ、薄膜の膜厚を均一にできる。 （もっと読む）

【課題】包装用の、又は電子機器関連部材用の積層体において、透明性に優れ、内容物の確認が可能で、且つ内容物の劣化の原因となる酸素や水蒸気を遮断する高度なガスバリア性に優れた多層蒸着フィルムを提供すること。
【解決手段】プラスチックフィルムの基材の一方の面に、真空成膜されたポリマー層が２層以上積層され、ポリマー層が、互いに異なる成分であり、基材とポリマー層との間に、無機酸化物蒸着層を設け、基材及び無機酸化物蒸着層及びポリマー層上に、プラズマ処理層を形成し、ポリマー層が、無機酸化物蒸着層上、若しくはポリマー層上に、モノマー、オリゴマー、又はそれらの混合物を真空蒸着により重合したポリマーを硬化させた皮膜層を順次積層し、少なくとも１層のモノマーおよびオリゴマーが、１，３，５−トリアジン誘導体であって、プラズマ処理と無機酸化物蒸着とポリマー蒸着が、同一成膜機にて形成する多層蒸着フィルム。 （もっと読む）

大気圧グロー放電蒸着により、有機ポリマー基板の表面に複層被膜を調製する方法であって、
上記方法の段階は、下記；
プラズマ重合され、光学的に透明な、有機ケイ素化合物の層（第一の層）を蒸着させる段階、そしてその後；
第二の段階において、ポリマーシロキサン又は酸化ケイ素化合物の実質的に均一な層（第二の層）を、前記第一の層の露出面に蒸着させる段階：
を含み、上記複層被膜は、少なくとも２．０μｍの厚さを有し、そしてＡＳＴＭ Ｄ１０４４、ＣＳ１０Ｆホイール、５００ｇ加重に従って測定した５００回のテーバサイクル後に、ヘイズの差分が２０単位以下の変化を示す耐摩耗性を有する。
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【課題】従来の真空蒸着法による薄膜形成では、蒸着材料の蒸発速度を膜厚モニターにより検出し、蒸着容器の加熱量を制御して蒸発速度を一定に保っていた。しかし、急激な蒸発速度の変化に対しては対応が困難であり、このときに形成された蒸着膜は膜質が異なったり共蒸着濃度が変化してしまったりしていた。
【解決手段】蒸発速度の急激な変化が検出されたら、基板側シャッターと蒸着容器側シャッターを遮蔽して基板への蒸着膜の形成を停止する。その後、蒸発速度が安定したら、シャッターを開放して基板への蒸着膜の形成を再開する。 （もっと読む）

誘電体ハウジング内に配置された少なくとも１つの電極に無線周波数高電圧を印加する一方、プロセスガスが誘電体ハウジングの入口から電極を通過して出口に流れるようにさせることによって、霧化された表面処理剤を組み込んだ非平衡状態大気圧プラズマが発生する。印加される電圧は、電極から少なくとも誘電体ハウジングの出口まで延びる非平衡状態大気圧プラズマを発生するのに十分高い。電極は、誘電体ハウジング内で表面処理剤用の霧化器と組み合わせてもよい。電極は、放射性材料を含んでもよい。処理される表面は、表面がプラズマに接触するようにプラズマの出口に隣接して配置され、このプラズマの出口に対して移動することができる。
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【課題】 有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着において、部分的な材料劣化や、歩留まり低下、コスト上昇起こすことなく大面積蒸着が可能とする。
【解決手段】 有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させる装置であって、真空チャンバー１０と、該真空チャンバー内に設けられた、該被処理基板を支持するための基板支持部材と、該真空チャンバー内に該被処理基板と対向するように設けられた、気化すべき有機材料を配するための少なくとも１つの蒸着源１２と、該蒸着源に隣接または近接して設けられた、各々独立に温度制御可能な複数の温度制御手段１３であって、該温度制御手段の各々の温度制御により、該蒸着源の該被処理基板に対向する面における複数の領域を、各々独立に温度制御可能とする温度制御手段とを備えてなる装置、ならびに有機発光素子用の被処理基板上に有機層を蒸着させる方法が提供される。 （もっと読む）

固体材料を気化させる容器（30）は、内部体積を取り囲む少なくとも側壁と、底部壁と、カバーとを有するハウジングを備えている。このカバーは、ハウジングから蒸気流が流出できるようにするために少なくとも1つの開口部を備えている。ヒーターがハウジングの少なくとも一部を加熱して固体材料を気化させる。カバーと固体材料の間に配置されたバッフル（50）が、固体材料と開口部の間の直接的な見通し線を妨げている。このバッフルはカバーから離れていて、気化した材料の流れを制御して、そのバッフルとカバーに挟まれた領域に流入させ、開口部からの蒸気流の均一性を向上させる。内部体積と、バッフルとカバーに挟まれた領域の体積の比は、少なくとも約20：1である。固体材料は、有機発光デバイスの層を形成するのに使用される有機材料にすることができる。
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フリーラジカル開始剤の存在下で１つ又は複数のフリーラジカル重合性基を有するフリーラジカル開始重合性モノマーを含む混合物をプラズマ処理することによる、基材表面上にポリマーコーティングを形成する方法であって、当該プラズマ処理は、ソフトイオン化プラズマプロセス（前駆体分子がプラズマプロセスの間に断片化されず、その結果、得られたポリマーコーティングが前駆体又はバルクポリマーの物理特性を有する、プロセス）であり、この得られたポリマーコーティング材料を基材表面上に堆積する。 （もっと読む）

【課題】蒸着開始時のツーリング時間を短縮し、材料ロスを低減する。また、基板内の膜厚分布を均一にして有機ＥＬ素子の品質を向上する。
【解決手段】蒸着材料の抵抗加熱発熱源であって、本体の少なくとも一部が絶縁材料からなる円筒形状又は多角筒形状のルツボ、及び曲げ加工された平板からなる抵抗加熱ヒーターからなり、平板の曲げ加工された部分によって画定される空間にルツボが収納され、平板の少なくとも一部分とルツボの側面の少なくとも一部分とが接触面を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】キャリアガスを被蒸着基板方向に放出するガス流路内にガスを加熱する複数の固体片からなるガス加熱体を設けることで、蒸着装置の外部にキャリアガスを加熱する専用の加熱装置を設けず、被蒸着基板近傍で、キャリアガスを有機原料の沸点もしくは昇華点以上の高温に加熱することを可能とする。
【解決手段】チャンバ内に蒸着源１２と被蒸着基板とを対向して設けた蒸着装置であって、蒸着源１２は、蒸着材料７１を蒸発させるるつぼ１３と、るつぼ１３の外周側に沿って被蒸着基板方向にガス６１を供給するガス流路１４と、ガス流路１４を通過するガス６１を加熱するガス加熱体１５とを備えたもので、ガス加熱体１５はガス流路１４内に配置した複数の固体片１５１からなる蒸着装置である。 （もっと読む）

【課題】 基板と画素パターンを蒸着するためのマスクと、基板とマスクの位置合わせをするためのアライメント機構を備えたマスクホルダと蒸着源とを用いて、有機エレクトロルミネッセンス素子を作製する真空蒸着方法において、複数個の基板面内上での膜厚分布均一性を高める。
【解決手段】 基板とマスクとマスクホルダからなる構造体を、蒸着源の上部に同心円状に複数個配置して、かつ、基板とマスクとマスクホルダからなる構造体を、蒸着源の中心部から外側に向けて傾きを持たせた状態で蒸着を行う。 （もっと読む）

【課題】 蒸発材料の放出濃度が高い蒸発材料の放出口付近であっても蒸発材料の放出量を長期間測定することができる蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 蒸発材料取出用孔部４ｃ（５ｃ）の縁部に設けられた熱電対２１ａ（２１ｂ）と、放出用容器４（５）の加熱設定温度と熱電対２１ａ（２１ｂ）により検出された測定温度との温度偏差を算出する監視制御装置１１とを具備し、温度偏差に基づき、放出レートすなわち蒸発材料の放出量割合を求めるようにしたので、従来の水晶振動子式のように蒸発材料が堆積する膜厚計を蒸発材料の放出濃度が非常に高い場所に設置して放出量割合を検出する場合とは異なり、蒸発材料が堆積する問題がなく連続して長期間使用することができ、したがって蒸着装置の稼働率が低下することを防止することができる。 （もっと読む）

本発明は、ＯＬＥＤ蒸着工程用蒸発ソースとして用いられるるつぼ装置に関するもので、特に、蒸着工程時の有機物質の蒸発のためにるつぼを加熱し、その有機蒸気が、るつぼと対向して位置する基板に均一に蒸着されるようにするために、有機蒸発物質の蒸発方向と蒸発量を制御するマルチノズル部（４０）と、上部が開口された円筒形るつぼ（５０）とが結合されて構成され、特に、ＯＬＥＤ蒸着工程時に、薄膜の均一性を向上させ、かつ、有機物質の使用効率を高める。

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【課題】 蒸着により形成される薄膜の品質を向上し、装置の稼働率を向上し得る蒸着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガラス基板１が配置されて蒸着が行われる蒸着用容器３内に、蒸発材料を放出する放出孔１１ｄが形成され、放出孔１１ｄからガラス基板１に向かう蒸発材料の飛翔経路Ｘを遮断または開放するシャッター１２と、シャッター１２に付着した蒸着材料である蒸着物１６を掻き落とすスクレーパー１７を備え、シャッター巻取り部材１４の巻取り回数が所定回数に到達するごとに、蒸着物１６がスクレーパー１７により掻き落とされるため、一連の成膜工程において蒸着物１６が落下することを防止することができ、したがって蒸着により形成される薄膜の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】常温・常圧下に極微小空間に低エネルギーで安定発生させることができる低温マイクロプラズマ発生機構（トーチ）を備えたマイクロプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】試料ガス導入管が接続されたプラズマトーチ外管の内部にプラズマガス導入管が接続されたプラズマトーチ内管を設けてなる筒状のプラズマトーチ、前記プラズマトーチ内管の出口部近傍の外周に設けられたプラズマガス励起用高周波コイル、および原料モノマーガス供給手段を備えたマイクロプラズマ反応装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透明性に優れ、材料の安全性が高く、密着が良好であり、クリーン性が高く、かつ高速製造によりコストダウンが可能なガスバリアフィルム積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチック材料からなる基材の片面もしくは両面に、フェノールカルボン酸および／またはそのエステル化物を主成分とするガスバリア層を積層してなることを特徴とするガスバリアフィルム積層体およびそのガスバリア層を減圧下で成膜する製造方法である。 （もっと読む）