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Fターム[4K029FA04]の内容

物理蒸着 (93,067) | 前処理 (2,046) | 基体の前処理 (1,801) | 清浄化、クリーニング (462)

Fターム[4K029FA04]に分類される特許

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【課題】耐摩耗性と耐熱性とに優れたγ−アルミナベースの硬質皮膜を1000℃以下で形成でき、その皮膜を備えた耐摩耗性部材を提供する。
【解決手段】アルミニウム酸化物を基とする硬質皮膜を基材に被覆した硬質皮膜形成部材であって、硬質皮膜は、Al1-xx(O1-yy)z(0≦x≦0.5、0<y≦0.4、z>0)で表される組成を有し、この組成におけるMは、Ti,Zr,V,Nb,Mo,W,Y,Mg,Si,Bから選択される少なくとも1種の元素であることを特微とする。このような硬質皮膜は、基材の温度を400〜600℃として形成できる。 (もっと読む)


【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、(a)下部層として、組成式:(Al1−αCrα)Nあるいは(Al1−α−βCrαSiβ)Nで表されるAlとCr(とSi)の複合窒化物層、(b)中間層として、組成式:(Al1−YCrあるいは(Al1−Y−ZCrSiで表されるAlとCr(とSi)の複合酸化物層、(c)上部層として、組成式:(Al1−YCr1−Xあるいは(Al1−Y−ZCrSi1−Xで表され、かつ、上部層のO(酸素)含有割合が、中間層側から上部層表面に向かって減少する組成傾斜型のAlとCr(とSi)の複合酸化物層、を蒸着形成する。ここで、0.25≦α≦0.45、0.01≦β≦0.10、0<X≦0.2,0.25≦Y≦0.55、0.01≦Z≦0.10(α,β,X,Y,Zはいずれも原子比)。 (もっと読む)


【課題】高硬度材の高速重切削加工で、すぐれた耐摩耗性、耐欠損性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】cBN含有量が70容量%以上であるcBN基超高圧焼結材料からなる工具基体の表面に、下部層、中間層および上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成し、下部層はTiB層、中間層は、組成式:Ti1−X−Yで表した場合、0.15≦X≦0.60、0.05≦Y≦0.35、0.50≦X+Y≦0.65(X、Yは原子比)を満足する平均組成を有し、さらに、下部層側から上部層側へ向うにしたがって、Xの値は次第に減少、Yの値は次第に増加する傾斜組織を有するTiB相とTiN相との2相混合層、上部層は、組成式:(Ti1−YAl)N層で表した場合、Yは0.3〜0.65(原子比)であるTiとAlの複合窒化物層、で構成する。 (もっと読む)


物理蒸着法によって、柔らかく多孔質の材料に多層セラミックコーティングをコーティングする。このようにしてコーティングされた材料は、フードウェア、具体的にはプレーンな銅の基板、基コーティング、および、セラミックコーティングを含む銅製フードウェア物品として使用するのに適している。基コーティングは、スパッタリングと陰極アークとの組み合わせによって堆積され、優れた耐食性、および、基板への付着を提供することができる。セラミックコーティングは物理蒸着窒化物または炭窒化物層を含み、変色しにくい表面、優れた耐久性、および、熱安定性を提供することができる。コーティングされた銅製フードウェア物品は、純銅と同じ熱伝導性、優れた耐食性、高い耐久性、優れた調理性能、および、クリーニングの容易さを示す。また、多層コーティングを有する金属製物品、および、このような金属製物品の製造方法も説明される。 (もっと読む)


本発明は、超硬、サーメット、セラミックス、高速度鋼(HSS)、多結晶ダイヤモンド(PCD)又は多結晶立方晶窒化ホウ素(PCBN)の本体を含み、硬質でかつ耐摩耗性のコーティングが適用されて、陰極アーク蒸発又はマグネトロンスパッタリングなどの物理気相成長(PVD)によって成長される切削工具インサートに関する。このコーティングは、(ZrxAl1-x)Nyの少なくとも1つの層を含み、0.45<x<0.85及び0.90<y<1.30であり、0.5〜10μmの厚さを有する。当該層は、単一立方晶相又は六方晶相と立方晶相の混合物からなるナノ結晶微細構造を有する。このインサートは、高温を生じる金属切削用途において特に有用であり、改善されたクレーター摩耗抵抗性を有する。
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【課題】面圧が2.0GPa以上と高面圧下で使用される部材(特には、摺動部材)の表面に形成した場合であっても、優れた耐久性を発揮する積層皮膜を提供する。
【解決手段】金属元素の炭化物、ほう化物、および炭ほう化物よりなる群から選択される1以上の化合物からなり、ナノインデンテーション法で測定される硬度(以下、「ナノインデンテーション硬度」という)が20GPa以上35GPa以下で、かつ膜厚が5μm以上10μm以下である中間層2と、前記中間層上に形成され、ナノインデンテーション硬度が25GPa以上35GPa以下で、かつ膜厚が0.3μm以上1.0μm以下であるダイヤモンドライクカーボン膜3とを備えていることを特徴とする積層皮膜。 (もっと読む)


【課題】固体表面の改質方法及び表面改質された基材を提供する。
【解決手段】基材の表面に、環状、枝状、又は直鎖構造からなる有機分子を共有結合を介して被覆し、分子膜を形成し、それにより、液体と固体表面の相互作用を著しく抑制して、前進接触角(θ)と後退接触角(θ)の差(θ−θ、ヒステリシス)を小さくすることで、液滴の滑落・滑水性、耐水性、固体表面からの液滴の除去性を向上させて耐食性あるいは防食性にして、ヒステリシスが5°以下の撥水性、超撥水性を示す表面に改質する、固体表面の改質方法、及びその表面改質された基材。
【効果】固体表面を極めて小さいヒステリシスを有する表面に改質することを可能とする固体表面の改質方法、及び動的接触角の差が極めて小さいため、塩水が表面に残存しにくい、優れた耐食性を示す基材を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】該非晶質炭素被膜の初期摩擦係数の低減を含む初期馴染み性を向上させることができる摺動部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に、水素を含有した非晶質炭素被膜を成膜する工程と、前記非晶質炭素被膜の表面に紫外線を照射する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】快削鋼等の切削工具として好適な、耐熱性、耐久性に優れる耐摩耗性工具部材を提供する。
【解決手段】工具基体上に、工具基体表面側から順に、TiN硬質膜、Al含有ダイヤモンドライクカーボン膜およびAl膜を形成した耐摩耗性工具部材において、Al含有ダイヤモンドライクカーボン膜におけるAl含有割合は、5〜30原子%であって、望ましくは、Al含有ダイヤモンドライクカーボン膜が、TiN硬質膜との界面部分では5〜15原子%、Al膜との界面部分では20〜30原子%のAlを含有し、さらに、該Al含有ダイヤモンドライクカーボン膜中におけるAl含有割合は、TiN硬質膜側からAl膜側へ向かうにしたがって次第に増加する傾斜組成を有する。 (もっと読む)


【課題】ナノサイズの表面平滑性を備え、すぐれた切屑排出性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、幅10〜100nm、高さ0.2〜2μmの柱状晶を有し、さらに、原子間力顕微鏡により表面形状を測定した場合、幅10〜100nm、高さ20nm以下の均一な凹凸を有し、かつ、1μm×1μmの領域における平均面粗さを測定した場合、5nm以下の平均面粗さを有するTiN層からなる硬質被覆層を蒸着形成する。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、薄層Aと薄層Bと薄層Cの積層構造からなり、かつ、薄層Bと薄層Cが薄層Aを介して交互に積層されてなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、薄層Aは、(Ti,Al)N層あるいは(Ti,Al,Si)N層のいずれか、薄層Bは、(Cr,Al)N層あるいは(Cr,Al,Si)N層のいずれか、また、上記薄層Cは、(Ti,Si)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】溶着性の高い被削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐ピッチング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、(a)下部層として、平均層厚2〜10μmのAlとTiとSiの複合窒化物層、(b)上部層として、1〜3μmの平均層厚を有し、上部層全体における平均組成を、組成式:(Al1−XSiで表した場合、0.01≦X≦0.3(但し、X値は原子比)を満足し、かつ、上部層におけるSi含有割合は、下部層側から上部層表面に向かって減少する傾斜組成を有し、しかも、上部層表面におけるSi含有割合を示すXsurf値が、0≦Xsurf≦0.05(但し、Xsurf値は原子比)を満足する組成傾斜型のAlとSiの複合酸化物層、を蒸着形成する。 (もっと読む)


【課題】電子キャリア濃度が低い、アモルファス酸化物薄膜の成膜方法の提供。
【解決手段】組成が、式[Sn1−xM4]a・[(In1−yM3]b・[Zn1−zM2O]c(ここで、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1、かつx、y、zは同時に1ではなく、0≦a≦1、0<b≦1、0≦c≦1、かつa+b+c=1)、で示される酸化物の多結晶をターゲットとして、基板の温度は意図的に加温しない状態で、酸素ガスを含む雰囲気中の酸素分圧を制御して、基板上に薄膜を堆積させることによって、室温での電子移動度が0.1cm/(V・秒)以上、かつ電子キャリヤ濃度が1018/cm未満である半絶縁性である透明アモルファス酸化物薄膜を気相成膜する。 (もっと読む)


【課題】ナノサイズの表面平滑性を備え、すぐれた切屑排出性を示す表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、幅10〜100nm、高さ0.2〜2μmの柱状晶を有し、さらに、原子間力顕微鏡により表面形状を測定した場合、幅10〜100nm、高さ20nm以下の均一な凹凸を有し、かつ、1μm×1μmの領域における平均面粗さを測定した場合、5nm以下の平均面粗さを有する(Ti1−X Al)N層(但し、Xは原子比で0.3〜0.65)からなる硬質被覆層を蒸着形成する。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は薄層Aと薄層Bの交互積層からなり、また、上部層は薄層Aと薄層Cの交互積層からなり、さらに、上記薄層Aは、(Cr,Al)N層あるいは(Cr,Al,Si)N層のいずれか、上記薄層Bは、(Ti,Al)N層あるいは(Ti,Al,Si)N層のいずれか、また、上記薄層Cは、(Ti,Si)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】Ni基合金、Co基合金などの耐熱合金の高速切削条件下で、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、下部層と上部層からなる硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具において、下部層は薄層Aと薄層Bの交互積層からなり、また、上部層は薄層Aと薄層Cの交互積層からなり、さらに、上記薄層Aは、(Ti,Al)N層あるいは(Ti,Al,Si)N層のいずれか、上記薄層Bは、(Cr,Al)N層あるいは(Cr,Al,Si)N層のいずれか、また、上記薄層Cは、(Ti,Si)N層からなる。 (もっと読む)


【課題】 被処理物が陰極とされる構成のプラズマCVD装置において、プラズマを安定化させると共に、従来よりも成膜レートを向上させる。
【解決手段】 本発明に係るプラズマCVD装置10によれば、接地電位に接続された真空槽12の内壁が陽極とされ、被処理物16が陰極とされ、これら両者間にパルス電力Epが供給されることで、当該両者間にプラズマが発生する。そして、このプラズマを用いたCVD法によって、被処理物16の表面にDLC膜が生成される。ただし、DLC膜が陽極としての真空槽12の内壁に付着することで、当該真空槽12の内壁の陽極としての機能が低下することが懸念される。この真空槽12の内壁に代わって、アノード電極40が陽極として機能することで、プラズマが安定化される。また、真空槽12内に磁界Eが印加されることで、プラズマ密度が増大し、DLC膜の成膜レートが向上する。 (もっと読む)


【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式:(Ti1−XAl)Nで表した場合、Xは0.3〜0.6(Xは原子比)を満足するTiとAlの複合窒化物層、上部層として、組成式:(Cr1−Y―Z Si Nで表した場合、Yは0.05〜0.3、Zは0.2〜0.5(Y、Zは原子比)を満足するCrとSiとWの複合窒化物層を蒸着形成する。 (もっと読む)


【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式:(Cr1−XAl)Nで表した場合、Xは0.4〜0.7(Xは原子比)を満足するCrとAlの複合窒化物層、上部層として、組成式:(Cr1−Y―Z SiMo Nで表した場合、Yは0.05〜0.3、Zは0.2〜0.5(Y、Zは原子比)を満足するCrとSiとMoの複合窒化物層を蒸着形成する。 (もっと読む)


【課題】重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる工具基体表面に硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具において、下部層として、組成式:(Ti1−XAl)Nで表した場合、Xは0.3〜0.6(Xは原子比)を満足するTiとAlの複合窒化物層、上部層として、組成式:(Cr1−Y―Z SiMo Nで表した場合、Yは0.05〜0.3、Zは0.2〜0.5(Y、Zは原子比)を満足するCrとSiとMoの複合窒化物層を蒸着形成する。 (もっと読む)


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