【課題】軟質難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆切削工具を提供する。
【解決手段】被覆切削工具が、超硬基体の表面に、（ａ）Ｃｒ硼化物層の表面層、（ｂ）組成式：（Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｙ）}Ａｌ_ＸＳｉ_Ｙ ）Ｎ（ただし、原子比で、０．４５≦Ｘ≦０．６５、０．０１≦Ｙ≦０．１０、０．５０≦Ｘ＋Ｙ≦０．７０を示す）、を満足するＴｉとＡｌとＳｉの複合窒化物層の耐摩耗硬質層、からなる硬質被覆層を形成してなり、さらに、前記表面層の少なくとも切刃稜線部を含むすくい面部分および逃げ面部分の表面粗さを、前記表面層全面に、Ｃｒ窒化物層で構成された研磨材層を蒸着形成した状態で、ウエットブラストにて、噴射研磨材として、酸化アルミニウム微粒を配合した研磨液を噴射し、前記の研磨材層のウエットブラストによる粉砕化Ｃｒ窒化物微粒と、噴射研磨材としての酸化アルミニウム微粒の共存下で研磨して、Ｒａ：０．２μｍ以下としてなる。 （もっと読む）

【課題】成膜の条件設定や制御が複雑でなく、また装置構成が簡単で高価とならず、清掃やメンテナンス等に手間がかからないカルーセル型スパッタリング装置を提供する。
【解決手段】所定真空状態のチャンバ２内のターゲット３の前方に回転可能に基板ホルダ４を設け、基板ホルダ４に保持した平板状基板２９の成膜面に、基板ホルダ４を回転させターゲット３の前方を横断させて、所定膜を成膜する装置で、基板ホルダ４の外周部には、基板２９を保持する複数の基板保持具２３が、該基板ホルダ４の回転軸に平行な回動軸２４ａ，２４ｂを備え、保持した基板２９を正逆方向に半回転させることが可能となっており、またチャンバ２には、基板保持具２３の回動機構３１が設けられていて、基板ホルダ４を所定位置に停止させた後、回動機構３１により基板保持具２３を半回転させ、基板２９の成膜面を一方面から他方面に切替えられるようにしている。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬基体あるいはサーメット基体の表面に、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、上部層は０．５〜１．０μｍ、下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａは、特定の組成式：［Ｔｉ_{１−（Ａ＋Ｂ＋Ｃ）}Ａｌ_ＡＳｉ_ＢＣｒ_Ｃ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｒ）Ｎ層、上記薄層Ｂは、特定の組成式：［Ｔｉ_{１−（Ｐ＋Ｑ＋Ｒ）}Ａｌ_ＰＳｉ_ＱＣｒ_Ｒ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｒ）Ｎ層、からなり、下部層は、単一相構造を有し、特定の組成式：［Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_ＸＳｉ_ＹＣｒ_Ｚ］Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆切削工具が、超硬基体あるいはサーメット基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ，Ｃｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．０μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ及びＢは、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ，Ｃｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、組成式：［Ｔｉ_{１−（Ｘ＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_ＸＢ_ＹＣｒ_Ｚ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．６０、Ｙは０．０１〜０．０９、Ｚは０．０１〜０．１５を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｂ，Ｃｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】硬質難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具を提供する。
【解決手段】窒化ほう素を３０〜９５質量％含有する超高圧焼結材料製インサートの表面に、硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具において、（ａ）硬質被覆層は、１．５〜６μｍの平均層厚を有する下部層と０．３〜３μｍの平均層厚を有する上部層とからなり、（ｂ）下部層は、蒸着形成された特定な組成式を満足するＴｉとＣｒとＳｉの複合窒化物層からなり、（ｃ）上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ０．０１〜０．３μｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、薄層Ａは、特定な組成式を満足するＴｉとＣｒとＳｉの複合窒化物層、薄層Ｂは、Ｃｒ窒化物（ＣｒＮ）層からなる。 （もっと読む）

【課題】ボンバードの際に、基材に過昇温や異常放電が生じ難く、ひいてはプロセス制御性の良好なアークイオンプレーティング装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１と、基材を真空チャンバー内でその高さ方向に対して垂直方向に移動させる回転テーブル２と、前記基材の表面を金属イオンでクリーニングするボンバード用蒸発源９Ａと、金属イオンを前記基材の表面に成膜する複数の成膜用蒸発源７Ａを備える。前記ボンバード用蒸発源９Ａは、その蒸発面の縦幅あるいは蒸発面面積が前記成膜用蒸発源７Ａよりも大きく形成される。 （もっと読む）

【課題】
結合剤のない針状貯蔵燐光体パネルにおいて、良好な内部湿分耐性を有するものを提供する。
【解決手段】
蒸着装置のるつぼユニットからマトリックス成分、活性化剤成分及び／又はそれらの組み合わせを含む燐光体プリカーサ原材料を蒸着することによって専用の支持体上に被覆された燐光体層を有する貯蔵燐光体パネルの製造方法であって、前記方法が（１）前記プリカーサ原材料をるつぼユニットに加え、そして（２）前記燐光体プリカーサ原材料から燐光体層を蒸着し、蒸着がるつぼユニットにおいて高い温度で行なわれ、前記温度が前記マトリックス原材料の溶融温度を７０℃より多く越える、工程を含み、前記燐光体層の「活性化剤被覆重量数」が少なくとも７０００の値に達する。 （もっと読む）

【課題】
蒸着工程による貯蔵燐光体プレートの製造方法において燐光体のスピードを最適化する。
【解決手段】
マトリックス成分及び活性化剤成分又はそのプリカーサ成分を燐光体プリカーサ原材料として加熱することによって及び／又はるつぼユニットから蒸着することによって支持体上に貯蔵燐光体層を作る方法であって、前記プリカーサ原材料をるつぼにおいて液体形態で加熱する工程が温度Ｔ_１まで行なわれ、前記プリカーサ原材料を前記煙突において蒸発された形態で加熱する工程が温度Ｔ_２まで行なわれる方法において、正の温度差［Ｔ_２−Ｔ_１］が維持されることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、真空蒸着法を用い、母材であるパウダーの表面上に、サイズの均一性に優れた金属、合金及びセラミックスのナノ粒子を蒸着させるパウダーの製造方法、及びその製造装置に関する。特に、本発明は、極めて均一なサイズを有する金属、合金及びセラミックスのナノ粒子が蒸着されたパウダーの製造方法及びその装置を提供するものであって、蒸着と撹拌が別々に行われる従来方法の短所を解決するために、効率的な撹拌手段を用いて蒸着と撹拌とを同時に行うものである。また、本発明は、ナノ粒子が蒸着されたパウダーの製造方法、及びその製造装置を提供するものであって、ナノ粒子の製造において、ナノ粒子の量を増大させるために蒸着時間が増大した場合であっても、ナノ粒子の凝集現象を抑制することにより、ナノ特性が維持される。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆高速度工具鋼製切削工具が、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍの一層平均層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 耐熱合金の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆切削工具が、超硬基体の表面に、あるいは、高速度工具鋼基体の表面に、（ａ）いずれも（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、上記薄層Ａ及び上記薄層Ｂは、それぞれ特定の組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなり、（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、特定の組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具が、超硬合金またはサーメットからなる基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_ＹＢ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘ：０．４０〜０．６５、Ｙ：０．０１〜０．１５、Ｚ：０．０１〜０．１５、Ｙ＋Ｚ：０．２０以下、を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜１５μｍの平均層厚を有し、Ａｌ最高含有点と最低含有点とが交互に繰り返し、最高含有点から最低含有点へ、又逆方向にもＡｌおよびＴｉ含有量がそれぞれ連続的に変化し、さらに、最高含有点及び最低含有点が、特定な組成式を満足し、隣り合う最高含有点と最低含有点の間隔が、０．０１〜０．１μｍである組成変化（Ａｌ，Ｔｉ）Ｎ層、からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、金属Ｖが分散分布した組織を有する上部層で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_1-ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_1-ＺＡｌ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．３０〜０．７０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_{1-（X＋Ｙ）}Ａｌ_XＳｉ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．２０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ特定の組成式：（Ｔｉ_1-ＡＡｌ_Ａ）Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ特定の組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ＋Ｚ）}Ａｌ_XＳｉ_ＹＢ_Ｚ）Ｎを満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、特定な組成式を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_{1-（X＋Ｙ）}Ａｌ_XＳｉ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつＶＯ_Ｍ（酸化バナジウム）の素地に、前記ＶＯ_Ｍとの合量に占める割合で、０．５〜７原子％の金属Ｖが分散分布した組織を有するＶ分散ＶＯ_Ｍ層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）０．５〜２μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_1-ＺＡｌ_Ｚ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｚは０．３０〜０．７０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる基体密着層、（ｂ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｃｒ_{1-（X＋Ｙ）}Ａｌ_XＢ_Ｙ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．２０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層、（ｃ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｄ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｄ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）

【課題】 難削材の切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】 表面被覆超硬合金製切削工具が、炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる超硬基体の表面に、（ａ）１〜５μｍの平均層厚を有し、かつ、組成式：（Ｔｉ_1-ＸＡｌ_Ｘ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．３０〜０．７０を示す）を満足する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層からなる下部層、（ｂ）０．１〜１．５μｍの平均層厚を有する窒化バナジウム層からなる層間密着層、（ｃ）１〜５μｍの平均層厚を有する酸化バナジウム層からなる上部層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成された硬質被覆層を形成してなる。 （もっと読む）