【課題】電気絶縁性シート、特にプラスチックフィルムの薄膜形成工程で発生する、ピンホールの影響を軽微にし、さらに熱変形や未蒸着部のシワの影響を軽微にする薄膜形成装置ならびに薄膜付きシートの製造方法を提供することである。
【解決手段】回転する円筒状シート案内面の周面に沿って搬送する電気絶縁性シート上に、微粒子発生源から飛来させた微粒子を堆積させ、薄膜を形成する薄膜付きシートの製造方法において、前記シート案内面と前記シート上に形成された前記薄膜との間に直列接続された抵抗を介して電圧を印加し、前記シートにピンホールが空いたことを検出した直後に前記抵抗を低減させる。 （もっと読む）

【課題】 真空処理装置の装置停止時間を短縮すること。
【解決手段】 真空処理装置１００は、ロード／アンロード室１０とプラズマ処理室２０とが連結されており、プラズマ処理室２０は、上面に開口部Ａを有する真空容器２０ａと開口部Ａを開閉する平板状の上蓋３０とを備えている。上蓋３０の下面（真空容器２０ａ側）および上面には、それぞれ同一の真空処理用機器３１ａおよび３１ｂが表裏対称的に配置されている。上蓋３０を昇降機構４０により上昇させ、回転機構５０により回転軸５４廻りに１８０°回転させ、昇降機構４０により下降させることにより、真空処理用機器３１ａと３１ｂの位置を上下反転し、真空処理用機器３１ａのメンテナンスと並行して真空処理用機器３１ｂを用いた真空処理を実施する。 （もっと読む）

【課題】 低温成膜、高速成膜を両立させることができるデュアル形式のマグネトロンスパッタリングにおいて、低温成膜と、高速成膜を達成しうる手段を提供し、これによって有機フィルムの上に高機能性材料である例えば各種無機結晶膜を低温、高速で得ようというものである。
【解決手段】 デュアルマグネトロンスパッタリング装置を用いてなる成膜手段において、各マグネトロンをマグネトロンに保持されている各ターゲット面を基準として、各ターゲット面の延長線の成す角度を、１６０〜２０℃の間の値に設定し、且つ各ターゲット表面に形成されるエロージョン領域の垂直方向延長領域の交差領域のうち最もマグネトロンとの距離が近い領域内に薄膜形成する基板表面あるいはその一部が位置するよう設定し、該基板上に薄膜体を生成させる。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って成膜材料の補給を必要とせずに真空蒸着装置を連続運転することが可能であり、かつその間、成膜材料を常に一定の供給速度でリングハースへ安定して供給することができる成膜材料供給装置を提供すること。
【解決手段】 成膜材料供給室１０内において、例えば２週間程度は成膜材料の補給を必要としない量のＭｇＯペレットを収容し得る成膜材料ホッパー１１と、成膜材料ホッパー１１から排出されるＭｇＯペレットを計量して一定量のＭｇＯペレットを収容する計量ホッパー２１と、計量ホッパー２１から排出されるＭｇＯペレットを受けてそのまま成膜室２０内へ導く漏斗状ホッパー３１と、成膜室２０内において、漏斗状ホッパー３１からの受けるＭｇＯペレットをリングハース５０へ一定の速度で供給し、供給量が所定の値になると計量ホッパー２１から補給される回転円筒フィーダ４１とからなる成膜材料供給装置。 （もっと読む）

【課題】 表面処理中のベースフィルムの表面或いは裏面とガイドローラーが接触することに起因する汚染等を防止し、また、ベースフィルム内部に残留する水蒸気や酸素等不純物ガスの積層膜への影響をなくすことが可能な巻取式表面処理装置及び表面処理方法を提供する。
【解決手段】 ベースフィルムと、ベースフィルムの処理面を保護する保護フィルムとの重ね合わせが可能な重ね合わせ手段とを備え、前記重ね合わせ手段は、前記ベースフィルムの処理面と保護フィルムとを重ね合わせて巻き取り及び／又は剥離が可能な構成とした。また、ベースフィルムと、ベースフィルムの処理面を保護する保護フィルムとの重ね合わせが可能な重ね合わせ手段により、前記ベースフィルムの処理面と保護フィルムとを重ね合わせて巻き取り及び／又は剥離を可能にした。 （もっと読む）

本発明は乾燥したナノ粒子（１８ｂ）のための移送システムを提供する。このシステムでは、移送するためにナノ粒子（１８ｂ）を磁化又は帯電させ、移送通路内に場発生器（２０ａ、２０ｂ）によって磁界又は電場を発生させ、その中でナノ粒子（１８ｂ）を移送通路（１２）を経て移動させる。ナノ粒子を、例えば放出開口部（１３）を通して放出することで配量が可能である。ナノ粒子（１８ｂ）の凝集又は内壁（２６）への堆積を回避するために、壁のコーティング（２７）をピエゾ駆動機構（２８）によって振動させ、その振動をナノ粒子（１８ｂ）へ伝達する。この移送システムによって、乾燥したナノ粒子の取扱いが効果的に可能になるので、ナノ粒子を懸濁液として処理する必要がない。
（もっと読む）

【解決手段】 本発明は、基体が蒸着装置の加熱された蒸着チャンネル中を動く際に、固体および／または液体被覆材料の蒸発およびその蒸気状被覆材料の基体上への蒸着によって、連続的に運搬される基体を熱的に真空被覆する方法において、蒸着チャンネル（３）を、最少の運搬速度に達しない場合でもまたは基体が静止した場合でも、少なくとも１つの位置変更可能な中空要素（７）の差し込みよって、基体が内部空間に存在する様に外部空間（３）と内部空間に分離することを特徴とする、上記真空被覆法に関する。この方法を実施するための装置にも関する。
（もっと読む）