【課題】
優れた酸素遮断性能、水蒸気遮断性能、耐水密着性を有する蒸着用二軸配向ポリエステルフィルムおよびガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】
上記課題は、少なくとも片面に金属および／または金属酸化物からなる層が積層される態様で用いられる二軸配向ポリエステルフィルムであって、金属および／または金属酸化物からなる層が積層される面のＳＲａ（中心面平均粗さ）が１０ｎｍ以上２５ｎｍ以下であり、かつＳＰｃ（山数）が２５０個以上５００個以下であり、１５０℃・３０分における幅方向の熱収縮率が０．１％以上２．０％以下である蒸着用二軸配向ポリエステルフィルムによって解決される。 （もっと読む）

【課題】Ｒｏｌｌ Ｔｏ Ｒｏｌｌ方式で、基材の搬送速度を非常に速い条件に設定しても、基材上に絶縁性の高品質な薄膜を成膜することが可能なプラズマアシスト付きの真空成膜装置を提供する。
【解決手段】真空容器内の上部に、成膜用ドラム１３に巻き掛けられた基材１１がその被成膜面１１０を下向きにして配設されるとともに、上記真空容器内の底部には、蒸着材料２を蒸発させる蒸着源１７と、この蒸着源から蒸発した上記蒸着材料に向けてプラズマを照射するプラズマガンとが、上記被成膜面の下方に配置されており、上記プラズマガンは、上記基材の流れ方向に対して直交する方向から、上記被成膜面に向けて配置されている。これにより、薄膜形成前の基材の被成膜面に対してプラズマを照射する前処理、プラズマアシストによる成膜、基材に形成された薄膜に対してプラズマを照射する後処理が１台で逐次連続的に行える。 （もっと読む）

【課題】減圧下で、巻きシワの発生と無機膜へのキズを低減できる機能性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】機能性フィルムの製造方法は、無機膜１６と支持体１２の間に、無機膜１６と支持体１２の間に滑り性を付与し、無機膜１６の厚さ以下の中心線平均粗さ（Ｒａ）を有するラミネートフィルム２０を介在させて、減圧下で支持体１２をフィルムロール４８に巻き取る工程を含む。 （もっと読む）

【課題】プラズマの回り込みを効果的に抑制して被処理基板の意図しない部分に膜が成膜されることを防止することのできるインライン型プラズマ成膜装置を提供する。
【解決手段】インライン型プラズマ成膜装置１Ａは、搬送路４上において被処理基板１００を搬送する複数の搬送ローラ３と、被処理基板１００の上面に面するようにプラズマを生成することで被処理基板１００の上面に膜を成膜するプラズマ生成部と、被処理基板１００の下面に膜が成膜されることを防止する成膜防止部材５とを備えている。成膜防止部材５は、プラズマが生成される領域に搬送路４を挟んで対面する領域でかつ搬送ローラ３が位置する部分を除く領域を上方から見て実質的に満たすように配置され、被処理基板１００の下面に対面するように設けられた平面状の成膜防止面５ａを含み、当該成膜防止面５ａの幅は、被処理基板１００の幅よりも大きく構成されている。 （もっと読む）

【課題】 成膜／搬送プロセスの間、保管／輸送プロセスの間、組立プロセスの間において、高い品質を有する機能性フィルムを提供する。
【解決手段】
機能性フィルム１０は、支持体１２と、支持体１２の一方面に交互に配置された有機膜１４と無機膜１６とを、それぞれ、少なくとも一層を含む機能層２０と、支持体１２の他方面に配置された第１ラミネートフィルム２１と、機能層２０の最上層に配置された第２ラミネートフィルム２２を有し、第２ラミネートフィルム２２と機能層２０の最上層の間の粘着力は、第１ラミネートフィルム２１と支持体１２の粘着力より小さい。 （もっと読む）

【課題】蒸着時のスプラッシュの発生を抑制することが可能な蒸着用線材を提供することで信頼性の高い金属化フィルムコンデンサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明における蒸着用芯材１は、アルミニウムとマグネシウムの合金からなる芯材２と、前記芯材２の外周面を被覆し、少なくとも前記アルミニウムと前記マグネシウムの酸化物からなる酸化層３とを備え、前記酸化層３の厚さを０．３μｍ以下とした。この結果、蒸着の際に酸化層３が溶融せず芯材２のみが蒸発することで発生するスプラッシュを抑制することができる。そして、本発明における蒸着用芯材１を用いて形成した金属化フィルムコンデンサの誘電体フィルムはスプラッシュによるダメージを受けることがなく、信頼性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】長尺な基板を、冷却されるドラムの周面に巻き掛けて、長手方向に搬送しつつ、成膜を行なう場合に、基板とドラムとの密着不良を抑制することにより、熱による基板の変形を防止し、高品質な機能性フィルムを効率よく連続成膜することができる成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜手段による成膜領域を規定する開口部６８ａを有するマスク６８と、マスクの開口部における基板Ｚの搬送方向の上流側の位置で、基板とドラム３６との密着状態を検出する密着検出手段と、基板とドラムとの密着状態を制御する密着制御手段とを有し、密着制御手段が密着検出手段による密着状態の検出結果に応じて、基板とドラムとの密着状態を制御する。 （もっと読む）

【課題】ロール・ツー・ロール方式で樹脂フィルム上に反射膜を連続成膜する場合でも、蒸着状態を安定させ、膜組成の変動を防止し、反射率のバラツキを小さくすることができる反射膜形成用蒸着材を提供する。
【解決手段】質量％で、Ｉｎを０．２〜２．０％、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒから選ばれる少なくとも１種を合計で０．００４〜０．０１％含有し、残部がＡｇと不可避不純物からなる蒸着材により、ロール・ツー・ロール方式で連続走行させられる樹脂フィルムに連続的に反射膜を蒸着する。 （もっと読む）

【課題】長尺な基板を長手方向に搬送しつつ成膜を行う機能性フィルムの製造において、搬送ローラ等に付着したパーティクル等の異物に起因する特性劣化を防止して、高品位な製品を安定して製造可能にする。
【解決手段】長尺で、かつ、基板よりも短いクリーニングシートを、基板の表面に接触して積層して、この積層体を基板の搬送経路を搬送し、クリーニングシートの後端部が所定位置を通過した後に、成膜を開始することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】優れたガスバリア性能を有するガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】本発明のガスバリアフィルムは、酸化珪素を主成分とするガスバリア膜が基板の少なくとも一方の面に形成されたものである。ガスバリア膜は、赤外吸収スペクトルのうち、８００〜８２０ｃｍ^−１のピーク強度をＰ１とし、８６０〜８８０ｃｍ^−１のピーク強度をＰ２とし、ピーク強度Ｐ１とピーク強度Ｐ２との比をＰ２／Ｐ１とするとき、比Ｐ２／Ｐ１が、０≦Ｐ２／Ｐ１≦１である。 （もっと読む）

【課題】溶剤ダメージによる支持体の品質劣化を防止でき、無機膜成膜中の支持体からの脱ガスの発生を抑制することができ、これにより、高品質の無機膜を成膜することができる機能性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】裏面側に耐溶剤性を有するラミネートフィルムを貼り付けた自己支持性を有する長尺の支持体１２を送り出し、支持体１２を搬送しながら、その表面側に溶剤を含む塗布液を塗布し、前記塗布液を乾燥、硬化させて有機膜を形成し、支持体１２をフィルムロール４２にして巻き取る。フィルムロール４２を真空成膜装置２４内に装填し、フィルムロール４２から連続的に耐溶剤性を有するラミネートフィルムを貼り付けた支持体１２を送り出す。支持体１２を搬送しながら、支持体１２の有機膜上に無機膜を形成し、支持体１２をフィルムロール４８に巻き取る （もっと読む）

【課題】多くの製造工程を経ることなく低コストで製造可能であって、薄層で高レベルの防湿性能を発揮でき、吸湿量の制御が容易であるとともに、透明性にも優れた防湿性積層体を提供する。
【解決手段】少なくとも２層の蒸着フィルム１を有し、蒸着フィルム１の層間に少なくとも１層の吸湿層２が挟持されてなる防湿性積層体である。蒸着フィル１ムが、基材上に少なくとも金属酸化物の蒸着膜を有する透明フィルムよりなり、かつ、吸湿層２が、バインダ樹脂中に、１次粒子径が１００ｎｍ以下である化学的水分吸着性物質が溶融混練されて分散されてなる溶融混合物を用いて、シート状に成形された透明樹脂層よりなる。 （もっと読む）

【課題】 生産性の高く、高品質で、搬送中に検査が可能な機能性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】
裏面側に黒色のラミネートフィルムを貼り付けた自己支持性を有する長尺の支持体１２を送り出し、支持体１２を搬送しながら、その表面側に有機膜を形成し、有機膜の表面を検査した後、支持体１２をフィルムロール４２にして巻き取る。フィルムロール４２を真空成膜装置２４内に装填し、フィルムロール４２から連続的に黒色のラミネートフィルムを貼り付けた支持体１２を送り出す。支持体１２を搬送しながら、支持体１２の有機膜上に無機膜を形成し、支持体１２をフィルムロール４８に巻き取る。 （もっと読む）

【課題】帯状可撓性基板の下垂や皺の発生を抑制でき、逆方向への搬送にも対応可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】帯状の可撓性基板１を縦姿勢で横方向に搬送し、搬送経路に設置された処理部にて、処理を行なう処理装置における可撓性基板の位置制御装置１００であって、前記基板の上側縁部を挟持する一対の挟持ローラ１３１，１３２と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構１４０と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに加圧力を付与する付勢手段１５０と、前記付勢手段による前記加圧力の調整手段１６０と、を備え、前記一対の挟持ローラを構成する各ローラが、軸方向に対して傾斜した周面を有する円錐ローラであり、前記各円錐ローラの小径側が前記基板の幅方向中央側に位置しかつ前記基板の挟持面における回転方向が前記基板の搬送方向と同方向になるように、前記支持機構によって支持されている。 （もっと読む）

【課題】生産性の高い、高品質の機能性フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】有機膜成膜装置２２により裏面側に第１のラミネートフィルムが付与され自己支持性を有する長尺の支持体１２を送り出し、支持体１２を搬送しながら、その表面側に有機膜を形成し、有機膜の表面に第２のラミネートフィルム８２を付与し、支持体１２をフィルムロール４２にして巻き取る。 フィルムロール４２を真空成膜装置２４内に装填し、フィルムロール４２から連続的に第１のラミネートフィルムと第２のラミネートフィルム８２が付与された支持体１２を送り出す。支持体１２を搬送しながら、第２のラミネートフィルム８２を剥離し、支持体１２の有機膜上に無機膜を形成し、支持体１２をフィルムロール４８に巻き取る。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドタッチ性や走行耐久性に優れ、更に寸法安定性、および耐クラック性に優れた金属蒸着ポリエステルフィルムを提供すること。
【解決手段】 ポリエステルフィルム層（Ｆ層）の片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）が設けられ、このＭ層が金属成分の微結晶を有する結晶層（Ｍａ層）と、非晶層（Ｍｂ層）を持つ金属蒸着ポリエステルフィルムとする。 （もっと読む）

【課題】格子状凸部を有する基材上に形成された金属層をエッチングして金属ワイヤを形成するエッチング工程を有するワイヤグリッド偏光子の製造方法において、当該エッチング工程を簡略化すると共に、得られるワイヤグリッド偏光子の光学特性のばらつきを低減することを目的の一とする。
【解決手段】表面に格子状凸部を有し、且つ格子状凸部上に金属層が設けられた基材フィルムがロール状に巻かれてなる原反ロールから、搬送用ロールを介して基材フィルムを巻取ロールに搬送する間に、基材フィルムをエッチング液に接触して金属層の一部をエッチングした後に基材フィルムの光学特性を測定するロール・ツー・ロール方式のワイヤグリッド偏光子の製造方法において、基材フィルムの光学特性の測定結果に基づいてロール・ツー・ロール方式のライン速度を制御し、基材フィルムをエッチング液に接触する期間を制御する。 （もっと読む）

【課題】厚い部分と薄い部分を有する活物質膜を用い、それにリチウムを附与した際の組成不均一に起因する劣化を防止することが出来るリチウム二次電池用負極の製造装置を提供すること。
【解決手段】排気ポンプで減圧されている真空槽内に配置され基板を搬送する搬送系と、基板近接に配置され前記基板に材料蒸気を付与するための開口面を有する半密閉構造の材料付与源と、前記付与源を加熱する加熱源と、前記付与源の開口面近傍に配置され材料蒸気に指向性を付与するスリット構造とを有し、前記スリット構造は、成膜領域における前記基板の搬送に伴って、前記基板に向かう前記材料蒸気の入射方向が前記基板法線を挟んで逆転する構造であることを特徴とする電気化学素子の成膜装置。 （もっと読む）

【課題】小スペースで可撓性基板の予備加熱、脱ガス及び材料改質のための処理を容易に行うことが可能であり、かつ高い精度と応答性で温度及び処理条件の制御を行うことが可能な可撓性基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】長手方向に沿って搬送される可撓性基板１の表面処理を行う可撓性基板１の処理装置において、可撓性基板１の巻出し室３に巻出しロール６を配置するとともに、巻出しロール６のコアに予備加熱及び脱ガス処理を行う加熱機構のロールコアヒータ１１を設けている。 （もっと読む）