【課題】センサ感度を高く維持したままで小型化・薄型化可能な３軸加速度センサモジュールおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の３軸加速度センサモジュール１００は、重錘体２２と、重錘体２２を自由下垂状態に支持する重錘体支持部１５と、重錘体２２及び重錘体支持部１５と所定間隔をおいて外側に設けられた枠２３と、枠２３と重錘体支持部１５とを連結するよう設けられ、それぞれに所定数のピエゾ抵抗素子１３が設けられた複数の可撓性の梁とを備える３軸加速度センサ１をセンサ駆動ＩＣ４０とともにパッケージ３０内にモジュール化してなる。パッケージ３０の底面には、３軸加速度センサ１が通過可能な貫通孔３２が備えられ、３軸加速度センサ１の底面は、貫通孔３２を通してセンサ駆動ＩＣ４０に直接接合されるとともに、センサ駆動ＩＣ４０がパッケージ３０の底面３１に接合されている。 （もっと読む）

微小電子機械システム(MEMS)加速度計が、開口を定める枠(10)を付与するために超微細加工されたウェーハから成る。前記開口内には、検出マス(14)が配置される。一対の整列旋回ビーム(15)が前記検出マスを枠(10)に連結し、このとき、旋回軸が前記検出マスの重心からずれるようになっている。少なくとも一つの検出ビーム(16)が前記検出マス(14)を前記枠に連結し、前記検出ビーム(16)が前記検出マス(14)の旋回運動によって変形する。前記検出マスの旋回運動による前記検出ビームの変形が測定され、この変形から、加速度計の加速度が決定できる。
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【課題】センサ感度を高く維持したままで薄型化することができ、製造工程数も少なく、簡単な構成の３軸加速度センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の３軸加速度センサ１は、重錘体２２と、重錘体２２を自由下垂状態に支持する重錘体支持部１５と、重錘体２２および重錘体支持部１５と所定間隔をおいて外側に設けられた枠２３と、枠２３と重錘体支持部１５とを連結するように設けられ、それぞれに所定数のピエゾ抵抗素子１３が設けられた複数の可撓性の梁とを備えている。この３軸加速度センサ１では、重錘体２２は、シリコンより比重が大きい材料、例えば、パイレックスガラスから構成されるとともに、その表面が平坦なパッケージ３０の底部上に
３軸加速度センサ本体を設置した状態において、重錘体２２とパッケージ３０の底部との間には、所定長のギャップを有している。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内でのレイアウトを容易にし、なおかつ検出感度が良好な加速度センサチップ。
【解決手段】加速度センサチップ１０は、フレーム体部１２ｃ、突起部１２ｄを有するフレーム部１２と、合計４つの梁部１６により可動に支持されている中心錘部１４ａ、４つの直方体形状の突出錘部１４ｂを有している可動構造体１４と、突出錘部とは非接触として、当該突出錘部上に延在させて設けられている複数のストッパ１９とを具えている。 （もっと読む）

【課題】III族窒化物半導体構造を有するセンサ素子を提供する。
【解決手段】半導体センサ素子は、圧力、温度、力、偏向、または、加速度を決定するために役立つ。前記半導体センサ素子は、その上に配置された基板ベース１と、III族窒化物からなる均質な半導体層とを有する。均質な半導体層２、２ｆの表面は、基板ベース１の表面と少なくとも部分的に間隔を置いた状態で面している。また、均質な半導体層２、２ｆにより生成され得る電気出力信号を伝達するための少なくとも２つの導電コンタクト５が、均質な半導体層２、２ｆの上または下に配置されるか、または、該均質な半導体層２、２ｆ内に一体化されるよう特徴付けられている。
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【課題】錘部を支持する支持部に影響を与えずに各ピエゾ抵抗素子を機械的に完全に素子分離してリーク電流を防止すること。
【解決手段】第１の基板１１及び第２の基板１２と、環状の錘部１３と、該錘部１３の略中心に設けられた支柱部１４と、該支柱部１４に一端側１５ａが固定されると共に錘部１３を吊り下げ状態で支持する支持部１５と、支持部１５の他端１５ｂ側を固定する固定部１７と、支柱部１４に電圧を印加可能な入力電極１８と、支持部１５に設けられたピエゾ抵抗素子１９と、該ピエゾ抵抗素子１９の抵抗変化を取り出す出力電極２０とを備え、支持部１５と錘部１３との間、並びに、支柱部１４及び固定部１７には、支持部１５を電気的に独立させる絶縁層３１が設けられ、第１の基板１１及び第２の基板１２が、入力電極１８と出力電極２０との間、及び、支柱部１４と固定部１７との間とを電気的に絶縁状態とされている加速度センサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ジャイロスコープと加速度計との両方の機能を有するセンサ。
【解決手段】 センサは、一対の質量体、アンカ、一対の支持ビーム、駆動装置及び変位測定装置を包含する。一対の質量体は、互いに対して逆位相の関係で振動するように形成される。アンカは、一対の質量体を支持し、各々の支持ビームは、アンカに質量体の一つを連結するために使用される。駆動装置は、逆位相の振動を発生するために一対の質量体を駆動して、変位測定装置は、少なくとも一つの方向で質量体のそれぞれの変位を測定する。センサは、質量体の変位の測定値を用いて、少なくとも一つの方向でセンサが受けた加速度に関する情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】可動部を含む半導体装置をより小型化し、かつ製造コストをより低減する。
【解決手段】半導体装置１０は、基部２２を覆う絶縁膜２４、複数の配線部２６、及びチップ搭載領域２３ａを有するチップ搭載部２３、チップ搭載部を囲んでいる複数のリード２８を有するリードフレーム２０と、第１電極パッド３２を有する第１の半導体チップ３０と、第１電極パッド及び配線部を接続している第１ボンディングワイヤ４２と、凹部が形成され、複数の第２電極パッド５４を有していて、凹部に第１の半導体チップ及び第１ボンディングワイヤを格納している、第２の半導体チップ５０と、第２の半導体チップから露出する配線部及びリードを接続している第２ボンディングワイヤ４４と、第２電極パッド及びリードを接続している第３ボンディングワイヤ４６と、封止部６０とを具えている。 （もっと読む）

【課題】信頼性と精度の高い加速度センサを提供する。
【解決手段】２枚のシリコン基板１０，２０を絶縁層３０で貼り合わせたＳＯＩウエハをエッチングし、第１のシリコン基板１０に開口部１１を設けることによって、周辺固定部１２、錘固定部１３、梁部１４、ストッパ部１５の各領域を形成する。一方、第２のシリコン基板２０には、台座部２１とこの台座部よりも若干薄い錘部２３を形成する。そして、周辺固定部１２と台座部２１、及び錘固定部１３と錘部２３の接続箇所以外の絶縁層３０をエッチングで除去する。錘部２３とストッパ部１５が重なるような寸法に形成することにより、この錘部２３の加速度による変位は、ストッパ部１５と台座部２１が固定された容器の底面で制限される。これにより、過大な加速度による破壊を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高く、過大な加速度で破損することのない加速度センサを提供する。
【解決手段】２枚のシリコン基板１０，２０を絶縁層３０で貼り合わせたＳＯＩウエハを用い、第１のシリコン基板１０に開口部１１が設けられ、周辺固定部１２、錘固定部１３、梁部１４、ストッパ部１５の各領域が一体形成されている。一方、第２のシリコン基板２０には、台座部２１とこの台座部よりも若干薄い錘部２３が形成され、この錘部２３とストッパ部１５が重なるような寸法になっている。これにより、錘部２３の加速度による変位は、ストッパ部１５と台座部２１が固定された容器の底面で制限され、過大な加速度による破壊が防止される。 （もっと読む）