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Fターム[4M113BA11]の内容

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積層蒸着法

Fターム[4M113BA11]に分類される特許

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【課題】本発明は、酸化物超電導層への水分の浸入を抑えることができる酸化物超電導線材、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の酸化物超電導線材10の製造方法は、基材1と中間層2と酸化物超電導層3と銀層4と金属安定化層6とがこの順に積層されてなる超電導積層体S0を準備する第1工程と、超電導積層体S0の幅方向端部にレーザLを照射して超電導積層体S0の端部を溶融・凝固させて、少なくとも酸化物超電導層3の側面を覆う溶融凝固層7を形成する第2工程と、を備えることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高い配向率の中間層を形成することができ、優れた超電導特性を有するテープ状の酸化物超電導薄膜線材を製造することができる技術を提供する。
【解決手段】テープ状の配向金属基板に、600℃以上の温度雰囲気下で、前記配向金属基板の最表層と中間層材料との格子不整合が3%以下になる所定の張力を掛けた状態で、前記配向金属基板上に、配向率80%以上の中間層を形成することを特徴とするテープ状の酸化物超電導薄膜線材の中間層形成方法。前記テープ状の酸化物超電導薄膜線材の中間層形成方法を用いて、配向金属基板上に形成された中間層の上に、酸化物超電導薄膜を形成して、テープ状の酸化物超電導薄膜線材を製造することを特徴とするテープ状の酸化物超電導薄膜線材の製造方法。 (もっと読む)


【課題】正確に膜厚を制御した最小構成元素数の銅酸化物高温超伝導体RE2CuO4(REは希土類元素)の単結晶薄膜をより大きな面積に形成できるようにする。
【解決手段】形成対象の化合物RE2CuO4と、面内および面間の少なくとも1つの格子定数が±1%の範囲で一致する単結晶から構成された単結晶基板101の上に、希土類元素REと銅と酸素とを含んで構成された前駆体薄膜102を、蒸着法により形成する。蒸着における希土類元素REおよび銅の供給量を制御することなどにより、形成される前駆体薄膜102における希土類元素REおよび銅の組成比を、化学式RE2CuO4の化学量論組成にする。この後、高温、低酸素分圧雰囲気下での固相エピタキシーと低温還元により酸素の組成も化学量論組成に合わせて超伝導化した単結晶薄膜を作製する。 (もっと読む)


【課題】ホウ化マグネシウム超伝導体の微細パターンの作製方法において、超伝導特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】結晶基板101の上に、電子線レジストからなる微細パターン102を形成する(図1(a))。次に、微細パターン102の上に、室温においてアモルファス状炭素103及びアモルファス状珪素104を蒸着する(図1(b))。その後、電子線レジストの微細パターン102をリフトオフして、炭素および珪素からなる微細パターン106を形成する(図1(c))。次に、微細パターン106を設けた基板101の上にホウ化マグネシウム105を蒸着する(図1(e))。ここで、蒸着時の基板温度は280℃であることが好ましい。最後に、ホウ化マグネシウム105が形成された基板101の超音波洗浄を行うことにより微細パターン106をリフトオフして、ホウ化マグネシウム105の微細パターンを得る(図1(f))。 (もっと読む)


本明細書で例示的に記述した超電導体は、超電導材料を含み、この超電導材料は、その内部に形成された磁性不純物と非磁性無秩序性とを含む。本明細書で記述した超電導体は、磁石用途及び送電に使用するのに適している。

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【課題】量子ビット素子から大きな信号を得ることができる、超伝導量子ビット素子及びそれを用いた集積回路を提供する。
【解決手段】超伝導量子ビット素子1は、超伝導量子ビット部2と超伝導量子ビット部に接続された量子ビット読出部3とを備え、超伝導量子ビット部2は3つのジョセフソン接合を有する超伝導量子干渉素子からなり、量子ビット読出部3は、2つのジョセフソン接合を有する超伝導量子干渉素子からなり、量子ビット読出部3のジョセフソン接合の1つ2dを、超伝導量子ビット部3のジョセフソン接合の1つと共用できる。量子ビット読出部3は、量子ビットからの十分に大きな磁束信号を得ることができるため、ノイズが大きい環境でも量子ビットの信号を正確に読み出し得る。従来に比較して、必要なジョセフソン接合の個数を1個減らすことができるので、製作が容易となる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、ジョセフソン接合素子、その形成方法、および超電導接合回路に関し、IcRn積を向上することを目的とする。
【解決手段】ジョセフソン接合素子は、基板11上に形成された下部電極層12と、絶縁膜13と、下部電極層12の一端に形成された斜面を覆うバリア層14と、バリア層14を覆う上部電極層15を有し、超電導接合部16が形成される。下部電極層12及び上部電極層15は、(RE)1(AE)2Cu3yを主成分とする酸化物超電導材料からなり、元素REはY、La、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、およびLuからなる群のうち少なくとも1種、元素AEがBa、Sr、およびCaからなる群のうち少なくとも1種である。バリア層14は、元素RE、元素AE、Cu、及び酸素を含む材料からなり、この材料中のカチオンのうち、Cu含有量が35〜55原子%、かつ元素RE含有量が12〜30原子%の範囲に設定され、かつ下部電極層12及び上部電極層15の組成と異なる。 (もっと読む)


【課題】有機薄膜を用いたジョセフソン素子を製造する。
【解決手段】
成膜対象物10bを真空雰囲気に置き、有機薄膜から成る第一の超伝導電極膜13表面にトリメチルアルミニウムを吸着させ、真空排気した後、オゾンガスを導入する。トリメチルアルミニウムとオゾンガスが反応し、酸化アルミニウム薄膜141が形成される。残留ガスや反応副生成物は真空排気によって除去する。トリメチルアルミニウムとオゾンガスの導入を交互に複数回行い、アルミナ薄膜141、142を積層させ、トンネル障壁膜を形成する。トンネル障壁膜の表面に第二の超伝導電極膜を形成すると、ジョセフソン素子が得られる。 (もっと読む)


クラックの発生を防止し、かつ面内配向度と方位性等の結晶性並びに表面平滑性に優れた中間層の上に高い臨界電流密度(Jc)を有するRE系超電導層を形成する。配向性Ni基板の上に、希土類元素の1種または2種以上を金属含有量で20〜60mol%を添加したセリウム系酸化物からなる中間層をMOD法により形成し、この酸化物層上にMOD法により高いJcを有するRE系超電導層を形成する。上記の中間層は、Ceの有機金属化合物溶液に、Gd、Y及び/またはYbの各有機金属化合物溶液を混合した混合溶液を配向Ni基板上に塗布して塗膜を形成した後、仮焼熱処理を施し、Ar−H2の雰囲気中で950〜1150℃の温度で、50〜500Paの圧力下で焼成を行うことにより形成する。この中間層の上にTFA−MOD法によりYBCO超電導層を形成する。
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【課題】本発明は、小電流・小電力領域でも高性能で、大電流・大電力領域でも特性低下の小さい超電導バルク体を提供する。
【解決手段】超電導バルク体1において、該超電導バルク体1の少なくとも表面の一部の臨界電流密度が、該超電導バルク体内部の臨界電流密度よりも大きい表面超電導領域2が設けられていることを特徴とする超電導バルク体である。表面超電導領域2は、(a)のように、超電導バルク体1の一つの表面全面に形成しても良いし、また、(b)のように、超電導バルク体1の一つの表面の一部に形成しても良い。あるいは、(c)のように、超電導バルク体1の2つの表面形成しても良い。 (もっと読む)


【課題】 超伝導デバイスにおいて、局所的な電流の集中を防止するとともに、安定した高周波伝送特性を実現し、電流特性と電力特性を両立させる。
【解決手段】 超伝導デバイスは、第1の誘電体基板(11)と、前記第1の誘電体基板上に超伝導材料で形成された2次元回路型の共振器パターン(12)と、前記共振器パターンの上方に、好ましくは誘電体(16)を介して位置し、前記共振器パターンに所望の帯域幅のカップリングを生じさせる導体パターン(17)とを有する。導体パターンは、円形または楕円形であるのが好ましい。 (もっと読む)


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