【解決手段】ウェーハ／マスク／レチクルの表面を検査するための検査システムは、モジュラーアレイを含み得る。モジュラーアレイは、複数の時間遅延積分（ＴＤＩ）センサーモジュールを含み得る。各ＴＤＩセンサーモジュールは、ＴＤＩセンサーと、ＴＤＩセンサーの駆動および処理を行うための複数の局所回路とを有する。局所回路のうち少なくとも１つは、ＴＤＩセンサーと関連付けられたクロックを制御し得る。少なくとも１つのライトパイプを用いて、複数のＴＤＩセンサーモジュールに照明源を分配することができる。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一検査領域または異なる検査領域を取り込むように配置され得る。複数のＴＤＩセンサーモジュールは、同一であってもよいし異なる積分段に対して設けられてもよい。モジュールの間隔は、１回の通過で検査領域の１００％を網羅する処理範囲に対応できるように設定することもできるし、あるいは、処理範囲全体を網羅するのに２回以上の通過が必要となる部分的処理範囲に対応できるように設定することもできる。 （もっと読む）

【課題】高精細の画像と、それより低解像度の動画像を高画質で撮影できる固体撮像装置を提供することを課題とする。
【解決手段】光電変換部と転送手段とを含む複数の画素と、ベイヤ方式に配列されたカラーフィルタと、光電変換部から転送手段を介して転送される電荷を蓄積する不純物拡散領域と、不純物拡散領域に蓄積された電荷に基づいて信号を出力する増幅手段と、不純物拡散領域の電位をリセットするためのリセット手段とを有し、斜め方向に隣接する緑フィルタが配された２つの画素と、緑フィルタが配された２つの画素のうちの１つに隣接する同列又は同行の赤フィルタが配された２つの画素、又は青フィルタが配された２つの画素との４つの画素で単位画素群（１００）を構成し、不純物拡散領域、増幅手段及びリセット手段は、単位画素群を構成する４つの画素に共通接続されている固体撮像装置が提供される。 （もっと読む）

【解決手段】 感光性装置で発生する暗電流は、当該装置を製造する際の種の注入処理を改善することによって、低減される。暗電流は、アニーリング、注入、または、製造時に利用されるその他の処理工程によって発生する、フォトダイオード装置内の欠陥によって生じる可能性がある。処理対象物のフォトダイオード領域をアモルファス化することによって、欠陥の数を低減できるので、暗電流の発生要因が減る。暗電流はまた、隣接するＳＴＩに誘発される応力によっても発生する。裏打ち材料および充填材料に起因して生じる応力によって、処理対象物が含む欠陥はさらに深刻な問題となる。トレンチの側壁および底面をアモルファス化することによって、エッチング処理で形成される欠陥は低減され得る。このように欠陥が低減されることによってさらに、感光性装置での暗電流が低減される。 （もっと読む）

第１画素アレイを有する第１センサ層（１０１）、並びに第２画素アレイを有する第２センサ層（１０２）を用い、イメージセンサ（２０）を形成する際、画素毎に存在する光心に着目する。第１センサ層を第２センサ層の上方に配する際、第１画素アレイ内に形成されている画素の光心が、第２画素アレイ内に形成されている画素の光心からずれ、そのずれにより所定パターンが形成されるようにする。
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【課題】複数画素に対して画像上の連なる欠陥（＝線欠陥）を低減すると共に、補正精度を向上させ、画質劣化を低減することができる撮像装置を提供する。
【解決手段】撮像装置は、二次元に配列され、被写体からの光を光電変換して蓄積する画素６０と、画素６０に接続されて蓄積された電荷を信号として後段へ転送する複数の出力線６７を備える撮像素子を備える。そして、撮像素子は、出力線６７に全色の画素６０が接続されていると共に、同列もしくは同行に配設されている画素６０の出力を、複数画素毎に左右に隣接する、異なる出力線６７へ交互に出力する。 （もっと読む）

相互接続されている１よりも多い画像センサ構造を有する異種画像センサアレイに係る方法が開示される。夫々の画像センサ構造又は画素についての最終の画像センサアレイ画像出力は、単一の画像センサ構造の出力データ、又は１よりも多い画像センサ構造からの出力データを用いて計算される。異種アレイは、他の画像センサアレイ構造と比較して、複雑性、費用、電力消費、デバイス生産量及び信頼性の面で優位性を示す。

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【課題】タイミングジェネレータなどの冗長な回路を要せず、画素縮小を実現しつつ、並進対称性を確保することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】フォトダイオード（ＰＤＡ，ＰＤＢ）と、転送トランジスタ（ＴＸＡ，ＴＸＢ）と、フローティングディフュージョンＦＤと、リセットトランジスタＲＳＴと、増幅トランジスタ１ＳＴと、選択トランジスタＸとを有する画素が半導体基板にマトリクス状に複数個集積されており、列方向に隣接する２つの画素間で、１つのフローティングディフュージョンＦＤ、１つのリセットトランジスタＲＳＴ及び１つの増幅トランジスタ１ＳＴが共有されており、フローティングディフュージョンＦＤ、リセットトランジスタＲＳＴ及び増幅トランジスタ１ＳＴが共有される箇所が、隣接する画素列で１画素分ずれて配置されている構成である。 （もっと読む）

【課題】輝度成分を検出する感光素子と色相成分を検出する感光素子とを有する固体撮像素子の有効な駆動方法を提供する。
【解決手段】Ｒ光を検出する光電変換素子５１Ｒ、Ｇ光を検出する光電変換素子５１Ｇ、Ｂ光を検出する光電変換素子５１Ｂが正方格子状に配列されたＲＧＢ光電変換素子群と、輝度を検出する光電変換素子５１Ｗが正方格子状に配列されたＷ光電変換素子群とが、それぞれの光電変換素子の配列ピッチの１／２だけ行方向及び列方向にずれて配置されており、光電変換素子５１Ｇで発生したＧ電荷と、該光電変換素子５１Ｇの所定方向（右上及び右下）に隣接する光電変換素子５１Ｗで発生したＷ電荷とを混合し、混合して得られる電荷を信号に変換して出力させるステップを有する。 （もっと読む）

【課題】水平ブランキング期間が長くなることを回避し、撮像駆動時の高速処理が可能な撮像装置及び撮像装置の駆動方法を提供する。
【解決手段】
固体撮像素子から画像信号を１ラインごとに出力する水平転送期間と、画像信号の出力を停止するデータ転送停止期間とを有し、アナログフロントエンド回路部が水平転送期間同士の間の水平ブランキング期間を除く、データ転送停止期間中にオーバーフロードレイン信号を入力することで、信号電荷の掃き出しを実行する。 （もっと読む）

【課題】暗電流による画質劣化を減少させる固体撮像装置およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】固体撮像装置10は、待機位置決定部30が本装置10に設定される感度モードを判定し、その判定結果に応じて、撮像部20の各感光部52から読み出される信号電荷を格納する垂直転送路54におけるパケット待機位置を決定し、感度モードが高感度である場合には通常待機位置62よりも暗電流の影響が少ない変更待機位置64を選択して、システム制御部14が待機位置決定部30で決定した待機位置に応じた制御信号104を出力して各部を制御することにより、暗電流の影響を低減し、撮影画像のノイズを抑え、画質を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】暗電流の発生を抑えながら白画素の飽和電荷量を確保できる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】Ｒ画素１２ａ，Ｂ画素１２ｃ，Ｗ画素１２ｅの蓄積層１９ａ，１９ｃ，１９ｅの深さＤ１，Ｄ３，Ｄ４は、蓄積層１９ａ，１９ｃ，１９ｅが受ける光の波長の長短や入射光量によって決められる。Ｗ画素１２ｅの蓄積層１９ｅには、ほぼ全ての波長の光が入射するため、蓄積層１９ｅに入射する光量が他の蓄積層１９ａ，１９ｃよりも多い。また、赤（Ｒ）の光は、青（Ｂ）の各光よりも波長が長い。したがって、Ｄ４＞Ｄ１＞Ｄ３とされる。これにより、蓄積層１９ｅの十分な飽和電荷量を確保できるとともに、短波長の青（Ｂ）の各光を受ける蓄積層１９ｃから無駄な部分を除去し、これによって暗電流を低減し、白傷の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】周辺領域における電荷発生の影響を充分に抑制することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置１は、受光部１０、信号読出部２０、制御部３０、ダミー用フォトダイオードを含むダミー用受光部１１，１２、ダミー用フォトダイオードの接合容量部を放電する放電手段、および、受光部１０を覆うように設けられたシンチレータ層５０を備える。ダミー用受光部１１は、受光部１０の第１行（受光部１０の上辺側）に隣接して配置されていて、左右方向に受光部１０と同程度の長さを有している。ダミー用受光部１２は、受光部１０の第Ｍ行（受光部１０の下辺側）に隣接して配置されていて、左右方向に受光部１０と同程度の長さを有している。 （もっと読む）

【課題】製造の容易なラインメモリを有する固体撮像素子を提供する。
【解決手段】光電変換素子１と、光電変換素子１で発生した電荷を垂直方向に転送するための複数本の垂直電荷転送路２と、複数本の垂直電荷転送路２の各々を転送されてきた電荷を水平方向に転送する水平電荷転送路３と、複数本の垂直電荷転送路２の各々と水平電荷転送路３との間に設けられた電荷蓄積部５とを半導体基板内に有する固体撮像素子であって、複数の電荷蓄積部５の各々に対応してその上方に設けられたＬＭ電極６を備え、複数のＬＭ電極６が複数種類の電極に分類されており、複数種類のＬＭ電極６の各々に対応して該ＬＭ電極６上方に水平方向に延びて設けられ、対応する種類のＬＭ電極６に電圧を印加するための配線７，８と、少なくとも配線７，８と重なる領域にあるＬＭ電極６によって生じる凹凸面と配線７，８との間に設けられた、該凹凸面を平坦化する平坦化層１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】感度の低下を防ぎながら高精度のスミア補正を行うことが可能な固体撮像素子を提供する。
【解決手段】固体撮像素子５は、Ｒ光電変換素子５１とＧ光電変換素子５２とＢ光電変換素子５３とを備える。Ｒ光電変換素子５１とＧ光電変換素子５２とＢ光電変換素子５３の各々と、それに対応する右側部の垂直電荷転送路５４との間には電荷読出し部５５が設けられ、Ｇ光電変換素子５２とそれの左側部にある垂直電荷転送路５４との間には電荷読出し部５６が設けられ、電荷読出し部５５と電荷読出し部５６とにはそれぞれ独立に電圧が印加可能となっている。 （もっと読む）

【課題】
固体撮像素子の受光素子は規則的に配列されているために偽信号が発生する。このために光学的ローパスフィルタが必要であり、画像は劣化する。
【解決手段】
固体撮像素子の画素となる受光素子を配列するのに、それらの間隔を等しくせず、不規則性を持たせて配置し、偽信号の発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械的機構を必要とせずに、光解像度、高感度の撮影が可能なリニアイメージセンサを提供する。
【解決手段】リニアイメージセンサは、赤色ダイオード列１１ａ、１１ｂ、緑色ダイオード列１２ａ、１２ｂ、青色ダイオード列１３ａ、１３ｂを含んで構成され、ダイオード列１１ｂ、１２ｂ、１３ｂは、ダイオード列１１ａ、１２ａ、１３ａに対してフォトダイオード列方向のピッチの約１／２だけ列方向にずれて配設されている。フォトダイオードで検出した信号電荷を転送する電荷転送チャネル２１ｃ、２２ｃ、２３ｃは、それぞれ赤色ダイオード列１１ａと１１ｂの間、緑色ダイオード列１２ａと１２ｂの間、青色ダイオード列１３ａと１３ｂの間に形成され、主走査方向に延在する蛇行形状を呈する。電荷転送チャネル２１ｃ、２２ｃ、２３ｃに読み出された信号電荷は、主走査方向に転送され、出力端ＯＵＴ３１ｃ、ＯＵＴ３２ｃ、ＯＵＴ３３ｃから出力される。 （もっと読む）

【課題】高精度の機械的機構を必要とせずに、光解像度、高感度の撮影が可能なリニアイメージセンサを提供する。
【解決手段】リニアイメージセンサは、赤色光検出用のフォトダイオードＲ１ａ、Ｒ３ａ、…と青色光検出用のフォトダイオードＢ２ａ、Ｂ４ａ、…を交互に１列に配置した赤／青色ダイオード列２１１ａと、同様の赤／青色ダイオード列２１１ｂ、２１１ｃと、緑色光検出用のフォトダイオードＧ１ａ、Ｇ２ａ、…、Ｇ１ｂ、Ｇ２ｂ、…を一列に配列した緑色ダイオード列２１２ａ、２１２ｂを含んで構成される。緑色ダイオード列２１２ａ、２１２ｂは、赤／青色ダイオード列２１１ａと２１１ｂの間、赤／青色ダイオード列２１１ｂと２１１ｃの間に配設される。検出された信号電荷を転送するための電荷転送部を構成する電荷転送チャネル２２１ａ、２２１ｂ、２２１ｃ、２２２ａ、２２２ｂは、それぞれ、赤／青色ダイオード列２１１ａ、２１１ｂ、２１１ｃ、緑色ダイオード列２１２ａ、２１２ｂに近接して配設される。 （もっと読む）

【課題】複数の受光領域に対して画素回路を共有する場合に、受光領域が非等間隔に配置されることによる信号処理の複雑化を回避する。
【解決手段】複数の受光部６１に対応して画素回路を共有し、受光部６１の光入射側を、半導体基体１１の画素回路が形成される第１の面１１Ａとは反対側の第２の面１１Ｂ側とする。そしてこの受光部６１を、第１の面１１Ａ側で非等間隔に、第２の面１１Ｂ側で略等間隔に配置し、半導体基体１１中で異なる形状で第２の面１１Ｂ側から第１の面１１Ａ側に延在する構成とする。 （もっと読む）

【課題】１画面の撮像画像中の暗所部分（低輝度部分）の暗電流ノイズを低減する。
【解決手段】電荷転送路に形成された電位パケットＡ（Ｂ）内に光電変換素子の検出電荷を読み出し該検出電荷を電荷転送路に沿って転送するＣＣＤ型固体撮像素子の駆動方法において、電位パケット間を画成する仕切バリアＣより障壁高さが低い分割バリアＤを該電位パケットＡ（Ｂ）の一端から他端側に移動させることで該電位パケットＡ（Ｂ）内の電荷の存在範囲を狭めながら該電位パケットＡ（Ｂ）を複数の分割パケットＡ１，Ａ２（Ｂ１，Ｂ２）に分割し、その後に、前記転送を行う。 （もっと読む）

【課題】入射光の斜入射特性を低下させることなく、シェーディングの発生を抑制することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】ＭＯＳ型固体撮像装置１では、上層配線（電荷転送線１０１８〜１０４８）がシフト形成されている画素セル１０１〜１０４において、撮像領域の中央Ｌ₁を挟み両側となる部分に存在する画素セルどうし、例えば、画素セル１０１と画素セル１０４とを比較して見るときに、互いの画素セル１０１、１０４に関連する電源線１０１６、１０４６、垂直信号線１０１７、１０４７および電荷転送線１０１８、１０４８が、Ｘ軸方向において、センサ部１０の中央Ｌ₁から紙面に垂直な方向に想定する仮想平面を基準として面対称の関係を以って形成されている。 （もっと読む）