【課題】 観察装置及び加工装置の少なくともいずれかにおいて、簡素化された移動機構によって作業効率を低下させないことを目的とする。
【解決手段】 試料６を保持する試料ステージ７を備える複合装置において、試料ステージ７を、観察装置の観察位置又は加工装置の加工位置の近傍に移動する試料ステージ移動手段と、試料ステージ７上で、試料６を観察位置又は加工位置に移動する試料移動手段と、試料ステージ７が移動しているときでも、試料６と試料ステージ７の相対位置関係を保持する手段と、を備える。また、試料ステージ７が停止した際に位置を観察位置又は加工位置に調整する手段をさらに備える。 （もっと読む）

本発明は、物体を分析または加工するためのナノマニピュレータに関する。このナノマニピュレータは、少なくとも一つの物体を分析位置または加工位置に対して相対的に移動させるために、移動すべき物体または物体ホルダを支持し、移動実施のために変位可能な複数の移動要素を装備しており、これらの移動要素は、それぞれ移動すべき物体または物体ホルダ用の支承面を有しており、これらの移動要素はナノマニピュレータの軸方向で少なくとも一つの支持平面を支えている。このナノマニピュレータは、支持平面を移動させるための、剪断圧電素子を含む移動要素を備えていることを特徴とする。
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装置は半導体ウェハのような物体を正確に制御された位置で処理する。物体（１９）は経路に沿って移動可能な作業テーブル（１２）上に支持される。作業プラットフォーム（１２）に取り付けられた懸架アクチュエータ部（１４）は、経路に沿って支持構造上の軟磁素子（３４）の表面に面する極を有する軟磁コア（２４）と、極を介してコア（２４）を通じて流れ、且つ、軟磁素子（３４）を介して戻る磁界を発生するために電流を加えるための巻線（２０）とを含む。センサ（１７）は、位置基準素子（１６）に対する懸架アクチュエータ部（１４）の測定された位置を感知する。制御回路は、外部制御回路（４０）と、内部制御回路（４２）とを含む。外部制御回路（４０）は、感知結果を受信し、アクチュエータ部（１４）の測定された位置を所定値に規制するために、力設定点情報を決定する。内部制御回路（４２）は、力設定点情報を受信し、力設定点情報に従って、アクチュエータ部（１４）と支持構造（１０）との間に力を実現するために、電流を制御する。
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【課題】 試料全領域の観察を行うような場合でも、特定試料部を光軸位置に正確に合わせることができる、複合観察装置を実現する。
【解決手段】 比較的倍率が低い像を観察する第１の観察装置で、被検査試料の広い範囲を観察して詳細に観察したい特定点を見いだし、その特定点の試料上の位置を示すデータと共に被検査試料を比較的高い倍率の像を観察する第２の観察装置のステージ上にセットし、試料の特定点を比較的高い倍率の像により詳細に観察するようにした複合観察装置において、第１の観察装置の試料移動ステージは、ステージのＸ、Ｙの直線状の移動により、試料表面のほぼ全領域を観察できる大型のステージを有しており、第２の観察装置は、Ｘ、Ｙ方向の２次元移動と回転動とが可能な試料ステージを有しており、回転動とＸ、Ｙ２方向の直線移動を組み合わせることにより、試料表面のほぼ全領域を観察できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の電子顕微鏡は、あまりにも大きい為、試料を電子顕微鏡で観察する必要が生じた場合、これを、電子顕微鏡がある研究所などに持って行って観察しなければならず時間的、空間的に不便であった。本発明は、このような問題点を解決するために、マイクロカラムを使用して携帯または移動可能な電子顕微鏡を提供することをその目的とする。また、本発明は、時間的および空間的制限なしに、移動しながら試料を観察することが可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】マイクロカラムを利用したポータブル電子顕微鏡を提供する。このポータブル電子顕微鏡は、マイクロカラム；低真空用ポンプ；高真空用ポンプ；超高真空用イオンポンプ；マイクロカラムおよび測定対象試料が収容固定され、前記ポンプによって真空が形成される第１チェンバー；コントローラー；および前記ポンプ、前記チェンバー、および前記コントローラーを収容するケース；を含む。 （もっと読む）

【課題】電子カラムをモーショニングさせ、試料の動きを最小化することによって、従来の装置に比べ、装置を小型化することを目的とし、さらに、電子カラムを多重化し、モーショニングを可能にして使用することにより、短時間に多くの電子ビームで多くの単位表面積をスキャンして時間的にも有利な装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子ビームを放出する電子カラムと前記電子ビームが照射される試料間に相対運動を与えるモーショニング装置を提供する。このモーショニング装置は、試料に電子ビームを放出するマルチマイクロカラム；前記マイクロカラムを支持する支持部；および前記支持部を動かして前記マイクロカラムを移動させる駆動手段；前記試料を低真空または高真空に維持するための真空室；を含む。 （もっと読む）

【課題】振動の発生が少なく、描画精度の良好な電子ビーム描画の試料台移動制御方法を提供すること。
【解決手段】試料の描画領域は、試料台の移動方向に縦列するサブ描画領域区画と、サブ描画領域区画内を試料台の移動方向に対し直交する方向に縦列するように区分するサブサブ描画領域区分に仕切られ、かつ電子ビームの照射走査を繰り返す描画が前記サブサブ描画領域区分の単位で行われ、サブ描画領域区画に占めるサブサブ描画領域区分の大きさに応じて、位置の移動制御に用いるサブサブ描画領域区分毎の目標位置値が求められ、サブサブ描画領域区分毎の描画がサブ描画領域区画の一端から他端に向かって順番に行われる際に、描画の順番が進む度毎に目標位置値が加えられる各々の移動目標位置値に応じて試料台の移動制御が行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダーをいったん鏡筒から取り外した後、再び鏡筒内に戻して観察画像に位置ずれが生じた場合でも、試料ホルダーを鏡筒から取り外す前に記憶させておいた試料の観察条件（座標、傾斜角、軌跡、観察画像など）をそのまま有効に活用することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料ステージの移動距離を相対的にカウントするカウンターと、該カウンターのカウント値を試料の位置ずれに応じて補正する補正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットへ高電圧を印加する為の高電圧ケーブルの損傷及びターゲット移動精度の低下を防ぐ。
【解決手段】 長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＸ軸レール２４Ａはステージベース２１上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２４ＢはＸ方向ステージ２２に固定され、レール２４Ａの凸部がレール２４Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｘ方向ステージ２２の移動によりレール２４Ａがレール２４Ｂに対して摺動可能に成してある。長手方向に沿って凸部が形成されている一方のＹレール２５ＡはＸ方向ステージ２２上に固定され、長手方向に沿って凹溝が形成されている他方のレール２５ＢはＹ方向ステージ２３に固定され、レール２５Ａの凸部がレール２５Ｂの凹溝にはめ込まれ、Ｙ方向ステージ２３の移動によりレール２５Ａがレール２５Ｂに対して摺動可能に成してある。 （もっと読む）