【課題】ユーザーの負担を軽減し、標識を用いることによって生じていた、強いコントラストのアーティファクトや試料の汚染，適用試料の制約を排除した多軸再構成手法を実現可能とする画像再構成システムを提供する。
【解決手段】試料を異なる試料傾斜軸で傾斜させて撮影した複数の傾斜画像を得、回転刻み角度毎に位置ずれ補正を行い、回転された観察対象物を異なる角度ステップで傾斜して撮像し、それぞれの傾斜画像群からそれぞれ作成した２つの再構成画像の位置ずれを補正した２つの再構成画像を作成し、該２つの再構成画像を重ね合わせてひとつの再構成画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】真空ロボットによる試料搬送時の位置ずれを補正するための簡単な機構を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】試料ステージのロードポジション(X_L,Y_L)及びアンロードポジション(X_U,Y_U)と、プリアライナの回転角(θ_L)を保存する。プリアライナ上のウエハを基準方位に対して回転角(θ_L)だけ回転させるプリアライメントを実行し、更に、プリアライナに対するウエハの偏心量(Δx₁,Δy₁)を測定する。この偏心量(Δx₁,Δy₁)に基づいて、試料ステージのロードポジション(X_L,Y_L)を補正する。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーを提供すること。
【解決手段】本発明は単一の試片または複雑な内部構造を分析するために３方向以上から高い精度の観察が行えるホルダーに係り、試片を支持するクラドルが回転できるだけではなく、前後および左右に移動できるようにして試片の方向を自由に変更して試片を一層正確に３次元的に分析できるようにした透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーに関する。 （もっと読む）

【課題】 熱膨張または熱収縮による被搭載物の位置ずれを抑え得るマウント装置を提供する。
【解決手段】 マウント装置は、被搭載物を搭載するための搭載板、搭載板を載置する基台、搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第１支持部材、第２支持部材および第３支持部材であって、搭載板の被搭載物を搭載する面に平行で互いに垂直な２方向をＸ方向およびＹ方向と定義するとき、基台に対する搭載板のＸ方向の動きを規制し、Ｙ方向の動きを許容する第１支持部材、基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを許容する第２支持部材、および基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを許容する第３支持部材、ならびに、搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを規制する規制部材を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分析方法及び装置に関し、ステージ走査でも良好なドリフト補正を行うことができるＸ線分析方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料上の面分析領域の内部を複数のブロックに分けて、ブロック内での各ラインのステージ走査に基づく特性Ｘ線の測定が第１ブロックから各ブロック毎に順次行うようにされており、各ブロックにおいて最初に走査が行われるラインについてのステージ走査の開始前に、試料の電子線走査画像を取得し、第２ブロック以降における特性Ｘ線の測定開始時においては、当該ブロックにおいて取得された電子線走査画像と、その直前のブロックにおいて取得された電子線走査画像との照合を行って、ステージのドリフト量を求め、該ドリフト量に基づいて電子線のビームシフトを行うことにより、試料上での電子線の照射位置を補正してから当該ブロック内での特性Ｘ線測定を開始するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一方の微小移動用駆動機構の駆動に基づく、他方の駆動機構への影響を抑制しつつ、高精度な位置決め、或いは振動抑制を実現することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、テーブルとトップテーブルの間に、トップテーブルを支持する支持部材を備え、当該支持部材は、当該支持部材の外枠を形成する第１の部分と、当該第１の部分の内側に配置される第２の部分と、当該第２の部分の更に内側に配置される第３の部分を有し、第１の部分と第２の部分、及び第２の部分と第３の部分とを弾性ヒンジを用いて連結するように構成し、第１の部分を第１の方向に駆動する駆動機構と、前記第２の部分を第２の方向へ駆動する駆動機構とを備えた試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】試料台の角度や観察位置によらず、観察手段を切り替えても観察視野を変化させない。
【解決手段】胴部２４の円筒状側面の第一の位置４１に固定され、試料室２１内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段１１と、胴部２４の円筒状側面であって、第一の位置４１と異なる第二の位置４２に装着され、試料室２１内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段１２と、観察対象の試料を載置するため試料室２１内に設置された試料台３３と、試料台３３の高さを調整可能な高さ調整機構８０と、高さ調整機構８０により調整された試料台３３の高さによらず、電子線撮像手段又は光学系撮像手段のいずれかの光軸の方向を、他方の観察手段の光軸の方向と略一致させるように各観察手段を移動できる移動手段とを備え、移動手段により、水平姿勢に維持された試料台３３に対して、観察手段を傾斜させて傾斜観察を可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子線装置の位置決め方法及び装置に関し、周期的な揺らぎを減少させることができる電子線位置決め方法及びその機能を具備する電子線装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を発生させる電子源１と、当該電子線を加速、減速、収束及び偏向させる光学系と、当該電子線を走査し、またはブランキング制御するための制御系と、前記電子線が照射される材料７を保持するためのステージ６と、該ステージ６の位置を計測するためのステージ測長系１６ａと、前記材料７から放出される電子線を検出する電子検出部１８と、該電子検出部１８から得られた検出信号を処理するための信号処理系１９とからなる電子線装置において、前記ステージ測長系１６ａからの補正信号に振幅と位相を調整可能な周期信号を加算するように構成される。 （もっと読む）

【課題】回転、開閉する真空チャンバを、気密性を維持しつつ回転動作をスムーズに行えるようにする。
【解決手段】減圧可能な試料室２１を構成する胴部２４の開口端を開閉自在に閉塞する蓋部２７と、胴部２４を回転させるための回動手段とを備えており、蓋部２７は、胴部２４の開口端を閉塞する閉塞板２８と、閉塞板２８を開放位置、閉塞位置に切り替えるための蓋開閉手段と、閉塞板２８の円盤状の略中心を回転軸として、蓋開閉アーム２９上で閉塞板２８を回転自在に支承する蓋回転軸１４２と、閉塞板２８が開放位置にあるとき、閉塞板２８の回転軸が胴部２４の回転軸と閉塞位置において略一致させる位置となるように閉塞板２８の姿勢を保持すると共に、閉塞板２８が開放位置から閉塞位置に切り替えられると、該保持状態を解除するよう、蓋回転軸１４２を保持する保持機構１４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡画像、光学拡大観察画像の観察視野切り替えをスムーズに行う。
【解決手段】胴部２４の対向する端面を閉塞する一対の端面板と、第一の観察手段として、胴部２４の円筒状側面の第一の位置４１に固定され、試料室２１内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段１１と、第二の観察手段として、胴部２４の円筒状側面であって、第一の位置４１と異なる第二の位置４２に装着され、試料室２１内の光学画像を撮像可能な光学系撮像手段１２と、電子線撮像手段１１及び光学系撮像手段１２の光軸を共通の回転軸に向かう姿勢に維持しつつ、該回転軸までの距離を一定に維持するように、電子線撮像手段１１及び光学系撮像手段１２を胴部２４の円筒状側面に沿って回転させるための回動手段と、観察対象の試料を載置するため試料室２１内に設置され、回転軸と略一致する位置に配置される試料台３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台３３と、試料台３３をＸＹ方向に線状移動させるためのＸＹ移動機構７５と、試料台３３をＸＹ面と直行するＲ軸を中心として回転移動させるためのＲ軸回転機構７６とを備え、Ｒ軸回転機構７６は、ＸＹ移動機構７５による試料台３３の位置に依らず、回転中心であるＲ軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするＲ軸維持機構７７を備える。 （もっと読む）

【課題】試料ステージ装置における、ギャップの初期状態等の駆動条件に影響されることなく、熱ドリフトや振動によるノイズを抑えることが可能で、安定した試料テーブルの高速な位置決め制御方式を提供する。
【解決手段】試料ステージ装置１０は、ギャップ２５，２６等による駆動条件の影響を受けない所定周期毎の理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)を算出し、この所定周期毎に、レーザー干渉計３３，３４等により構成される位置検出器によるリアルタイムな測定位値ｘ(i) ，ｙ(i)と理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)との偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)をリアルタイムに求める構成になっている。その上で、この求められた偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)から測定値ｘ(i) ，ｙ(i)が理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)に追従するようなモータ２７，２８の速度指令値ｖｘ(i) ，ｖｙ(i)を算出し、リアルタイムな速度制御を行うフィードバック制御により、安定した試料テーブル１１の高速な位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、不感帯等の存在に依らず、高速且つ安定した位置決めを行う試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージのテーブルと駆動機構との間の結合を機械的に分離可能な結合部と、当該結合部を駆動機構によるテーブルの移動停止の前に分離するように制御する制御装置と、テーブル位置の位置を検出する位置検出器を備え、制御装置は、テーブルの粗動時には位置検出器によるテーブルの位置情報に基づいて、フィードバック制御を実施し、微動時には予め設定した速度変位パターンを用いて前記駆動機構をオープン制御するシーケンス制御を実施する試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】配線で可動範囲が制限されたりすることなく試料又はマスクの位置をより柔軟に調整することができる荷電粒子線装置、試料移動装置、マスク位置調整機構、試料位置調整方法及びマスク位置調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料ステージ００８に対する試料の位置を調整する試料移動装置０４０であって、ＳＥＭ制御ユニット０１５からの指令に応じて出力指示信号を生成する赤外線ランプ制御ユニット０１４と、赤外線ランプ制御ユニット０１４からの出力指示信号に応じて赤外線信号を照射する赤外線ランプ０１０と、試料ステージ００８上に固定された試料台ホルダー００７と、試料台ホルダー００７に対し変位可能に取り付けた試料台１０２と、赤外線ランプ０１０からの赤外線信号を受光する赤外線センサー１０８と、赤外線センサー１０８で受光した赤外線信号に応じて試料台１０２を駆動するモーター１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料台を任意の方向に大きな角度でも容易にユーセントリックに傾斜させる。
【解決手段】電子顕微鏡１００は、その試料ステージ１として、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に自在に移動可能な基体ステージ１０、基体ステージ１０上に回転自在に配設される回転ステージ２０、回転ステージ２０上にＸ，Ｙ方向に自在に移動可能に配設される球体駆動ステージ３０、試料台４２がその表面上方にその表面に平行に取付けられた試料傾斜駆動球体４０などを備える。制御装置７０は、試料台４２を傾斜させる方向角と傾斜角と試料傾斜駆動球体４０の半径とに基づき、球体駆動ステージ３０のＸ，Ｙ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ球体駆動ステージ３０を移動させ、さらに、試料台４２の傾斜に伴い試料８０の観察対象領域が移動するＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動量を算出し、その算出した移動量だけ、その移動方向とは反対方向に、基体ステージ１０を移動させる。 （もっと読む）

【課題】
観察試料と対物レンズ等の試料室内の構造物の接触を未然に、かつ確実に防止することが可能な、使い勝手の良い走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
走査電子顕微鏡の試料室内壁近傍から非接触で観察試料の有無を検出する物体検出手段を設け、観察試料を試料室へ導入する際に、試料移動機構制御手段により試料移動機構を自動的に水平及び垂直方向に移動させつつ、物体検出手段による物体検出情報に基づいて観察試料の高さを自動的に算出し、手動操作入力手段から移動指示に応じて試料移動機構の移動する際には、先に算出した観察試料の高さの情報に基づいて試料移動機構の移動量に制限を加える。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ薄片観察の能力を向上させ、かつその構成において効率よく試料の配置と姿勢を制御することを図ること。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１のビーム照射軸と、ＳＥＭ鏡筒２のビーム照射軸と、回転可能な台の第一の回転軸が、試料観察位置でそれぞれが互いに略直交に交わり、回転可能な台が第一の回転軸を中心に回転可能な支持部を有し、支持部が試料５を試料観察位置に配置可能な並進機構と接続する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電子顕微鏡の利用におけるデーター取得開始が可能になるまでの待ち時間を軽減させること可能で、大幅な利便を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダー本体の主軸材が、低熱膨張係数の材料からなることを特徴とする。本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記低熱膨張係数の材料が、遷移金属の4〜6族に属する元素を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
ムービングマグネット型のリニアモータ対を移動ステージに利用する場合、このリニアモータ対に挟まれる空間の磁場が可動子の移動に伴って大きく変動する。
【解決手段】
リニアモータの可動子３の中央面１９を基準として鏡面対称となるように、４Ｎ組（Ｎは自然数）の磁石ペア１２を配置する。極性は、可動子中央線１９で隣り合う極性が同じで、離れるに従ってＮ極とＳ極とが交互となるように磁石ペア１２を配列する。このようなリニアモータを2組並行に配置してリニアモータ対を形成し、このリニアモータ対を用いてステージを駆動することで、例えば電子顕微鏡等の磁場環境に与える影響の少ない移動ステージを実現した。 （もっと読む）