【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 ポインティング・デバイスを用いて、顕微鏡システムにおけるステージなどの操作対象を位置制御する情報処理装置、位置制御方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。
【解決手段】 本発明の情報処理装置１１０は、ポインティング・デバイス１１４により指し示される操作画面上の座標値を取得する手段１７２と、この座標値から操作対象の位置の目標値を算出する手段１７４と、操作対象の位置の目標値と現在値との差分を算出する手段１７６と、座標値の取得時間間隔内に操作対象を差分だけ移動させるために必要な速度から、予め設定された平滑化係数に応じて減速した値として、操作対象を駆動する同期モータのパルススピードの目標値を算出する手段１８０と、差分が有り、かつ、順方向の駆動信号が出力されている場合に、算出されたパルススピードの目標値を設定し、このパルススピードの目標値に向けた加減速制御を指令する手段１８４とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室内を大気開放することなく容易な作業により短時間で差動排気絞りの着脱，位置調整，交換が行え、高分解能化が可能になる環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、電子線を放出する電子銃と、電子銃から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、前記対物レンズ下に配置される試料室と、前記試料室内に備えられた試料微動装置と、前記試料室内の真空度を制御する排気系とを備えた電子顕微鏡において、前記試料微動装置に、差動排気絞りを着脱する交換部材を設置し、前記試料微動装置による前記交換部材の駆動により差動排気絞りを前記対物レンズに対して着脱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持および位置決め構造体を提供する。
【解決手段】本発明は、テーブル上のターゲットを支持および位置決めするための支持および位置決め構造体を備えた荷電粒子システムに関し、支持および位置決め構造体は、第一の部材と、第二の部材と、第二の部材に対して第一の部材を移動させる少なくとも一つのモーターを備えており、前記少なくとも一つのモーターによって発生される電磁場から少なくとも一本の荷電粒子ビームをシールドするシールドが存在し、支持および位置決め構造体は、第一の部材と、第一の部材とテーブルとターゲットの重量を少なくとも部分的に支えるための第二の部材を機械的に結合しているスプリングをさらに備えている。
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【課題】回路パターンの微細化に伴い、露光の際のショットの形状の歪みがある場合には、電子顕微鏡によるウェーハ検査時のスループットの低下や自動化率の低下が認められ、ショット歪みに対する位置補正動作を実行する方式を提供する。
【解決手段】１つのショット内の複数点について位置ずれ情報を検出し、当該複数点の位置ずれ情報に基づいてショット歪みの情報を取得し、取得されたショット歪情報に基づいて、各ショットに固有の座標補正情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージのテーブルを所定位置にミクロン単位で移動させた際、テーブルが傾斜してしまうことを精度高く抑制することができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０１に対し、テーブル１０２を、水平方向或いは揺動方向或いは鉛直方向に摺動組み付けする位置決めステージにあって、固定ベース体１０１とテーブル１０２とをクロスローラガイド機構を介して摺動組み付けし、テーブル１０２側のクロスローラガイド機構のローラレース１０９に対向する固定ベース体１０１面に磁石１０５を配した構成で、テーブル１０２を所定位置に移動させた状態で固定ベース体１０１とテーブル１０２とを磁石１０５相互磁着させることによりテーブル１０２の静止状態を確実に維持する。 （もっと読む）

【課題】測長ＳＥＭのような半導体の検査や評価を目的にした装置に適用可能なステージ装置を小型化、軽量化すると同時に電子線への磁場の影響を低減する。
【解決手段】トップテーブル１０１の大きさと可動ストロークとから決まる最小寸法とほぼ同じ大きさのベース１０４上に、リニアモータ１１０，１１１，１１２，１１３を、電子ビーム照射位置（ステージ装置中央）から遠ざけるように４辺に配置する。リニアモータ固定子１１０，１１２は「コの字」構造の開口部を装置の外側に向ける構成とした。また、可動テーブルとトップテーブルの連結は、非磁性材料を用いたリニアガイド１０７，１０９もしくは非磁性材料を用いたローラ機構によって行った。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、放出ガスの発生個所であると考えられる摺動部から放出される放出ガスを高効率、且つ簡単な構成で除去する真空排気方法及び真空排気装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、真空室内に移動装置を備えた真空装置において、前記移動装置の移動に伴って、摺動する摺動機構を備え、当該摺動機構の被摺動部を、活性金属材料を含むゲッタ面とし、摺動部を当該ゲッタ面を摩擦する摩擦部材とすることを特徴とする真空装置、及び移動機構の移動に伴って、活性金属材料表面を摩擦することで、ゲッタ面を新生する真空排気方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある
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【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、微細振動、ドリフトが起こりにくく、且つテーブルの歪がなく、摺動摩擦力の小さい安価な試料ステージの提供する。
【解決手段】試料ステージは、ベースと、移動テーブルと、前記ベースに対して前記移動テーブルを駆動させるための駆動機構と、前記ベースに対して前記移動テーブルを滑り接触させる固体滑り機構と、前記移動テーブルと前記ベースとの間に設けられ前記移動テーブルの移動方向を拘束する転がり案内機構と、前記移動テーブルと前記転がり案内機構の間に形成された間隙に設けられた弾性部材と、を有する。弾性部材は、前記移動テーブルの荷重を支持するように弾性変形可能であり、且つ、前記移動テーブルの移動方向に直交する方向の前記移動テーブルの移動を拘束するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数本の探針を有し、前記探針により電子顕微鏡試料の任意箇所の電気測定と電子顕微鏡観察が同時に可能な装置を提供することにある。特に、試料周辺の領域が制限されている電子顕微鏡内で、真空保持空間が狭小であっても、軽量な機構で複数本の探針が独立に移動可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料を保持可能な試料ホルダにおいて、試料に接触する複数の探針と、当該複数の探針を移動する微動機構と、前記微動機構と接続された駆動体を備え、前記複数の微動機構は、前記複数の探針を独立して移動し、前記駆動体は前記複数の探針を同時に移動することを特徴とする試料ホルダを提供する。 （もっと読む）

【課題】真空容器への適用が可能で、設計自由度及び設置の自由度が高く、メンテナンス性の良い２軸ステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る２軸ステージ装置は、Ｙ軸方向に移動可能なＹテーブル４と、Ｙテーブル４上に載置された中間テーブル１５と、中間テーブル１５上に載置され、該中間テーブル１５上に設けられたＸ方向ガイド１１によってＹ軸方向と直交するＸ軸方向に移動可能なＸテーブル９を有している。Ｙ送りねじ５はＹモータ２の回転をＹ軸方向への直線運動に変換し、Ｙテーブル４をＹ軸方向に移動させる。一方、ボールスプライン軸１４はＸモータ７によりＹ軸方向を回転中心として回転する。スプラインナット１４１には歯車１３が固定されており、この歯車１３とＸテーブル９に固定されたラック１２によってボールスプライン軸１４の回転がＸ軸方向への直線運動に変換され、Ｘテーブル９をＸ軸方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はトップエントリステージの駆動方法及び装置に関し、高倍率での目標物の移動を容易にすることである。
【解決手段】その両端に第１及び第２の切り欠き部１１，１２が、その両端から等距離の点に第３の切り欠き部１３が形成された、その上に試料を載置する円形状の試料ステージ１と、前記第１及び第２の切り欠き部に設けられたＸテコ２，Ｙテコ３と、これらテコを正負両方向に駆動するＸ，Ｙ方向にそれぞれ設けられたＸ，Ｙ駆動モータ２１，２２と、前記第３の切り欠き部１３に設けられた固定ブロック４と、該固定ブロック近傍に取り付けられた試料ステージの所定方向に付勢力を与えるバネ５と、から構成されるトップエントリステージにおいて、前記試料ステージ１をＸ，Ｙ方向に移動させる場合に、移動量が小さい時は、前記Ｘ，Ｙ駆動モータ２１，２２を同時に同じ量だけ動かすように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の基板検査装置は、基板の検査エリアの設定を簡単にし、且つ検査エリア設定の自由度を確保して効率良く基板の検査を実行することを目的とする。
【解決手段】半導体ウエハ８０における「左エッジからの距離Ｒ」と「右エッジからの距離Ｒ」とを検査エリアとする設定がされた際、全体制御部は、この設定に基づいて検査室にロードされる半導体ウエハ８０の検査エリアを演算し、この演算結果を補正制御回路に登録する。全体制御部は、演算結果を登録した補正制御回路を用いて検査エリアとしての半導体ウエハ８０の左エッジからの距離Ｒにある領域（５）のチップ８１の斜線で示すセル８２と領域（６）のチップ８１の距離Ｒ内の斜線で示すセル８２、及び半導体ウエハ８０の右エッジからの距離Ｒにある領域（８）のチップ８１の斜線で示すセル８２と領域（７）のチップ８１の距離Ｒ内の斜線で示すセル８２の自動検査を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、冷却しながらの荷電粒子による加工もしくは観察を効率的に行うことに関する。特に、熱ダメージの影響が懸念されるような材料を冷却した状態で加工観察することに関する。また、荷電粒子を用いた試料加工法による影響を冷却により効果的に軽減することに関する。
【解決手段】本発明は、イオンビーム照射により試料から摘出された試料片を固定できる試料台と、該試料台を所望方向に回転させる回転機構と、を備え、イオンビーム装置と透過電子線顕微鏡装置に装着可能であり、前記試料台と冷却源とを熱的に接続する可動な熱伝達物と、前記試料台と該熱伝達物質を熱的に外界から隔離する隔離物質を有する試料ホールダに関する。本発明により、効率的に冷却しながら荷電粒子線による加工や観察を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透過光検出用の撮像素子を真空室内部に別途設置することなく、簡易な構成の装置によって、一次線透過部を探し出すことのできる試料検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料保持体の一次線透過部に保持された試料２１に対して、一次線透過部を介して一次線を照射し、これより試料２１から発生して一次線透過部を通過した二次線を二次線検出手段３により検出して試料像の取得が可能であり、また、試料２１に対して一次線透過部が位置する側とは反対の側から光（照射光）２４を照射し、これによる反射光を検出して試料２１の光学像の取得が可能である試料検査方法及び装置において、照射光２４を試料２１に照射したときに、試料２１を介して一次線透過部を通過する通過光２４ａを二次線検出手段３によって検出することにより、試料２１上への照射光２４の照射領域と一次線透過部との位置合わせを行う。 （もっと読む）

本発明は、光学的装置に関し、特に電子顕微鏡に使用される光学的装置に関するものである。この装置は、サンプルの電子顕微鏡法による測定と、光学的セットアップによる及び／又は光源のプロービング用の操作装置又は走査プローブ装置を使用した測定と、を同時に測定することによる、サンプルの特性解析に使用される。本発明の電子顕微鏡のサンプルホルダー（６０１）は、構造的特性解析のためサンプル（２０３）を前記電子顕微鏡の電子ビームの中に位置決めするように構成された所定の画像化領域（２０５）と、光学的特性解析のため光を前記サンプル（２０３）上に配向するように構成された光源（７０３，８０１，９０１，１０５，１０７，１１３，１１７）と、を有し、ここにおいて前記構造的及び光学的特性解析は同時に行われる、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料からの摘出試料の分離等を自動的に行うことに関する。
【解決手段】本発明は、試料における摘出試料となる領域や、それ以外の領域、若しくは、摘出試料を移送する移送手段や、摘出試料を保持できる試料ホルダに、画像認識の精度を向上させる指標を設け、摘出試料と試料の相対的移動等を高精度に画像認識することに関する。本発明によれば、集束イオンビームを用いた微小試料のサンプリングにおいて、摘出試料と試料との分離加工の終点検知等を自動的に実施できるようになる。このため、例えば、無人化した試料摘出が可能となり、大量の試料作製を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなくステージの移動時の振動を抑制することが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ機構とカウンタマス機構と制御装置とを有し、制御装置は、ステージ機構を制御するカウンタマス制御ユニットとカウンタマス機構を制御するカウンタマス制御ユニットを有する。カウンタマスの可動平面とステージの可動平面は、互いに平行であり、且つ、互いに隔てられて配置されている。 （もっと読む）