【課題】とくには電子顕微鏡などのビーム装置によって検査される試料を保持するために設けられた保持部材の位置を制御および監視するための方法および装置を提供する。
【解決手段】不整に関係するあらゆる誤差を考慮に入れて保持部材の位置を制御および監視するため、存在しうる誤差の補間という考え方にもとづいて、取得、保存した誤差マップ、補正マップに従い保持部材の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】
ステージを移動させることで生じるステージ駆動反力が装置本体に作用してロッキングを引き起こすことを防止・低減した荷電粒子線装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の荷電粒子線装置は、電子光学鏡筒、試料室、及びこの試料室内で移動するステージを少なくとも備えた装置本体と、この装置本体を支持する重力方向に対して傾斜した複数の除振マウントを備え、ステージの重心高さと、装置本体の重心高さと、複数の除振マウントの支持中心高さとが同じ高さを有するように構成する。これにより装置本体のロッキングを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 十分なビーム強度が得られる多価イオン源を提供すると共に、その多価イオンビームを制御し、照射位置を制御して、効率よく精確に照射することができる多価イオンビーム照射方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 多価イオンを発生させる多価イオン源と、その多価イオン源から導出された多価イオンビームを試料に向けて誘導するビームガイドと、試料を保持する試料保持部とを少なくとも備える多価イオンビーム照射装置において、試料に対向するビームガイド端部と試料保持部とを、支持すると共に並進移動させて位置調整する基盤ステージと、試料保持部に対してビームガイド端部を相対的に、２次元で並進移動させて位置調整するＸＹステージと、試料保持部のみを独立に、ＸＹステージの移動方向と略垂直なＺ方向へ並進移動させて位置調整するＺ並進移動機構とを有する照射位置制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】上方に開口した容器の上面にエアベアリングを有し、容器の上面をエアベアリング面に押し当てた状態で容器内部を真空状態にして真空チャンバとして使用する真空装置において、エアベアリングを備えた容器自体の構造を複雑にすることなく容器内部へ試料を搬送する搬送手段を真空装置に設ける。
【解決手段】上方に開口した容器１１４の上面にエアベアリング１１５を有し、容器１１４の上面をエアベアリング面１０６に押し当てた状態で容器１１４内部を真空状態にして真空チャンバ１１７として使用する真空装置１において、容器１１４を昇降させることにより容器１１４の上面をエアベアリング面１０６へ押圧し及び上面を該エアベアリング面１０６から離す昇降手段２０２と、エアベアリング面１０６から上面が離れることにより開放された凹部の開口部を通して、凹部の内部へ試料１０３を搬送する試料搬送手段２２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過電子顕微鏡の試料移動方法に関し、グリッド部分にさしかかった時にスムーズに次のメッシュ位置まで移動することで、操作性を向上させることができる透過電子顕微鏡の試料移動方法を提供することを目的としている。
【解決手段】透過電子顕微鏡において、試料ホルダに保持された試料を移動する場合において、試料が試料ホルダに保持された状態でその透過像を獲得し、獲得した試料と試料ホルダのグリッドの透過像に対して統計的処理を行ない、該統計的処理に基づいて試料移動の速度を制御するように構成する。 （もっと読む）

【課題】フットプリントの大幅な増大を抑え、エッジ部分を含む高速・高分解能で、検査条件の確認を簡便に行える異物・欠陥検査・観察システムを提供する。
【解決手段】荷電粒子光学系による観察機能と、荷電粒子光学系および試料周辺を真空にするための排気機能と、稼動範囲が小さいｒθステージと、を設け、従来異物・欠陥検査装置に搭載されていた光学式の観察機能では判別できない観察対象物表面およびエッジ部の微細な異物・欠陥を、他の観察装置を介することなく、検出された欠陥の致命／非致命を判断するための高分解能観察機能を設けた。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子顕微鏡による観察状態にある試料の引張を行う引張装置に関し、試料室内で回転、傾斜、移動して、引張状態の試料上の任意の場所、角度などの画像を容易に撮影することを目的とする。
【構成】引張対象の試料を固定すると共に試料を引張する引張機構と、引張機構と直交あるいは平行に、引張機構に接続して電気駆動可能な駆動源とを配置して固定したベースを備え、電子顕微鏡の試料室の側面に設けた交換棒あるいは交換機構で、電子顕微鏡の試料室内に設けたＸＹ方向に移動可能なステージ上に固定されているベースを取り外して予備排気室に移動させたり、あるいは予備排気室内のベースを移動してステージ上に固定する。 （もっと読む）

【課題】
簡素な駆動系で、ボールネジに塗布されたグリスの粘性抵抗によるドリフトを抑制して高精度な位置決め性能を有するステージ装置を実現すること。
【解決手段】
上記目的を達成する手段として、テーブルを移動させるためにモータからの回転運動を直線運動に変換するボールネジに取り付けられるナットを二個とした。そして、一つのナットにテーブルを連結するとともにもう一方のナットの回転運動を抑制する回転止め手段を設けた。さらに前記ナットの間にはばね部材、あるいは弾性部材を設け、両ナット間には引っ張り力、あるいは圧縮力が作用するようにした。 （もっと読む）

【課題】Ｚ移動機構を付加することによって、トモグラフィーが可能になる荷電粒子線装置の試料ステージ移動装置を提供する。
【解決手段】回転ディスク２３の３箇所のテーパ面２３ｂに球２５が入っており、ウォームギア２４を介して回転ディスク２３が回転することによって、球２５がテーパ面２３ｂを上り、上部に位置する昇降ディスク２２をＺ方向である上方向に押し上げる。このため、試料ステージ１３がＺ方向に押し上げられる。 （もっと読む）

【課題】試料の種類に関係なく、ステージを作動させる前に予め試料との干渉を予測して該干渉を未然に防ぐことができ、オペレータにかかる負担を極力軽減すること。
【解決手段】試料２に対して荷電粒子ビーム（ＦＩＢ／ＥＢ）を照射する照射機構と、荷電粒子ビームの照射によって発生した二次荷電粒子を検出する検出機構と、照射機構及び検出機構の三次元データをそれぞれステージ座標系Ｗに関連付けた状態で予め記憶する記憶部と、試料の三次元データをステージ座標系に変換する変換部と、試料の特定位置を測定ポイントに位置させる際に、変換部によって変換されたデータと記憶部に記憶されたデータとに基づいて、試料と照射機構と検出機構との位置関係をシミュレーションして、予め試料が干渉するか否かを判断すると共に判断結果を報知する判断部とを備えている荷電粒子ビーム装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、常に試料をカメラに視野内に位置させることができると共に、カメラによる試料室内への各種機器の設置数を制限させることがない電子顕微鏡を提供することにある。
【解決手段】本発明は、カメラ４を試料微動装置３の試料保持手段（９）に支持させたのである。
このように構成することで、試料８の移動に連動してカメラ４も移動するので、試料８がカメラ４の視野から外れたり、周辺に設置された各種機器６で遮られたりすることがなくなる。また、カメラ４を試料室１の壁に設けることで制限していた各種機器６の設置数を増加させることができる。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダ上での試料の姿勢を、元々試料が試料基板上で置かれていたときと同じ状態になるように制御する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置のチャンバ内において、試料基板上の試料を把持して試料ホルダまで運搬し、該試料を試料ホルダ上で固定する際の試料の姿勢を制御する。チャンバ内で試料基板上にある試料Ｗｂの表面にビームによってマーキングを施すマーキング工程と、試料把持手段７によって試料を把持し、試料基板から試料ホルダまで運搬する運搬工程と、試料を試料ホルダに固定するに際し、試料の表面に施されたマーキングＭａ，Ｍｂを観察しながら、試料の姿勢を制御する姿勢制御工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低振動でドリフトが小さく高精度の位置決めを行える電子顕微鏡用ステージ機構を実現する。
【解決手段】ステージの駆動機構に超音波モータを用いるとともに、停止剛性を高める固定機構をモータと一体化する。すなわち、与圧機構に超音波モータと共に固定機構のピエゾ素子をマウントする構造を用い、ステージの加速減速及び位置決めを駆動機構で行った後、固定機構によりステージを固定する際、ステージの両側に位置するピエゾ素子が伸長し、ステージを押圧するように構成する。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、試料と対物レンズや検出器とのの接触を防止する。
【解決手段】試料３のダミー９と対物レンズ１１のダミー８を設け、試料３が対物レンズ１１に接触する前に、試料のダミーと対物レンズのダミーが先に接触するようにし、試料の移動を制限する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加工領域を変更する度毎に試料を試料ステージ機構に付け直す手間が不要のイオンミリング装置、及びイオンミリング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、試料に照射するイオンビームを発生させるイオン銃と、前記イオンビームによる照射加工が行なわれる前記試料を内置する試料室と、前記試料室の真空を保つために排気を行なう排気装置と、イオン生成のためのガスを注入するガス注入機構と、前記試料を設置して回動する試料ステージ機構を備えたイオンミリング装置において、前記試料ステージ機構は、前記試料を載せて回転する回転テーブルと、前記回転テーブルを駆動する回転機構と、前記回転テーブルの回転中心軸線と前記イオンビームの中心線との位置関係を偏心調整できる偏心機構と、前記試料ステージに設置した試料の中心線と前記回転テーブルの回転中心軸線との位置関係を偏心調整できる試料位置調整機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】
半導体ウエハの高速で高分解能な外観検査と、異物や欠陥の存在部位からＴＥＭ観察や各種分析のための試料を高い位置精度で一貫して作製することのできる検査装置を提供すること。
【解決手段】
同一検査装置内に、ウエハ検査用の走査型電子顕微鏡部（ＳＥＭ部）１と試料作製加工用のイオンビーム部１０１とを併設し、ＳＥＭ部１によるウエハ７の外観検査と、この検査結果に基づいての、ウエハ７上の欠陥（異物やパターン欠陥）の存在部位からのＴＥＭ観察や各種分析のための試料の摘出加工作業とを、同一ステージ８上で一貫して行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】
試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面
観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および
微小試料加工観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】
上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と
電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し
、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 （もっと読む）

【課題】 電子線応用装置において、検査を行う一次ビームの良好な集束を保ちつつ、且つスループットを落とすことなく、帯電制御を実現する。
【解決手段】 単一の電子源から複数本の一次ビームを形成し、少なくとも一本の一次ビームで試料の帯電を制御し、同時に、これとは別の一次ビームを用いて試料の検査を行う。また、帯電制御用の一次ビームの照射領域と検査用の一次ビームの照射領域に対して、独立に表面電界強度を設定する。また、帯電制御用一次ビームの電流や、帯電制御用一次ビームと検査用一次ビームの間隔を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）