【課題】本発明は、ステージ機構等の継続的な移動によって発生する熱に基づく座標誤差に依らず、測定対象を正確に特定する荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、以下にテンプレートマッチングによって、測定位置を特定する演算装置を備えた荷電粒子線装置において、測定点数の増加と、当該測定点数の増加に対するテンプレートマッチングによって特定される測定対象の理想的な測定位置と、実際の測定位置との位置ずれ量の変化の関係を記憶する記憶媒体を備え、前記演算装置は、前記関係に基づいて、次の測定点におけるずれ量を計算し、当該計算値が、所定の閾値を超えた場合に、当該計算値に基づいて前記ずれ量を補正した移動量を計算することを特徴とする荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御により生じる機械振動成分を除去することなく、レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を最大限除去することが可能な荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法を提供する。
【解決手段】試料が載置されるステージの位置の測定にレーザ干渉計を用いる。レーザ干渉計の測定信号に含まれる非線形誤差成分を除去するフィルタ部のカットオフ周波数を、ステージ移動制御部による制御後のステージ位置を目標位置に近づけるサーボ制御が行われる周期Ｔｓの逆数（１／Ｔｓ）に設定する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられる電子顕微鏡装置の試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を可能とする。
【解決手段】制動装置は、ベースに装着されたブレーキレールと、テーブルに装着された１対の制動機構を有する。１対の制動機構はそれぞれブレーキレールに接触する作動部を有する。ブレーキレールの表面に作用する押圧力は、ブレーキレールの表面の法線に対して傾斜して作用する。押圧力を、ブレーキレールの表面に沿った方向の接線分力と法線方向の法線分力に分解することができる。この接線分力は、ブレーキレールに対してテーブルを互いに反対方向に駆動する推力として機能する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ステージの移動条件に因らず、残留反力を低減するステージ装置、或いはガイド機構の直進性を高めることで、ガイド機構によって生じるステージドリフトを低減するステージ装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、残留反力を決定付けるステージの速度等に応じて、追い越し量を制御する試料ステージ装置を提案する。この構成によって、ステージの移動速度等によって変化する残留反力を低減することが可能になる。また、ガイド機構を押圧する押圧機構であって、ガイド機構を支持する支持部材に回転可能に固定され、当該回転によって、前記案内機構を押圧すると共に、前記回転の回転中心とは異なる中心位置を持つ円形の押圧部を有する試料ステージ装置を提案する。このような構成によれば、押圧機構のトルク管理によって、押圧力を制御できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の傾斜方向からのビーム走査が可能な荷電粒子線装置において、高分解能の維持と、ステージ構造の簡素化の両立を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料の２つの移動方向に対し、垂直な方向に荷電粒子線光軸を有する第１の荷電粒子光学系と、試料ステージの移動方向に対し、傾斜した方向に荷電粒子線光軸を有する第２の荷電粒子光学系と、試料を真空雰囲気内に保持する試料チャンバと、真空雰囲気内にて回転させると共に、第１の荷電粒子光学系光軸と平行な回転軸を持ち、試料を回転する回転機構と、回転機構と試料ステージとの間で、当該試料を搬送する搬送機構を備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】無限回転可能な試料ステージを有し、試料周辺の電界の乱れを抑制することで、試料全面を画像歪みなく観察可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】試料には回転ステージの回転中心にてホルダ受けと接触するリターディング電極を通じて電圧印加し、試料外周部には電界歪みを補正するための電界制御電極を備える。電界制御電極に電圧印加することで、電界制御電極上の等電位面を変化させ、それに伴い、試料端部における等電位面を補正し、試料端部まで観察可能とする。 （もっと読む）

【課題】生産ラインの場合、スループットの向上は、重要なファクターであるが、室内の雰囲気中で、試料を試料ホルダーに装填し、それを電顕に装着すると、電顕の温度環境下に移行し、温度の差異が平衡状態になるまで、ゴニオステージの試料ホルダーのＸ軸駆動の作用点と、試料固定部、つまり観察点との間、つまりＸ駆動遠隔距離間に介在する部材の熱膨張の影響を受け、試料ドリフトを起こし、データー取得できないため、温度平衡安定状態に至るまで、電顕利用者は、待たねばならない問題を回避しスループットを向上させる。
【解決手段】試料ホルダー本体の長手方向の主軸材に、熱膨張材料と、前記の熱膨張を打ち消す熱収縮材料を、組み合わせ相殺的にゼロ線膨張にすることで、電顕に試料ホルダーを装着した直後に発生する試料ドリフトの発生を軽減させる機構により、待ち時間を大幅に短縮させ、スループットを向上させる有利な効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】ガイドに移動可能係合したステージの位置決め装置に関し、ステージの可動範囲の全域にわたってｎｍオーダの位置決めが可能なステージ移動装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘステージ１３に設けられた送りナット（ナット部材）８と、送りナット８に螺合するボールねじ７と、ボールねじ７を回転駆動する超音波リニアモータ３７とで構成する。更に、ナット８と、ボールねじ７のねじ軸７ａとの間に予圧が発生するように、予圧発生手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】ポインティングデバイスの操作時において、その時点での試料画像の視野中心が所定時間後にどの方向にどの距離まで移動するのかをオペレータに示す。
【解決手段】試料画像の視野を移動させる移動方向を演算制御手段に入力するための移動方向入力手段（ポインティングデバイス）を備えた試料画像表示装置において、取得される試料画像の視野中心のＮ秒後における予測位置及び該予測位置に至るまでの予測進路を、試料ステージ４の移動に基づく視野中心位置の移動履歴から求めて試料画像に重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で安価に平面観察用半導体薄片試料を作製することを可能にする集束イオンビーム加工装置の試料ステージおよびこの試料ステージを用いた透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料の作製方法の提供。
【解決手段】試料ステージ面は、該試料ステージ面に対してメッシュ挟持用の傾斜溝を有する。集束イオンビームの照射により試料基板から微小試料片を切り出し、マイクロプローブで分離摘出後、前記試料ステージ面の傾斜溝に挟み込まれたメッシュを、メッシュの側面が前記集束イオンビームに垂直な向きとなるように傾ける。微小試料片の観察平面が集束イオンビームと垂直な向きとなるように前記メッシュの端面に接着した後、傾斜した試料ステージを回転軸の周りに１８０度回転させる。集束イオンビームを照射して透過型電子顕微鏡平面観察用半導体薄片試料を作製する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線の偏向量を抑えて観察像の像質を向上させることができる荷電粒子線装置及びその観察位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】ベース４０上を水平移動可能な粗動機構と、粗動機構上を水平移動可能な微動機構と、微動機構上に設けたトップテーブル４３と、ビーム偏向量に対して観察像の要求画質に応じて設定された許容範囲を記憶した記憶部７３Ｂと、撮像対象が観察領域に入るように粗動機構を制御する粗動機構制御部７２Ａと、撮像対象を含む低倍率の観察像の中心と撮像対象との座標ずれ量を算出するずれ量算出部７３Ｄと、座標ずれ量が許容範囲内か否かを判断する判断部７３Ｅと、座標ずれ量が小さくなるように微動機構を制御する微動機構制御部７２Ｂと、座標ずれ量が許容範囲内の場合に座標ずれ量だけビーム偏向量を補正する偏向補正制御部７０Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】小型で低価格でありながら、検査対象のパターン微細化に対応した検査精度が向上された荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】被検査試料の検査位置（ウェハー座標系）を検査機構の配置位置（ステージ座標系（極座標系））に変換し、回転アーム１０２を回転させると共に、回転ステージ１０３を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ１０３の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、２軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム１０２の回転により描かれる回転ステージ１０３の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡により観察した表示領域における任意の箇所を適切に走査型電子顕微鏡で観察することができる複合型観察装置を提供する。
【解決手段】複合型観察装置１０は、載置面２０ａを移動可能に保持する載置台機構１４と、光学顕微鏡２２と、その観察光軸１５ａと交差する走査軸１６ａを有する走査型電子顕微鏡１６と、走査型電子顕微鏡１６と光学顕微鏡２２との中間の分解能を有し光学顕微鏡２２の対物レンズ４２を共用する計測光学系２３と、全体を駆動制御する制御機構１７と、表示画面２５ａを有する表示器２５と、を備え、制御機構１７は、表示画面２５ａに、光学観察画像３０を表示させる際、計測光学系２３の分解能で見た計測表示領域を示す記号３３を重ねて表示させることができるとともに、計測観察画像３１を表示させる際、走査型電子顕微鏡１６の分解能で見た電子表示領域を示す記号３４を重ねて表示させることができる。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡からの出力される各種画像情報と電子顕微鏡の出力画像情報とが合成された特有の画像情報を出力でき、試料分析に有用な複合型顕微鏡装置を実現する。
【解決手段】観察すべき試料を保持する試料ステージが配置される試料室と、試料の電子顕微鏡画像を撮像する電子顕微鏡と、試料の共焦点画像を撮像する共焦点顕微鏡と、電子顕微鏡及び共焦点顕微鏡からの出力信号とを受取り種々の画像信号を出力する信号処理装置を具える。共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡のビーム軸は、互いに平行に設定する。試料ステージは、共焦点顕微鏡の対物レンズの光軸及び電子顕微鏡のビーム軸と直交する２次元平面内の位置を規定する２次元座標系を有し、共焦点顕微鏡及び電子顕微鏡は座標系を共有する。この結果、電子顕微鏡画像と共焦点顕微鏡により取得された２次元カラー情報や表面高さ情報とを合成して、カラー電子顕微鏡画像又は３次元電子顕微鏡画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の試料、例えば、観察したい試料と、収差補正の標準調整試料を同時に装着し、それぞれの試料を観察できる試料ホルダーにより、大幅な利便を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダーを駆動するための試料ホルダー駆動機構を有する試料ホルダーであって、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーの略長手方向において前記試料ホルダーを可変可能であることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーとは別個に設置された試料ホルダーの略長手方向の駆動機構とは無関係に、試料ホルダーの保持筒への試料ホルダーの挿入深さを可変することが可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置のメンテナンスまでの期間の間、摺動部に塗布された潤滑剤の枯渇を防止し、駆動部の安定性と信頼性の高い荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】真空室内にて移動する移動部材の摺動部分に潤滑剤を塗布した荷電粒子線装置において、当該潤滑剤として、以下を満足するものを採用する。（１）押圧下で潤滑剤の分解反応が開始する累積摺動時間（インダクション時間）が１４０時間以上である。（２）潤滑剤の分解反応がおこる押圧（臨界面圧）が０．５ＧＰａ以上である。 （もっと読む）

【課題】
装置コストの上昇、及びスループットの低下を抑えつつ、温度変化による試料座標の情報を精度良く補正し、高い観察倍率で長時間検査が可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
試料座標系の座標値が既知であるアライメントパターンから発生する二次信号に基づいて試料の座標系とステージの座標系との間の位置ずれ量を算出し、座標補正データを生成するとともに、アライメントパターンから発生する二次信号を少なくとも１回検出し、座標補正データを更新する再アライメントを実行する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、電子顕微鏡を構成する対物レンズの上極と下極との間の真空中で試料を搭載して平面内の任意の場所に移動する高分解能試料ステージに関し、外部からの熱変化があっても対称であるのでその影響を最小限に低減すると共に外部からの振動があってもステージを３点で水平面内にのみ移動可能な状態で固定したことで振動に強くすることを目的とする。
【構成】対物レンズの上極と下極との間の空間に配置し、３点で光軸と直角方向の水平方向にのみ移動可能に保持した円形あるいは正多角形あるいはＴ字型の平板状のステージと、第１のレバーと、第２のレバーと、固定台と張る引張りばねと、試料ステージとを備える。 （もっと読む）

【課題】
試料を傾斜させても、観察位置が変わる事無く観察できる。
【解決手段】
試料室１２、該試料室内に設けられ試料４を載置し回転する駆動軸により移動可能な移動ステージ、該移動ステージを載置し、傾斜軸Ｑを中心として試料傾斜を行う傾斜ステージ１１、前記傾斜ステージ１１を傾斜軸Ｑを中心として回転させるための傾斜ステージ用駆動機構、及び前記移動ステージを駆動するための駆動機構であって、前記傾斜ステージ１１と離れた位置に独立して配置され前記移動ステージの駆動軸と自在継ぎ手により接続される移動ステージ用駆動機構を備えた荷電粒子ビーム装置の試料装置において、前記傾斜ステージ１１の傾斜にかかわらず前記移動ステージが移動しないよう、前記傾斜ステージ１１の傾斜に関連させて前記移動ステージ用駆動機構を制御する制御手段を設けたことを特徴とする荷電粒子ビーム装置の試料装置。 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）